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서종완,서희석,신명철,Seo, Jong-Wan,Suh, Hee-Seok,Shin, Myong-Chul 한국조명전기설비학회 2007 조명·전기설비학회논문지 Vol.21 No.5
반도체 공정에서 각 단계별 과정을 거친 후 dechucking시 wafer가 ESC(Electrostatic Chuck)로부터 방전되지 못하고, 잔류되어 있는 극성을 띤 전하(Electric charge)들에 의해 wafer와 ESC사이에 인력이 발생하여 wafer의 sliding, popping 및 wafer broken 등의 문제가 발생한다. 본 논문에서는 wafer와 ESC의 구성을 capacitor를 이용하여 modeling하고, PSpice를 사용하여 chucking system에 의한 wafer의 대전 현상을 모의하고 그 결과를 바탕으로 잔류전하를 방전시키기 위한 여러 가지 방법을 검토하여 최적의 잔류전하 제거 기법을 제시한다. 즉 별도의 전압원을 사용하여 (+)와 (-)를 교번하는 구형파를 인가함과 아울러 일정시간 동안 Plasma내에서 스위칭시킴으로써 ESC나 wafer에 charge되어 있는 극성을 띤 전하들을 중화(Neutralize) 시키도록 하였다. 그리고 이를 실제 하드웨어로 구현하여 실 공정에 적용한 결과를 제시한다. After the semiconductor processing, wafer is attracted by ESC(Electrostatic Chuck) with remaining electric charge. That causes too many problems for examples, sliding of wafer, popping or broken. This paper presents the model of ESC for silicon wafer, which is modeled by electrical circuit component such as capacitor. The simulations using PSpice result in the phenomenon of silicon wafer was charged by ESC. In this paper we suggest the discharging method. for wafer.
연료전지의 수소저장용 마그네슘계 합금의 기계적 분쇄 반응에 의한 수소화 특성 평가
김호성,서희석,차재상,Kim, Ho-Sung,Suh, Hee-Seok,Cha, Jae-Sang 한국조명전기설비학회 2006 조명·전기설비학회논문지 Vol.20 No.6
[ $Mg_2Ni$ ] 합금 및 $Mg_2Ni$와 카본 혼합물 입자의 수소저장 특성에 대한 기계적 분쇄(MG, Mechanical Grinding) 처리 효과를 고온 가스상의 PCT 측정 및 전기화학적인 마이크로 전극 측정법 등에 의해 검토되었다. PCT 측정은 약 $300[^{\circ}C]$의 고온에서 실시되었으며 전기화학적인 실험은 카본-섬유로 구성된 마이크로 전극을 1M KOH 수용액 속에서 조정자를 사용하여 MG 처리한 합금 단일입자에 접촉시켰다. 그 결과 $Mg_2Ni$ 합금과 카본 혼합물 입자의 경우 가스상에서 수소 해리압이 감소하고 상온에서 전기화학적인 수소화 특성이 크게 개선되었다. 이것은 기계적 분쇄(MG) 작용에 의한 합금의 미세화 및 나노화에 기인한다고 판단된다. 즉 고온 가스상의 PCT 측정 결과 수소 해리압이 MG 처리에 의해 0.55[MPa]에서 0.42[MPa]로 감소하였으며 동일 샘플 입자에 대해 마이크로 전극에 의한 평가에서도 수소화 피크가 보다 분명하게 관찰되었다. The effects of mechanical grinding(MG) treatment on the hydrogen storage of $Mg_2Ni$ alloy and $Mg_2Ni$ composite alloy($Mg_2Ni+graphite$) were investigated by pressure-composition-temperature(PCT) measurement, the micro-electrode technique of electrochemistry and etc, in which PCT was measured at high temperature(around $300[^{\circ}C]$) of gas phase and a carbon-filament micro-electrode for electrochemical evaluation was manipulated to make electrical contact with the particle in 1M KOH aqueous solution. It was found that the hydrogenation properties of $Mg_2Ni$ and graphite composite particle were greatly improved by the mechanical grinding treatment by which the $Mg_2Ni$ and graphite composite alloys could be changed into microstructure and nano-level particles. namely; the hydrogen dissociation pressure of PCT measurement was decreased from 0.55[MPa] to 0.42[MPa] and hydrogenation peaks by micro-electrode were also observed more clearly on the same sample.
소규모 전력시스템를 위한 실시간 전원 계측 및 저장 시스템 구현에 관한 연구
서종완,서희석,신명철,Seo, Jong-Wan,Suh, Hee-Seok,Shin, Myong-Chul 한국조명전기설비학회 2007 조명·전기설비학회논문지 Vol.21 No.7
태양 전지, 연료 전지 및 소규모 풍력발전 등 소규모 분산 전원의 보급에 따라, 소규모 전력 수용가측의 전원 구성은 종래의 단일 전력 사업자로부터 전원을 공급 받는 방식에서 분산 전원과 연계하여 동시에 사용하는 방식으로 바뀌고 있다. 이에 따라 분산전원을 사용하는 수용가에서는 계통과 연계하여 운전되는 분산 전원에 대한 상시 감시 제어 시스템이 요구된다. 이에 본 논문에서는 감시제어 시스템을 구성하는데 필수적으로 요구되는 계통의 전압, 전류 등을 측정하기 위한 시스템을 구현하였다. 그리고 계통의 정상상태는 물론 전원 투입과 탈락 시, 부하의 급격한 증감 시 발생하는 과도현상 데이터 등을 실시간으로 계측하고, 측정된 데이터들을 여러 가지 목적으로 사용할 수 있도록 USB 통신을 이용 PC로 전송하여 저장한다. 또한 PC에 전송된 데이터를 계측기를 사용한 측정 결과와 비교하여 제작한 시스템의 신뢰성을 검증한다. According to the using of electric power source such as solar cell, fuel cell and wind energy, consumer is supplied from distributed generator and electric power company. Therefore, it is required that the real-time measurement and control instrument for those distributed generator. In this paper, describes the development of measuring equipment for the power system with distributed generator. The equipment has real-time measure function and communication with PC via USB port, which is used for various purposes such as investigation of transient state, and is compared with measurement instrument to verify the reliability.
권명현,박철원,서희석,이복구,신명철,Kwon, Myoung-Hyun,Park, Chul-Won,Suh, Hee-Seok,Lee, Bock-Gu,Shin, Myong-Chul Korean Institute of Intelligent Systems 1998 한국지능시스템학회논문지 Vol.8 No.5
Power transformer protective relay should block the tripping during magnetizing imrush and rapidly operate the tripping during internal faults. But traditional approaches maloperate in the case of magnetizing inrush with low second harmonic component and internal faults with high second harmounic component. To enhance the fault detection sensitivities of conventional technuques, flux-differential current derivative curve by fuzzy theory approaches is used. This paper deals with fuzzy logic based protective relaying for power transformer. The proposed fuzzy based relaying algorithm consisits of flux-differential current derivative curve, harmonics restraint, and precentage differential characteristic curv. The proposed relaying was tested with relaying signals obtained from Salford EMTP simulation package and showed a fast and accurate trip operation.