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관통 전극의 형상 측정을 위한 광계측 기술 개발
안흘비(H. Ahn),박정재(J. Park),진종한(J. Jin) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.5월
반도체 소자의 미세 형상 측정을 위한 분광 간섭계
안흘비(H. Ahn),박정재(J. Park),진종한(J. Jin) Korean Society for Precision Engineering 2018 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2018 No.10월
관통전극의 깊이 및 지름 고속 측정 기술
안흘비(H. B. Ahn),진종한(J. H. Jin),박정재(J. J. Park) 한국정밀공학회 2015 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2015 No.12월
광섬유기반 분광 간섭계를 이용한 미세 패턴의 3차원 형상 측정
안흘비(H. Ahn),박정재(J. Park),진종한(J. Jin) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.5월
미세 TSV 의 삼차원 형상 측정 기술
안흘비(H. Ahn),박정재(J. Park),진종한(J. Jin) 한국정밀공학회 2016 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2016 No.5월
미세 관통전극 깊이 측정에서의 불확도 분석
안흘비(H. Ahn),박정재(J. Park),진종한(J. Jin) 한국정밀공학회 2016 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2016 No.10월
미세 관통전극의 깊이 측정을 위한 광 전파 분석
안흘비(H. Ahn),박정재(J. Park),진종한(J. Jin) Korean Society for Precision Engineering 2019 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2019 No.5월
초미세 패턴 형상 측정을 위한 광센서 기술
진종한(J. Jin),박정재(J. Park),안흘비(H. Ahn),배재석(J. Bae) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.12월
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