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        MOVCD에 있어서 구리(l)전구체들의 열적 안정성이 증착에 미치는 영향

        박만영,이시우,Park, Man-Young,Lee, Shi-Woo 한국재료학회 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.4

        음이온 리간드로 hfac이 배위된 세 가지 종류의 구리(l) 전구체들의 열적 안정성, 기상분해 특성, 증착 특성 등을 연구하였다. $^{1}$H-NMR결과로부터 (hfac) Cu(VTMS) (hfac=hexafluoroacetylacetonate, VTMS=vinyltrimethylsilane)와 (hfac)Cu(VTMS) (VTMOS=vinyltrimethoxysilane)는 열적으로 안정한 화합물이라는 것을 확인할 수 있었으며, (hfac)Cu(ATMS)(STMS=allyltrimethylsilane)는 다른 전구체에 비해 열적으로 불안정한 화합물이라는 것을 확인할 수 있었다. In-situ FT-IR을 이용하여 기상 분해 특성을 연구한 결과 (hfac)Cu(VTMS)의 경우 $150^{\circ}C$부근에서 $Cu(hfac)_{2}$, $240^{\circ}C$부근에서 free한 상태의 hfac의 생성을 확인할 수 있었으며, 이러한 특성이 박막의 증착 속도와 물성에 미치는 영향을 확인하였다. 그리고 이들 전구체들의 증착 특성을 연구하였으며 (hfac)Cu(ATMS)의 경우 아르곤 운반 기체하에서 기판 온도가 $60^{\circ}C$일 때 구리 박막이 증착이 시작되는 것을 관찰할 수 있었는데, 이러한 낮은 증착 온도는 상대적으로 약한 구리와 ATMS의 결합력에 의한 것으로 생각된다. Metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) of copper using three Cu( I ) precursors. (hfac)Cu (VTMS) (hfac= hexafluoroacetylacetonate, VTMS= vinyltrimethylsilane), (hfac)Cu(VTMOS) (VTMOS= vinyltri¬methoxysilane) and (hfac)Cu(A TMS) (A TMS= allyltrimethylsilane) was studied. The thermal stability and the gase¬ous phase reaction mechanism of Cu( I ) precursors were identified using $^1H$-, $^I3C$-NMR and Fourier transform infra¬red spectroscopy. It was found out that thermal stability of liquid phase (hfac)Cu(VTMS) and (hfac)Cu(VTMOS) were better than that of (hfac)Cu(A TMS) using FT - NMR. From in-situ FT - IR experiments, the disproportion reaction of Cu(hfac). the decomposition reaction of Cu(hfac), and cracking of free hfac ligand were observed. Also the effect of gaseous phase reaction on the deposition rates and film properties was investigated. The minimum temperature that deposition of copper films from (hfac)Cu(A TMS) was as low as 60$^{\circ}$C and such a low deposition temperature compared with those of other Cu( I ) precursors is believed to be related with weaken Cu- A TMS bond.

      • SCOPUSKCI등재

        황산으로 개질된 TiO<sub>2</sub> 촉매의 특성

        배영일,박만영,이준희,손종락,Pae, Young-Il,Park, Man-Young,Lee, Joon-Hee,Sohn, Jong-Rack 한국공업화학회 1992 공업화학 Vol.3 No.1

        $TiCl_4-HCl$ 혼합용액으로부터 침전법으로 $TiO_2$를 만들고 이를 황산으로 개질하여 $TiO_2/SO_4{^{2-}}$ 촉매를 제조하였으며 제조된 촉매의 특성을 IR, XPS, XRD 및 DT-TGA로 조사하였다. 개질된 촉매의 산의 세기는 적어도 $H_0{\leq}-14.52$로 초강산 성질을 나타내었으며 이 성질은 $TiO_2$와 황산이온에 의하여 형성된 착물의 S=O 결합성질에 기인하였다. $TiO_2/SO_4{^{2-}}$의 IR spectra를 조사한 결과 황산이온은 $TiO_2$ 표면에 2자리 ligand로 배위하였다. $TiO_2/SO_4{^{2-}}$는 황산으로 개질하지 아니한 순수한 $TiO_2$에 비하여 표면적이 상당히 컸으며 또한 무정형에서 anatase상으로 되는 전이온도도 높았다. $TiO_2/SO_4{^{2-}}$ was prepared by precipitation from the mixed solution of titanium chloride and hydrochloric acid followed by modification with sulfuric acid. The characterization of prepared catalyst was performed by using IR, XPS, XRD and DT-TGA. Infrared spectra of $TiO_2/SO_4{^{2-}}$ showed bidentate sulfate ion coordinated to the surface of $TiO_2$. The acid strength of modified catalyst was at least $H_0{\leq}-14.52$, showing the superacidic properties which are attributed to the double bond nature of S=O of the complex formed by the interaction of $TiO_2$ with sulfate ion. For $TiO_2/SO_4{^{2-}}$, the specific surface area increased and the transition from the amorphous to anatase phase occurred at a higher temperature, as compared with pure $TiO_2$.

      • SCOPUSKCI등재

        황산으로 개질된 TiO2 촉매의 특성

        배영일,박만영,이준희,손종락 ( Young Il Pae,Man Young Park,Joon Hee Lee,Jong Rack Sohn ) 한국공업화학회 1992 공업화학 Vol.3 No.1

        TiCl_4,-HCI 혼합용액으로부터 침전법으로 TiO_2를 만들고 이를 황산으로 개질하여 TiO_2/SO_4^(2-) 촉매를 제조하였으며 제조된 촉매의 특성을 IR, XPS, XRD 및 DT-TGA로 조사하였다. 개질된 촉매의 산의 세기는 적어도 H_0≤-14.52로 초강산 성질을 나타내었으며 이 성질은 TiO_2와 황산이온에 의하여 형성된 착물의 S=O 결합성질에 기인하였다. TiO_2/SO_4^(2-)의 IR spectra를 조사한 결과 황산이온은 TiO_2 표면에 2자리 ligand 로 배위하였다. TiO_2/SO_4^(2-)는 황산으로 개질하지 아니한 순수한 TiO_2에 비하여 표면적이 상당히 컸으며 또한 무정형에서 anatase상으로 되는 전이온도도 높았다. TiO_2/SO_4^(2-) was prepared by precipitation from the mixed solution of titanium chloride and hydrochloric acid followed by modification with sulfuric acid. The characterization of prepared catalyst was performed by using IR, XPS, XRD and DT-TGA. Infrared spectra of TiO_2/SO_4^(2-) showed bidentate sulfate ion coordinated to the surface of TiO_2. The acid strength of modified catalyst was at least H_0≤ -14.52, showing the superacidic properties which are attributed to the double bond nature of S =O of the complex formed by the interaction of TiO_2 with sulfate ion. For TiO_2/SO_4^(2-), the specific surface area increased and the transition from the amorphous to anatase phase occured at a higher temperature, as compared with pure TiO_2.

      • KCI등재

        열다한소탕과 태음조위탕·조위승청탕의 소증 분석을 위한 의사결정나무 구성

        김상혁,박만영,이시우,Kim, Sang-Hyuk,Park, Man Young,Lee, Siwoo 사상체질의학회 2017 사상체질의학회지 Vol.29 No.3

        Objectives The purpose of this study is to analyze the decision making process of prescribing Yeoldahanso-tang and Taeeumjowi-tang Choweseuncheng-tang using decision tree. Methods We used collected the prospective clinical data of TE type from September 2012 to July 2015. In this study, we used gender, BMI, blood pressure, pulse and clinical symptoms (digestion, sweat, defecation, urination, sleep, physical status, emotion, heat-coldness, water consumption, facial color) as variables. Decision trees were analyzed using open source R version 3.3.2. Results & Conclusions We found that the decision trees differed among institutions. However, in all institutions, it was found that stool type (ordinary symptom), urine frequency (ordinary and present symptom) and anxiety (ordinary symptom) were important in the decision of prescription. Besides, clinical informations such as sex, Body Mass Index and blood pressure affected the prescription decision.

      • SCOPUSKCI등재

        에틸렌 이량화를 위한 새로운 NiO-ZrO<sub>2</sub>/WO<sub>3</sub>촉매의 제조와 특성

        손종락,신동철,박만영,Sohn, Jong Rack,Shin, Dong Cheol,Park, Man Young 한국공업화학회 1996 공업화학 Vol.7 No.5

        에틸렌 이량화반응을 위한 일련의 $NiO-ZrO_2/WO_3$촉매를 염화니켈-옥시염화 질코니움 수용액을 공침시키고 ammonium metatungstate용액으로 함침시킨 다음 공기 중에서 소성하여 제조하였다. X-선 회절과 DSC로부터 얻은 결과를 근거로 하면 $ZrO_2$에 NiO 및 $WO_3$를 첨가하면 $ZrO_2$와 첨가된 산화물과의 상호작용으로 $ZrO_2$의 무정형에서 tetragonal phase로의 상전이 온도가 더 높은 온도로 이동되었다. $WO_3$가 첨가되지 않은 $NiO-ZrO_2$는 에틸렌 이량화반응에 전혀 촉매 활성을 나타내지 아니하였으나 $WO_3$가 첨가된 $NiO-ZrO_2/WO_3$촉매는 실온에서도 높은 활성을 나타내었다. 이와 같은 $NiO-ZrO_2/WO_3$의 높은 촉매활성은 $WO_3$의 유도효과에 의한 산세기의 증가와 밀접한 관련이 있었다. A series of catalysts, $NiO-ZrO_2/WO_3$, for ethylene dimerization were prepared by coprecipitation from a solution of nickel chloride - zirconium oxychloride mixture followed by dry impregnation with an aqueous solution of ammonium metatungstate and calcination in air. On the basis of the results obtained from x-ray diffraction and DSC, the addition of NiO and $WO_3$ to $ZrO_2$ shifted the transition of $ZrO_2$ from amorphous to a tetragonal phase toward higher temperatures due to the interaction between NiO(or $WO_3$) and $ZrO_2$. $NiO-ZrO_2$ without $WO_3$ was inactive for the ethylene dimerization, but $NiO-ZrO_2/WO_3$ was found to be very active even at room temperature. The high catalytic activity of $NiO-ZrO_2/WO_3$ was closely correlated with the increase of acid strength by the inductive effect of $WO_3$.

      • SCOPUSKCI등재

        에틸렌 이량화를 위한 새로운 NiO - ZrO2 / WO3 촉매의 제조와 특성

        손종락,신동철,박만영 ( Jong Rack Sohn,Dong Cheol Shin,Man Young Park ) 한국공업화학회 1996 공업화학 Vol.7 No.5

        에틸렌 이량화반응을 위한 일련의 NiO-ZrO₂/WO₃촉매를 염화니켈-옥시염화 질코니움 수용액을 공침시키고 ammonium metatungstate용액으로 함침시킨 다음 공기 중에서 소성하여 제조하였다. X-선 회절과 DSC로부터 얻은 결과를 근거로 하면 ZrO₂에 NiO 및 WO₃를 첨가하면ZrO₂와 첨가된 산화물과의 상호작용으로 ZrO₂의 무정형에서 tetragonal phase로의 상전이 온도가 더 높은 온도로 이동되었다. WO₃가 첨가되지 않은 NiO-ZrO₂는 에틸렌 이량화반응에 전혀 촉매 활성을 나타내지 아니 하였으나 WO₃가 첨가된 NiO-ZrO₂/WO₃촉매는 실온에서도 높은 활성을 나타내었다. 이와 같은 NiO-ZrO₂/WO₃의 높은 촉매활성은 WO₃의 유도효과에 의한 산세기의 증가와 밀접한 관련이 있었다. A series of catalysts, NiO-ZrO₂/WO₃ for ethylene dimerization were prepared by coprecipitation from a solution of nickel chloride - zirconium oxychloride mixture followed by dry impregnation with an aqueous solution of ammonium metatungstate and calcination in air. On the basis of the results obtained from x-ray diffraction and DSC, the addition of NiO and WO₃to ZrO₂ shifted the transition of ZrO₂from amorphous to a tetragonal phase toward higher temperatures due to the interaction between Ni0(or W0₃) and ZrO₂. NiO-ZrO₂without W0₃was inactive for the ethylene dimerization, but NiO-ZrO₂/WO₃ was found to be very active even at room temperature. The high catalytic activity of NiO-ZrO₂/WO₃ was closely correlated with the increase of acid strength by the inductive effect of WO₃.

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