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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : E. D. Walsby (검색결과 1 건)
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        Analysis of silicon terahertz diffractive optics

        E. D. Walsby,S. M. Durbin,D. R. S. Cumming,R. J. Blaikie 한국물리학회 2004 Current Applied Physics Vol.4 No.2-4

        Simulations of silicon diractive lenses for terahertz frequencies have been performed using a Fraunhofer wave propagationmodel to show how the lens eciency can be aected by dierent fabrication defects. A general model is presented to illustrate theoperating bounds which must be adhered to when fabricating a lens using a multiple level process. From these simulations it ispossible to ascertain for a specic lens design with known processing inaccuracies what level of design complexity will gain the mostbenet. It is shown that for a 1 THz lens fabricated using an eight level process the lens eciency is reduced by less than 20% forrealistic values of etch non-uniformity, inter-level misalignment and surface roughness.

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