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      • FPD 검사 시스템을 위한 정밀 스타일러스 프로파일러

        정현수(Hyun Soo Jung),이성민(Seong-Min Lee),홍민성(Min-Sung Hong),이수훈(Soo-Hun Lee),박준호(June Ho Park),강동우(Dongwoo Kang),이문구(Moon G. Lee) 대한기계학회 2007 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2007 No.10

        There are increasing needs to inspect micro-pattern of flat panel display (FPD) device such as PDP and LCD. The inspection system should be able to measure over large size mother glass with high productivity and accuracy. Stylus profilers are adopted as an inspection system. To scan over large and heavy FPD device specimen, a “tip-scanning” head for stylus profiler is required. A simple method to realize a tip-scanning system is to miniaturize the whole scanning unit. In this study, a novel stylus profiler is proposed as a tip-scanning stylus profiler. A novel stylus profiler has leaf spring instead of conventional lever & pivot. To measure position of stylus optical senor is used. Linear variable differential transformer is applied to feed-back scanning stage displacement. The stage is actuated by a voice coil motor (VCM). Target performances of the stylus profiler head are stroke over 20㎜ and high accuracy. Specifications of xy-scanning stage are stroke over 250㎜×250㎜ and high bandwidth over 20Hz. The magnetic and elastic characteristics of the mechanism are designed based on finite element (FE) analysis. After fabrication of the head and stage, they are integrated. Current amplifier and feedback controller are also developed. The performance of the stylus profiler is also validated by inspecting standard sample.

      • KCI등재

        가시광선하에서 CdS와 CdZnS/ZnO 광촉매를 이용한 로다민 B, 메틸 오렌지 및 메틸렌 블루의 광분해 반응

        전현웅(Hyun Woong Jeon),정민교(Min Gyo Jeong),안병윤(Byeong Yun An),홍민성(Min Seong Hong),성상혁(Sang Hyeok Seong),이근대(Gun Dae Lee) 한국청정기술학회 2020 청정기술 Vol.26 No.4

        본 연구에서는 단순 침전법으로 제조한 CdS 및 CdZnS/ZnO 광촉매를 이용하여 가시광선하에서 로다민 B, 메틸 오렌지 및 메틸렌 블루 등에 대한 광분해 반응 연구를 수행하였다. 특히 염료와 광촉매의 물리화학적 성질이 전체 광촉매 반응의 반응 경로에 미치는 영향에 대해 중점을 두고 검토하였다. X선 회절분석법, UV-vis 확산반사 분광법 그리고 X선 광전자 분광분석법 등을 이용하여 제조된 촉매들의 물리화학적 특성을 분석하였다. CdS 및 CdZnS/ZnO 광촉매 모두 자외선뿐만 아니라 가시광선 영역에 있어서도 우수한 광흡수 특성을 나타내었다. 메틸 오렌지의 경우에는 CdS 및 CdZnS/ZnO 각각의 광촉매 상에서 동일한 반응기구를 통해 반응이 진행되는 반면, 로다민 B 및 메틸렌 블루는 각각의 광촉매 상에서 서로 다른 반응 경로를 통해 광분해 반응이 진행되는 것으로 나타났다. 특히 메틸렌 블루의 광분해 반응을 보면, CdZnS/ZnO 광촉매 상에서는 주로 단일분자 형태로 전체 반응이 진행되지만, CdS 상에서는 반응 초기부터 이량체를 형성하였다. 이와 같은 결과들은 CdS 및 CdZnS/ZnO 각각의 반도체 광촉매들의 전도대의 띠끝 전위 차이와 염료들의 흡착 특성 차이에 기인한 것으로 판단된다. In this study, the photocatalytic degradation of rhodamine B (RhB), methyl orange (MO) and methylene blue (MB) was carried out under visible light irradiation using CdS and CdZnS/ZnO photocatalysts prepared by a simple precipitation method. This study focused on examining the effect of physicochemical properties of dye and photocatalyst on the reaction pathway of photocatalytic degradation. The prepared photocatalysts were characterized by XRD, UV-vis DRS and XPS. Both the CdS and CdZnS/ZnO photocatalysts exhibit an excellent absorption in the visible light and the UV light regions. It was observed that the photocatalytic degradation of MO proceeds via the same reaction mechanism on both the CdS and CdZnS/ZnO photocatalysts. However, the photocatalytic degradation of RhB and MB was found to proceed through a different reaction pathway on the CdS and CdZnS/ZnO catalysts. It is interesting to note that MB dimer was formed on the CdS catalyst at the beginning of the photocatalytic reaction, while the MB monomer was degraded during the overall photocatalytic reaction on CdZnS/ZnO. The above results may be mainly ascribed to the difference of band edge potential of the conduction band in the CdS and CdZnS/ZnO semiconductors and the adsorption property of dye on the catalysts.

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