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건식 식각 공정 시뮬레이션을 위한 효율적인 그림자 테스트 알고리즘과 토포그래피 진화에 대한 연구
권오섭,반용찬,원태영,Kwon, Oh-Seop,Ban, Yong-Chan,Won, Tae-Young 대한전자공학회 1999 電子工學會論文誌, D Vol.d36 No.2
In this paper, we report 3D-simulations of a plasma etching process by employing cell-removal algorithm takes into account the mask shadow effect os well as spillover errors. The developed simulator haas an input interface to take not only an analytic form but a Monte Carlo distribution of the ions. The graphic user interface(GUI) was also built into the simulator for UNIX environment. To demonstrate the capability of 3D-SURFILER(SURface proFILER), we have simulated for a typical contact hole structure with 36,000($30{\times}40{\times}30$) cells, which takes about 20 minutes with 10 Mbytes memory on sun ultra sparc 1. as an exemplary case, we calculated the etch profile during the reactive ion etching(RIE) of a contact hole wherein the aspect ratio is 1.57. Furthermore, we also simulated the dependence of a damage parameter and the evolution of topography as a function of the chamber pressure and the incident ion flux. 본 논문에서는 플라즈마 건식 식각 공정을 모의 실험하기 위하여 셀 제거 방법을 적용하여 개발한 시뮬레이터의 성능을 보고한다. 마스크의 기하학적 형상에 의한 그림자 효과(shadow effect)를 고려하기 위한 알고리즘과, 오차의 누적을 막기 위한 알고리즘을 새로이 적용하였다. 입사하는 이온의 분포를 계산하기 위해서 해석적 모델과 몬테 카를로 방법을 모두 적용하였다. 또한 사용자가 유닉스(UNIX) 환경에서 공정 조건을 편리하게 입력할 수 있도록 그래픽 사용자 환경(graphic user interface, GUI)을 개발하였다. 개발된 3D-SURFILER(SURface proFILER)의 성능을 검증하기 위한 콘택 홀(contact hol) 구조의 시뮬레이션에서 셀의 수를 36,000($30{\times}40{\times}30$)으로 설정하여 시뮬레이션하였을 때 SUN ULTRA 1 시스템에서 약 10Mbyte의 메모리가 사용되었으며, 시뮬레이션 시간을 20분이었다. 종횡비(aspect ratio)가 1.57인 콘택 홀 구조에서 반응성 이온 식각(reactive ion etching, RIE)을 시뮬레이션하였으며, 이온의 증속 식각의 정도를 나타내는 손상 계수의 변화와 압력이 600mTorr일 때의 이온의 입사 분포에 의한 토포그래픽(topography) 진화를 시뮬레이션하였다.
감각신경성 난청의 예후 인자에 대한 평가와 침구 치료에 대한 임상적 고찰
문경숙 ( Kyung Suk Mun ),이소열 ( So Yol Lee ),권오섭 ( O Seop Kwon ),장조웅 ( Jo Ung Jang ),권혁성 ( Hyuk Seong Kwon ),윤대환 ( Dae Hwan Youn ) 대한경락경혈학회 2006 Korean Journal of Acupuncture Vol.23 No.4
Objectives: The purpose of this study was clinical observation about sensorineural hearing Loss compare with acupucture treatment and assessments of prognotic factors. Methods: This study was clinical observation about sensorineural hearing Loss cases. For diagnosing in these cases, pure tone audiometry was used. The treatment, acupuncture was used. Results: Three patients(37.5%) remarkably improved, one patient(12.5%), slightly improved, four patients(50%), no change. Conclusions: These results suggest that the prognosis by age and initial hearing threshold was significant. The treatment on sensorineural hearing Loss considered that bone condution improved.
GPS를 이용한 장대교량 안전관리체계 구축에 관한 연구
최병길(Choi Byoung Gil),나영우(Na Young Woo),권오섭(Kwon Oh Seop) 대한공간정보학회 2010 한국지형공간정보학회 학술대회 Vol.2010 No.3
본 연구의 목적은 GPS센서를 이용한 장대교량의 실시간모니터링 및 통합운영시스템과의 연계를 통한 시설물의 안전관리체계 구축방안을 연구하는데 있다. GPS 센서를 이용하여 장대교량의 실시간 변위를 계측하여 통합운영시스템으로 교량의 수평 및 수직 방향 변위와 위험신호를 실시간으로 전송함으로써 장대교량의 안전관리가 가능하게 한다. 또한 GPS를 이용한 장대교량의 절대적 거동을 모니터링하고 전국적인 교량 안전관리네트워크를 구축하는데 활용할 수 있을 것이다.
품질경영시스템에 의한 품질리더십이 기업성과에 미치는 영향
임경수,권오섭 대구대학교 산업기술연구소 2012 産業技術硏究 Vol.23 No.1
Quality issue has been recognized as one of the most important challenges to be pursued seriously. For quality improvement, the most important factors that determine the quality of the product are in human factors, especially the CEO's quality leadership is growing importance. For practical purpose, we empirically examined the effect of CEO's quality leadership on the firm performance through the quality management system, especially for the small and medium companies. In this study, a role model is developed to present the causal relationship between the Quality Leadership and the Corporate Performance through the quality management system. We believe that the presented model will be a practical reference to the small and medium companies to estimate the level corporate performance in the quality management system.