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PEEK(Polyetheretherketone)고분자 플라스틱의물리적 변화 연구
박기원(Ki-Won Park) 한국산업기술융합학회(구. 산업기술교육훈련학회) 2024 산업기술연구논문지 (JITR) Vol.29 No.1
cmp공정은 반도체 칩 생산에 있어서 중요한 핵심 공정이다. 이는 웨이퍼의 박막표면의 균일성에 따라 광역 평탄화를 실현 할 수 있기 때문이다. 현재 현업에서 사용되고 있는 리테이너링은 웨이퍼 표면 연마 시 박막표면을균일하게 유지시키는 중요한 부품으로써 금속과 플라스틱을 본딩으로 접착한 스타일의 링이 다양한 공정에서 사용되고 있다. 이는 제작하는 기간이 길고 접착되는 부분의 탈착되는 현상과 금속의 내경면에 슬러리가 달라붙어응고되어 일부는 임의 탈락으로 인한 웨이퍼에 스크레치를 유발 시키는 문제가 발생되고 있다. 본 논문에서는 이러한 문제점을 개선하고자 기존 방식 보다는 사출type의 인서트 내장형 링의 개발방안을모색하였다. 현재 Engineering Plastics인 PEEK(Polyetheretherketone)재료를 이용한 사출성에 관한 연구는다소 부족한 상황이다. 따라서, 연구개발에 있어서 보다 더 정확하고 신속한 방향 설정이 필요하다는 점을 인식하여 기기분석을 통해 재질의 안정성 및 물질의 온도 특성을 분석하고 이를 기반으로 인서트 몰드 링 사출조 건에 적용하고자 연구를 하게 되었다. The cmp process is key to the uniformity of the thin film surface of wafers in semiconductor chip production. Retaining is an important process that is used in the field to maintain the surface of a thin film uniformly during wafer polishing; additionally, a ring is used in a style that facilitates the bonding of metal and plastics in various processes. This results in an extended manufacturing period and the adhering and subsequent solidification of the slurry to the diameter of the inner surface of the metal, which results in a scratch on the wafer owing to arbitrary dropout. This study aimed to replace the existing method by developing an injection-type insert-embedded ring to address the aforementioned challenge. Thermal stress tests for the accurate injection of polyetheretherketone materials detected phenol, phenyl ether, and dibenzofuran components using Py-Gc/MS. DSC analysis showed that the glass transition temperature was as high as 150 °C and the melting temperature was 342 °C. During TG-DTA, the heat weight was reduced by 50%, and the change in the calorific value of the peak occurred at 585.1 °C when the heating and cooling rates were constant.
MEMS 기술을 이용하여 제작한 적외선 영상 투사용 에미터 단위 소자의 특성 분석
박기원(Ki Won Park),신영봉(Young Bong Shin),강인구(In-Ku Kang),이희철(Hee Chul Lee) 대한전자공학회 2017 전자공학회논문지 Vol.54 No.3
본 논문에서는 가상의 적외선 영상을 투사하여 적외선 검출기의 성능 평가를 위한 목적으로 사용되는 적외선 영상 투사장치 (Infrared scene projector, IRSP)의 내부에서 적외선을 방사하는 역할을 하는 적외선 에미터 소자에 대한 연구가 수행되었다. 적외선 에미터 소자의 구조를 설계한 후 설계된 소자의 특성 파라미터들을 추출하였으며 각 특성 파라미터에 근거한 소자의 성능을 유한 요소법을 통해 예측하였다. 또한 소자를 구성하는 각 부분의 특성에 따른 물질 선정 후 MEMS 기반 반도체공정기술을 적용하여 에미터 단위소자를 제작하였고 중적외선 대역(3∼5μm)의 적외선을 관찰할 수 있는 적외선 영상 현미경을 사용하여 진공 환경을 갖춘 챔버 내부에서 소자의 성능을 측정한 결과 최대 423K의 유효온도 및 22msec의 응답 시간을 나타내는 것을 확인하였다. In this paper, designed infrared (IR) emitter device for infrared scene projector (IRSP) which is used for evaluating the performance of IR sensor systems was simulated by using finite element analysis (FEA) tool and fabricated by using MEMS (Micro Electro-Mechanical System) technology. The performance of the fabricated IR emitter unit device was characterized in the vacuum chamber by using IR image microscope for MWIR(3∼5μm), which showed 423K apparent temperature (Tapp) and 22msec time constant (τ).
빔 스캐닝 알고리즘 기반 5.8GHz 대역 무선전력전송 성능 분석
박기원(Ki-Won Park),강길모(Gil-Mo Kang),박인호(Inho Park),구현철(Hyunchul Ku),신오순(Oh-Soon Shin) 한국통신학회 2021 한국통신학회 학술대회논문집 Vol.2021 No.2
본 논문은 5.8GHz 주파수 대역에서 빔 스캐닝 방식의 방사형 무선전력전송 시스템의 성능을 평가한다. 고려하는 시스템에서 에너지 송신기는 조향된 파일롯 신호를 전송하고 수신기는 이를 사용하여 최적의 에너지 전송 방향을 추정 후 그 결과 송신기로 피드백 한다. 송신기는 피드백 정보에 해당하는 방향으로 빔포밍을 통해 에너지를 접속하여 전송한다. 모의실험을 통해 조향빔 파일롯 신호의 해상도 및 송·수신단의 거리에 따른 전력전송 효율을 분석한다.
동관 표면에서의 동결억제를 위한 초음파 이용에 관한 실험적 연구
박기원(Ki-Won Park),황성수(Sung-Su Hwang) 대한설비공학회 2013 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2013 No.6
This study attempted to examine a method to anti-freezing under the same conditions by conducting experiments on the heat exchange in a low-temperature environment, and ice making characteristics were observed after generating ultrasonic waves in solids and fluids as the method. To find the optimal conditions, ethylene glycol was used as the brine inlet copper tube, and the temperature was circulated to –8, -10, etc. Data was observed and recorded by dividing water used into water in which ultrasonic waves are produced and that in which those are not produced.
동판 표면에서의 동결억제를 위한 초음파 이용에 관한 실험적 연구
박기원(Ki-Won Park),황성수(Sung-Su Hwang) 대한설비공학회 2013 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2013 No.6
This study attempted to examine a method to anti-freezing under the same conditions by conducting experiments on the heat exchange in a low-temperature environment, and ice making characteristics were observed after generating ultrasonic waves in solids and fluids as the method. To find the optimal conditions, ethylene glycol was used as the brine under copper plate, and the temperature was circulated to -8, and –10 etc. Data was observed and recorded by dividing water used in freezing provided by the thickness of 1~3mm into water in which ultrasonic waves are produced and that in which those are not produced.