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- 저자 : 이중환(Jung-Hwan Lee) (검색결과 28 건)
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이중환,이상환,권오준,Lee, Jung-Hwan,Lee, Sang-Hwan,Gwon, O-Jun 한국전자통신연구원 1989 전자통신 Vol.11 No.4
초고집적 반도체 제조에 널리 쓰이고 있는 티타늄 실리사이드 박막의 형성 조건에 따른 특성을 분석하였다. 실리콘 웨이퍼 위에 티타늄 박막을 스퍼터링 방식으로 증착하고, 급속 열처리(RTA) 방식으로 실리사이드화 온도 및 시간을 변화시켰다. 박막의 깊이에 따른 조성변화를 측정하기 위하여 AES 및 RBS 분석을, 결정구조의 분석을 위하여 XRD를, 전기적 특성을 평가하기 위하여 4-point probe로 면저항($R_s$)을측정하였다. 열처러 온도가 $500^{\circ}C$에서 부터 티타늄과 실리콘의 혼합이 일어나기 시작하여, $600~700^{\circ}C$에서는 거의 대부분의 티타늄이 2배 정도의 실리콘과 $Tisi_2$ 형성에 필요한 조성을 이루었으나, 반도체 공정에서 목표로 하는 전기전도성을 가지는 C54 $Tisi_2$ 결정구조를 형성하기 위해서는 $700^{\circ}C$이상에서 30초 이상의 열처리 조건이 필요하였다. 특히 열처리전에 이입되기 쉬운 산소 및 질소 등이 티타늄과 실리콘의 혼합과 실리사이드 결정화에 중요한 영향을 미치며, 이를 방지하기 위하여 티타늄 표면을 비정질 실리콘으로 덮은 경우에 C54 $Tisi_2$의 형성이 쉽게 이루어지는 효과가 관찰되었다.
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이중환,고재영,서경재,구양모,이윤영,Lee, Jung Hwan,Ko, Jae Young,Seo, Kyung Jae,Goo, Yang Mo,Lee, Youn Young 대한화학회 1999 대한화학회지 Vol.43 No.4
Allyl (5R)-(Z)- and (5R)-(E)-6-[(2S)-2,3-isopropylidenedioxypropylidene]Penicillanate(10a and 10b) were prepared from allyl (5R)-dibromopenicillanate(6) via a sequence of reactions involving condensation with 2,3-O-isopropylidene-D-glyceraldehyde, reduction with $Zn-NH_4OAc$, and Mitsunobu elimination. Deprotection of isopropylidene and allyl groups of 10a gave potassium (5R)-(Z)-6-[(2S)-2,3-dihydroxypropylidene]penicillanate(4). However, deprotection of isopropylidene group of 10b afforded ${\alpha},\;{\beta}$-unsaturated-lactone(12). Allyl (5R)-(Z)- and (5R)-(E)-6-[(2S)-2-(t-butyldimethlsilyloxy)propylidene]penicillanate(18a and 18b) were prepared from ally (5R)-dibromopenicillanate(6) via a sequence of reactions involving condensation with (2S)-2-(t-butyldimethylsilyloxy)propanal(15), reduction with $Zn-NH_4OAc$ and Mitsunobu elimination or mesylation-elimination. Deprotection of t-butyldimethylsilyl and allyl groups of 18a and 18b gave potassium (5R)-(Z)- and (5R)-(E)-6-[(2S)-2-hydroxypropylidene]penicillanate(5a and 5b), respectively. Allyl (5R)-dibromopenicillanate(6)의 2,3-O-isopropylidene-D-glyceraldehyde와의 축합, $Zn-NH_4OAc$에 의한 환원 및 Mitsunobu 제거반응의 일련의 과정을 거처서 allyl (5R)-(Z) 및 (5R)-(E)-6-[(2S)-2,3-isopropylidenedioxypropylidene]penicillanate(10a 및 10b)를 합성하였다. 화합물10a의 이소프로필리덴 및 알릴 보호기를 제거하여 potassium (5R)-(Z)-6-[(2S)-2,3-dihydroxypropylidene]penicilla-nate(4)를 얻었다. 그러나 화합물 10b의 이소프로필리덴 보호기를 제거한 결과 ${\alpha},\;{\beta}$-unsaturated-lactone(12)이 얻어짐을 확인하였다. Allyl(5R)-6,6-dibromopenicillanate(6)의 (2S)-2-(t-butyldimethyl-silyloxy)propanal(15)과의 축합, $Zn-NH_4OAc$에 의한 환원 및 Mitsunobu 제거반응 또는 메실화-제거반응의 일련의 과정을 거처서 allyl (5R)-(Z)- 및 (5R)-(E)-6-[(2S)-2-(t-butyldimethylsilyloxy)propylidene]-penicillanate(18a 및 18b)를 합성하였다. 화합물 18a 및 18b의 t-부틸디메틸실릴 및 알릴 보호기를 제거하여 potassium (5R)-(Z)- 및 (5R)-(E)-6-[(2S)-2-hydroxypropylidene]penillanate(5a 및 5b)를 얻었다.
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