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마이크로 공진 구조체 제작을 위한 다층 폴리실리콘의 스트레스 특성
최창억(C . A . Choi),이창승(C . S . Lee),장원익(W . I . Jang),홍윤식(Y . S . Hong),이종현(J . H . Lee),손병기(B . K . Sohn) 한국센서학회 1999 센서학회지 Vol.8 No.1
Micro polysilicon actuators, which are widely used in the field of MEMS (Microelectromechanical System) technology, were fabricated using polysilicon thin layers. Polysilicon deposition were carried out to have symmetrical layer structures with a LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) system, and we have measured physical characteristics by micro test patterns, such as bridges and cantilevers to verify minimal mechanical stress and stress gradient in the polysilicon layers according to the methods of mutilayer deposition, doping, and thermal treatment, also, analyzed the properties of each specimen, which have a different process condition, by XRD, and SIMS etc.. Finally, the fabricated planar polysilicon resonator, symmetrically stacked to 6.5㎛ thickness, showed Q of 1270 and oscillation ampitude of 5㎛ under DC 15V, AC 0.05V, and 1000 mtorr pressure. The developed micro polysilicon resonator can be utilized to micro gyroscope and accelerometor sensor.
제창한,최창억,이성규,양우석,Je, C.H.,Choi, C.A.,Lee, S.Q.,Yang, W.S. 한국전자통신연구원 2015 전자통신동향분석 Vol.30 No.6
압력센서란 두 물체 간의 상호 작용하는 힘의 크기를 나타내는 물리적 양을 측정하는 디바이스로서 힘의 전달 크기, 힘의 방향 등을 측정하는 데 매우 광범위하게 사용되고 있는 센서이다. 사용하는 분야는 의료, 자동차, 항공, 공업계측, 가전, 환경제어분야 등의 전반적 산업제품과 산업시설에 응용되고 있으며, 측정원리는 힘의 변화에 따른 재료의 변위, 변형, 진동수, 변화, 열전도율 변화 등을 이용하는 것으로 종전의 기계식 감지방법에서 현재는 센서장치의 소형화를 위하여 반도체소자 제작기술과 Micro Electro Mechanical System(MEMS)기술을 이용하는 초소형, 저전력형 센서개발로 계속 발전하고 있다. 본고에서 멤스(MEMS) 압력센서의 최근 제품 기술 개발과 시장 및 산업동향을 알아보고 향후 더욱더 확장될 압력센서제품 기술의 기초 정보를 제공하고자 한다.
무수 불화수소와 메탄올의 기상식각에 의한 실리콘 표면 미세 가공
장원익,최창억,이창승,홍윤식,이종현,백종태,김보우 ( W . I . Jang,C . A . Choi,C . S . Lee,Y . S . Hong,J . H . Lee,J . T . Baek,B . W . Kim ) 한국센서학회 1998 센서학회지 Vol.7 No.1
In silicon surface micro-machining, the newly developed GPE(gas-phase etching) process was verified as a very effective method for the release of highly compliant micro-structures. The developed GPE system with anhydrous HF gas and CH₃OH vapor was characterized and the selective etching properties of sacrificial layers to release silicon micro-structures were discussed. P-doped polysilicon and SOI(silicon on insulator) substrate were used as a structural layer and TEOS(tetraethyorthosilicate) oxide, thermal oxide and LTO(low temperature oxide) as a sacrificial layer. Compared with conventional wet-release, we successfully fabricated micro-structures with virtually no process-induced suction and residual product.
박강호,최낙진,양우석,이홍열,이상균,최창억,김종대,Park, K.H.,Choi, N.J.,Yang, W.S.,Lee, H.Y.,Lee, S.K.,Choi, C.A.,Kim, J.D. 한국전자통신연구원 2009 전자통신동향분석 Vol.24 No.6
지능형 센서 네트워크 기반의 첨단 IT 시스템을 이용한 실시간 환경 관리 및 보안 서비스를 제공하는 스마트 빌딩에서 다양한 빌딩내 환경 및 보안 정보를 감지하여 실시간으로 전달, 판단, 처리 및 제어할 수 있는 지능형 센서노드 플랫폼의 핵심 부품인 각종 센서의 제품 기술과 산업 현황을 분석하고 관련 센서 기술 및 산업의 미래 전망을 예측하였다.