http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
Inductively Coupled Plasma에 의한 fluorocarbon 가스 플라즈마의 실리카 표면 반응 연구
박상호,신장욱,정명영,최태구,권광호,Park, Sang-Ho,Shin, Jang-Uk,Jung, Myung-Young,Choy, Tae-Goo,Kwon, Kwang-Ho 한국전기전자재료학회 1998 전기전자재료학회논문지 Vol.11 No.6
The surface reactions of silica film($SiO_2-P_2O_5-B_2O_3-GeO_2$) with fluorocarbon plasma has been studied by using angle -resolved x-ray photoelectron spectroscopy(XPS). It has been confirmed that residual carbon consists of C-C and C-CFx bonds and fluorine mainly binds silicon in the case of etched silica by using $CF_4$ gas plasma. The surface reaction of silica with various fluorocarbon gases, such as $CF_4,C_2F_6 and CHF_3$ were investigated. XPS results showed that though the etching gases were changed, the elements and binding states of the residual layers on the etched silica by using various fluorocarbon gas plasma were nearly the same . This seems to be due to the high volatility of byproducts, that is, $SiF_4 and CO_2$ etc..
폴리머 상부클래드를 이용한 온도무의존 AWG 파장분할 다중화 소자의 설계 및 제작
한영탁,김덕준,신장욱,박상호,박윤정,성희경,Han, Young-Tak,Kim, Duk-Jun,Shin, Jang-Uk,Park, Sang-Ho,Park, Yoon-Jung,Sung, Hee-Kyeng 한국광학회 2003 한국광학회지 Vol.14 No.2
양의 열광학 계수를 갖는 실리카를 하부클래드 및 코아에 그리고 음의 열광학 계수를 갖는 폴리머를 상부클래드에 적용한 AWG(Arrayed Waveguide Grating) 파장분할 다중화 소자에 대하여 이차원 스칼라 유한차분법(Scalar Finite Difference Method; SFDM)으로 온도의존 특성을 분석한 결과, 클래드의 굴절률을 변화시키거나 실리카 코어 상부에 실리카 박막이 존재하는 구조에서 박막의 두께를 변화시켜 온도의존 특성을 조절할 수 있음을 확인하였다. 이러한 해석결과에 근거하여 폴리머 상부클래드가 적용된 AWG 소자를 제작하였으며 기존의 실리카 AWG 소자와 특성을 비교분석하였다. 폴리머 상부클래드의 도입에 의해 삽입손실 및 크로스톡은 큰 변화가 없었으나 중심파장의 온도의존성은 0.0130 nm/$^{\circ}C$에서 0.0028 nm/$^{\circ}C$ 수준으로 감소하였다. In arrayed waveguide grating (AWG) devices whose waveguides were composed of polymer with negative thermo-optic coefficient as overcladding, and silica with positive thermo-optic coefficient as both core and undercladding, we investigated the temperature dependence of the central wavelength using two-dimensional SFDM. From these results, it was confirmed that the temperature dependence can be nearly eliminated by adjusting the refractive index of the cladding and the thickness of the silica thin film upper-loaded on the core. Based on the numerical calculations, the AWG device with polymer overcladding was fabricated. and its optical characteristics were compared with those of the orginal silica AWG device. The introduction of polymer overcladding decreased the temperature dependence of the central wavelength from 0.0130 nm/$^{\circ}C$ to 0.0028 nm/$^{\circ}C$ without deteriorating the insertion loss and crosstalk characteristics.
데이터센터 통신용 하이브리드 집적 400Gbps 광송수신 엔진 개발
한영탁(Young-Tak Han),윤석준(Seok-Jun Yun),이동훈(Dong-Hoon Lee),김석태(Seok-Tae Kim),신장욱(Jang-Uk Shin),박상호(Sang-Ho Park),이서영(Seo-Young Lee),곽민준(Min-Jun Kwak),백용순(Yongsoon Baek) 한국통신학회 2021 한국통신학회 학술대회논문집 Vol.2021 No.11
채널당 100Gbps PAM4 동작용 EML(Electro-absorption Modulator-integrated Laser) 광원 및 CWDM4 기반 실리카 AWG(Arrayed Waveguide Grating)를 이용하여 하이브리드 집적 400Gbps 광송수신 엔진을 개발하였다. 제작된 400G 광송수신 엔진은 106Gbps PAM4 동작시 매우 양호한 송수신특성을 보였으며, 전 채널 400G-LR4 MSA(Multiple Source Agreement) 규격을 만족하였다.
실리카 도파로형 WDM 광 필터의 설계 및 해석에 관한 연구
최대필,문성욱,정영철,신장욱,정명영,최태구 광운대학교 신기술연구소 1997 신기술연구소논문집 Vol.26 No.-
본 논문에서는 Mach-Zehnder 간섭기로 구성된 1×4 필터와 성형결합기로 구성된 5×5 광도파로 격자 라우터를 BPM CAD TOOL을 이용하여 설계하였고 최적화 하였다. 마스크 레이아웃을 효율적으로 실현하기 위한 전체 도파구조를 설계하였다. BPM 전산모사를 통해 설계된 소자의 WDM 특성을 0.8 nm(100 ㎓)와 8.0 nm(1000 ㎓)의 채널간격에 대해서 살펴보았다. 설계된 소자는 두가지 채널간격 모두에 대하여 3.5dB 이내의 잉여손실, 0.5dB 이내의 균일성과 -22dB 이내의 누화(crosstalk)특성을 보임을 확인하였다. In this paper, we designed and optimized 1×4 WDM Filter composed of Mach-Zehnder Interferometer and 5×5 Waveguide Grating Router(WGR) composed of two star couplers. The overall guiding structure is designed to realize the mask layout efficiently. Through the BPM simulation, we demonstrated WDM characteristics of these devices with 0.8 nm and 8.0 nm channel-spacing. It is shown that the excess loss is less than 3.5dB, uniformity less than 0.5dB and the crosstalk smaller than –22 dB for both the channel spacings.