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      • APCVD법을 사용한 보론 포스파이드의 증착 및 특성에 관한 연구

        김순영,문병필,윤여철,전호승,김철주 서울시립대학교정보기술연구소 2001 정보기술연구소 논문집 Vol.3 No.-

        Boron Phosphide films were deposited on the glass substrate at the low temperature, 550℃, by the reaction of B₂H_6 with PH₃ using CVD. N₂ was employed as carrier gas. The reactant gas rates were 50 ㎖/min for B₂H_6, 50 ㎖/min for PH₃ and 1.5ℓ/min for N₂. The films were annealed for 1hour, 3hours in N₂ambient at 550℃. The deposition rate was 1000Å/min and the refractive index of film was 2.6. The measurement of XRD shows that the films have the preferred orientation of (1 0 1). The data of VIS spectrophotometer show 75.49% for as-deposited, 76.71% for 1hr-annealed and 86.4 % for 3 hrs-annealed. The data of AFM show 73Å for as-deposited, 88.9Å for 1hr-annealed and 220Å for 3hrs-annealed. Also, The data of the secondary electron emission rate(γ) s how 0.317 for as -deposited, 0.357 for 1hr-annealed and 0.537 for 3hrs-annealed. And, The film shows the surface deposited thin film, bu using FT-IR, has the O-H bond and this bond is greatly decreased as annealing.

      • 안압 조절을 위한 선택적 접착 공정이 포함된 폴리머 체크 밸브

        임성민(Seongmin Im),문병필(Byungphil Mun),안재용(Jaeyong An),최종찬(Jongchan Choi),양성(Sung Yang),이종현(Jonghyun Lee) 대한기계학회 2010 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2010 No.6

        본 연구에서는 안압 조절을 위한 마이크로 체크밸브를 설계하고 제작하였다. 체크밸브는 얇은 막과 마이크로 채널로 구성되어 있으며, 밸브 오리피스의 직경, 막의 두께, 밸브 오리피스와 밸브 안착의 겹치는 길이를 구하기 위해 FEA 해석을 하였다. 또한 밸브의 신뢰성이 있는 작동과 생산 수율을 높이기 위해 새로운 공정으로서 밸브 안착 부분에 Cr/Au 를 증착하였다. 제작된 체크밸브가 열리는 압력 (cracking pressure)은 2.50 ㎩ 이었으며, 이 값은 목표 값인 2.67 ㎪ (20㎜Hg)과 매우 근접한 값으로, 이 결과를 통해 적정한 안압을 유지할 수 있는 녹내장 치료용 소자를 만들 수 있다. The micro check valve for the regulation of intraocular pressure is presented. The device consists of two polymer layers; diaphragm (intermediate layer), and micro channel (bottom layer). Finite-element analyses (FEA) were performed to find appropriate design for targeted intraocular pressure: the diameter of orifice, the thickness of intermediate layer, and the overlapped length of the orifice and valve seat. The overlapped area of the bottom layer was coated with Cr/Au not to be bonded with the intermediate layer so that the device showed the enhanced reliability in operation and higher yield in production. The cracking pressure of the fabricated valve was 2.50 ㎪, and it is very close to the target value (2.67 ㎪), which confirmed that the proposed micro check valve has a great potential as a component of glaucoma drainage device.

      • 이형 채널을 이용한 디퓨져 형태의 폴리머 미세 펌프

        박창주(Chang Ju Park),문병필(Byung Phil Mun),유성근(Sung Keun Yoo),이성길(Sung-Kil Lee),양성(Sung Yang),이종현(Jong Hyun Lee) 대한기계학회 2010 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2010 No.6

        This paper describes a diffuser-type polymeric micro pump with a hetero-shaped microfluidic channel for lab-on-a-chip(LOC) applications. The hetero-shaped micro fluidic channel is to generate the net flow by making difference in the fluidic resistance of input and output port. The channel consists of two regions with different cross-sectional shapes; a semi-circle (80 ㎛ in width) for input flow and a rectangle (200 ㎛ in width) for output flow. The micropump can be simply fabricated using polydimethylsiloxane(PDMS), which is widely used as a polymer material for microfluidic devices. Pneumatic pressure is periodically applied to the fabricated pump, which is evaluated in terms of duty ratio and frequency.

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