감광제 건식제거공정의 최적화

박세근,이종근 ( Se Geun Park,Jong Keun Lee ) 한국전기전자재료학회 1996 전기전자재료학회논문지 Vol.9 No.9

디젤 엔진 열병합 시스템과 설치 사례

박세근,Park, Se-Geun 한국설비기술협회 1990 설비 : 공조ㆍ냉동ㆍ위생 Vol.7 No.2

국내 도축우의 외상성제2위질병 발생실태와 육질등급에 미치는 영향

변현섭,박세근,이상명,곽학구,권기문,안병우,Byeon, Hyeon-Seop,Park, Se-Geun,Lee, Sang-Myung,Quak, Hak-Ku,Kwon, Ki-Mun,Ahn, Byeong-Woo 대한수의학회 2011 大韓獸醫學會誌 Vol.51 No.2

This study surveyed the prevalence of traumatic reticular diseases (TRD) of slaughter cattle in Korea, the typology of the causative foreign bodies and the effects on beef quality and carcass weight. The overall prevalence of TRD in 3,121 slaughter cattle was 5.5%. However, the prevalence was significantly higher in Korea indigenous cattle Hanwoo (5.8%, p < 0.05) and female cattle (20.75%, p < 0.001). The prevalence significantly increased in aged cattle (p < 0.001). Major lesions related to foreign bodies were reticulitis (96%) and peritonitis (86%). Most causative foreign bodies were made of iron including nails, wires, steel rods, screw nails, and syringe needles. Cattle affected with TRD produced significantly lower grade quality of beef compared to normal cattle (p < 0.0001), but TRD did not affect carcass weight. The data will be useful in the management of TRD, with the aim of increasing beef productivity in Korea.

고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO$_{2}$ 이중박막의 식각

이종근,박세근,Lee, Jong-Geun,Park, Se-Geun 대한전자공학회 2000 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.37 No.3

나선형태의 평면 안테나를 갖는 유도결합형 플라즈마를 이용하여 PZT용 Pt/RuO/sub 2/ 전극을 건식식각하였다. 누설전류 억제특성이 우수한 Pt와 건식식각이 용이한 RuO/sub 2/ 박막의 장점을 동시에 이용하기 위하여 PZT의 하부전극으로 Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 시도하였다. 우선 Pt와 RuO/sub 2/ 박막 각각에 대하여 플라즈마의 여러 조건에 따라 식각율과 선택비를 조사하였다. 조사된 공정기체는 O/sub 2/ 와 Cl/sub 2/ 의 혼합기체이며, 패터닝을 위해 사용한 마스크재료는 SiO/sub 2/ 산화막이었다. Cl/sub 2/ 의 함량이 증가함에 따라 Pt의 식각율은 점점 증가하지만, RuO/sub 2/의 경우에는 Cl/sub 2/의 함량이 처음 10% 정도가지 증가할 때에는 RuO/sub 2/의 식각율이 급격히 증가하지만 더 이상의 Cl/sub 2/ 함량에서는 식각율이 점차 감소하였다. Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 동시에 식각하기 위한 최적의 기체혼합비를 구하였으며, 0.5 마이크론급의 미세패터닝을 시도하였다. Inductively coupled plasma (ICP) excited by a spiral planar antenna is used to etch elctrodes for PZT capacitors. Pt/RuO$_{2}$ bilayers are tested as bottom electrodes for PZT capacitors in order to utilize better leakage characteristics of Pt and easy etch characteristics of RuO$_{2}$ at the same time. The etch rates and selectivities to SiO$_{2}$ hard mask have been measured for each of Pt and RuO$_{2}$ in terms of various plasma conditions. As Cl$_{2}$ ratio increases in $O_{2}$/Cl$_{2}$ mixture, the etch rate of Pt increases while that of RuO$_{2}$ reaches the highest near 10 % of Cl$_{2}$. Optimum gas mixture ratio has been determined for etching Pt and RuO$_{2}$ bilayers sequentially, and sub-half micron patterning is demonstrated.

Implicit와 explicit 방법의 결합에 의한 3차원 유한차분 빔전파 방법의 개선

김현준,오범환,박세근,이일항,이승걸,Kim, Hyun-Jun,O, Beom-Hoan,Park, Se-Geun,Lee, El-Hang,Lee, Seung-Gol 한국광학회 2004 한국광학회지 Vol.15 No.6

3차원 유한 차분 빔전파 방법의 계산시간 및 수렴성 문제를 해결하기 위해서 implicit와 explicit 방법을 결합하는 복합 방법(hybrid method)을 제안하였다. 방향성 결합기의 결합길이를 결정하는 문제를 대상으로 제안된 방법과 implicit 방정식의 해를 직접 구하는 방법의 계산 시간을 비교하였다. 그 결과 직접 풀이법에 비해 제안된 방식의 계산 속도가 최소 10배 이상 빠름을 확인하였다. We propose a hybrid method combining the implicit with the explicit methods in order to reduce the calculation time and improve the convergence problem of the 3-dimensional finite-difference beam propagation method. The numerical simulation of a directional coupler is carried out by the proposed method. It is found from the simulation results that the calculation speed of our method is 10 times faster than that of direct solving techniques.

열 우회 구조를 적용한 GaN 레이저 다이오드 패키지의 열특성 분석

지병관,이승걸,박세근,오범환,Ji, Byeong-Gwan,Lee, Seung-Gol,Park, Se-Geun,O, Beom-Hoan 한국광학회 2016 한국광학회지 Vol.27 No.6

레이저 다이오드 TO 패키지 내부의 주요 부분과 히트싱크 구조의 열전달 특성을 전산모사를 통해 분석하고, 개선구조의 효율적 적용방안을 제안하였다. 열 병목 현상을 개선하기 위해, 레이저 다이오드 상부에 열 우회를 도모할 수 있는 방열구조물을 설치하는 것을 제안하였고, 열저항 단순모델 기대치와 비교하여 그 우회 효율 개선 정도를 더욱 향상시키는 적용 범위를 파악하였다. 열 병목을 감안하여 방열 도움 구조물을 적절히 추가함에 따라, 통상적인 기대 수준보다 더욱 향상된 열 우회 효율을 얻을 수 있었음을 보고한다. The thermal characteristics of a laser diode TO package has been analyzed using a commercial computational fluid dynamics (CFD) tool, and the thermal bypass structure was optimized. Comparison of device temperature and the estimated thermal resistance of the resultant structure showed that the bypass structure relieved the thermal bottleneck, and improved the thermal characteristics quite efficiently.

유한 반경의 시준 광속을 이용한 투명 매질의 두께와 굴절률의 동시 측정

박대서,오범환,박세근,이일항,이승걸,Park, Dae-Seo,O, Beom-Hoan,Park, Se-Geun,Lee, El-Hang,Lee, Seung-Gol 한국광학회 2009 한국광학회지 Vol.20 No.1

We propose a new measuring technique based on optical low-coherence reflectometry that enables us to determine the refractive index and the geometrical thickness of a transparent sample by one-time scanning only. By passing a collimated beam having a finite size through the edge of the sample, the refractive index and the geometrical thickness can be determined simultaneously from the comparison of interferograms generated by two kinds of reflected beams. In this study, a refractive index could be determined with the accuracy of $10^{-3}$, and its accuracy would be enhanced by using a more precise translator and a thicker sample. 본 연구에서는 저간섭성 반사계(Optical low-coherence reflectometry)를 이용하여 한 번의 측정으로 투명 시료의 두께와 굴절률을 동시에 측정하는 기술을 제안하였다. 제안된 방법은 유한 반경을 가진 시준된 광속을 시료의 경계 영역으로 입사시키는 것으로써, 시료가 있는 부분과 없는 부분으로부터 반사된 광속에 의한 간섭 무늬들을 한 번에 획득할 수 있다. 한번의 측정을 통해 얻어진 두 종류 간섭 무늬들의 상대적인 위치 차이를 이용하여 시료의 두께와 굴절률을 동시에 결정할 수 있었다. 굴절률의 정밀도는 이송장치의 위치 정밀도가 향상되고, 시료의 두께가 두꺼워 질수록 개선될 수 있으며, 본 실험에서는 약 $10^{-3}$의 정밀도로 굴절률을 결정할 수 있었다.

고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구

정형섭,이종근,박세근,양재균,Jung, Hyoung-Sup,Lee, Jong-Geun,Park, Se-Geun,Yang, Jae-Kyun 한국전기전자재료학회 1998 전기전자재료학회논문지 Vol.11 No.2

A helical inductively coupled plasma asher, which produces low energy and high density plasma, has been built and investigated for photoresist stripping process. Oxygen ion density in the order of $10^{11}/cm^3$ is measured by Langmuir probe, and higher oxygen radical density is observed by Optical Emission Spectrometer. As RF source power is increased, the plasma density and thus photoresist stripping rate are increased. Independent RF bias power to the wafer stage provides a dc bias to the wafer and an ability to add the ion assisted reaction. At 1 KW of the source power, the coupling mechanism of the RF power to the plasma is changed from the inductive mode to the capacitive one at about 1 Torr. This change causes the plasma density and ashing rate decreases abruptly. The critical pressure of the mode change becomes larger with larger RF power.

연성 광 PCB용 광 배선의 손실특성 및 제작 공차 분석

염준철,박대서,김영석,김대찬,박세근,오범환,이일항,이승걸,전금수,Yeom, Jun-Cheol,Park, Dae-Seo,Kim, Young-Seok,Kim, Dae-Chan,Park, Se-Geun,O, Beom-Hoan,Lee, El-Hang,Lee, Seung-Gol,Jeon, Keum-Soo 한국광학회 2008 한국광학회지 Vol.19 No.4

광 백 플레인이나 광 연결용으로 활용될 수 있는 연성 광 PCB의 핵심 요소인 광 배선(도파로)의 전파 특성을 분석하였으며, 광배선 제작 공정에서 발생할 수 있는 구조적 오차로 인한 전파 손실 발생 문제를 다루었다.제작 공차 분석을 통해 전파 손실을 -1 dB/mm 이하로 유지하기 위해서는 광 배선 측벽 각도가 $1^{\circ}$ 이내로 제어되어야 하며, 결합 손실과 구부러짐 손실을 각각 -1 dB 이하로 유지하기 위해서는 광원과 광 배선 간격은 $160\;{\mu}m$ 이내, 횡방향 정렬 오차는 ${\pm}15\;{\mu}m$ 이내, 광원 각도는 $6^{\circ}$ 이하로 정렬되어야 하며, 광 배선의 구부러짐 반경은 5 mm 이상이 되어야 함을 알 수 있었다. In this study, the propagation characteristics and the fabrication tolerance of an optical wire in a flexible optical PCB were analyzed by using a ray-tracing method. It is found from the analysis that the sidewall angle of a core should be controlled within $1^{\circ}$ in order to maintain the propagation loss to less than -1 dB/mm, and that the bending radius of the optical wire should be larger than 5 mm in order to suppress the bending loss below -1 dB. In addition, it is confirmed that the lateral misalignment of ${\pm}15\;{\mu}m$, and the angular tilting of VCSEL of $6^{\circ}$ are allowable for the coupling loss of -1 dB.

방향성 결합기 소멸비 특성의 일반화 경향과 파장분리기의 소형화 설계

최철현,오범환,이승걸,박세근,이일항,Choi, Chul-Hyun,O, Beom-Hoan,Lee, Seung-Gol,Park, Se-Geun,Lee, El-Hang 한국광학회 2005 한국광학회지 Vol.16 No.5

In a directional coupler, the design process requires repeated calculation of the characteristics of every changed structure, because it is generally difficult to expect the extinction ratio to be optimized over the entire variation of design parameters. In this paper, we systematically simulated the extinction ratio as a function of the design parameters, and analyzed the general tendency of that characteristic. In other words, we could find the generalized extinction ratio curve if the separation distance is normalized by the waveguide width. Here, the extinction ratio is shown to be increased as the normalized frequency (v) and the ratio (d) of the separation distance over the waveguide width were increased. For various structures with same ratio d, all corresponding extinction ratio curves as a function of v coincide with each other. We showed the usefulness of the generalized extinction ratio curve by applying it to the design and the fabrication of 1310/l550 nm demultiplexer, as it was convenient to design a shorter directional coupler with targeted extinction ratio from this curve. 방향성 결합기의 각종 설계 구조변경에 대해 소멸비 특성의 변화를 직관적으로 예측하기 쉽지 않으므로 각 구조마다 매번 번거로운 특성 계산의 반복 작업이 수행되었다. 본 논문에서는 방향성 결합기의 설계구조 변수의 조절에 따른 소멸비 특성 변화를 체계적으로 계산하였고, 이 특성변화의 일반적인 경향을 파악하였다. 즉, 도파로 간격을 입력 도파로의 폭으로 규격화하면 이 변화 경향을 일반화하는 특성곡선을 얻을 수 있는 것으로 파악되었다. 이때, 정규화주파수 v와 도파간격비율 d가 큰 구조일수록 소멸비를 높일 수 있었고, d를 동일하게 유지한 여러 경우의 구조에 대해서는 v의 변화에 따른 소멸비 특성곡선이 일치하는 것을 보였다. 이러한 소멸비 특성의 일반화 경향은 높은 소멸비 특성을 유지하면서도 소자를 작게 설계하거나 파장분리기의 설계에 유용하게 활용될 수 있으므로 1310/1550 nm 파장 분리기의 설계와 제작에 적용하여 그 효용성을 확인하였다.