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주영철(Joo Youngcheol),신휘철(Shin, Hwi-Chul),강명구(Kang, Myung-Koo) 한국산학기술학회 2009 한국산학기술학회논문지 Vol.10 No.10
반도체 양산공정에 사용되는 웨이퍼 프로버의 척은 고온이건 저온이건 항상 일정한 온도균일도가 요구된다. 저온으로 운전 시에 온도분포를 써모커플을 이용하여 측정한 결과 온도균일도를 향상할 필요가 있음을 발견하였다. FLUENT를 이용한 전산해석을 하여 온도분포를 해석하였으며, 이 결과를 이용하여 냉각수 회로 배치의 변경과 국부 적인 회로 폭의 확대 등 개선안을 제시하였다. 제시된 개선안과 현재 척의 온도분포를 비교한 결과 온도균일도가 향상되었음을 확인하였다. The wafer prober is used in mass production process of semiconductor chips. The chuck in wafer prober must have a uniform temperature distribution when the chuck is heated or cooled. The temperature distribution of prober chuck is measured by using a thermocouple when the chuck is cooled. The temperature distribution is also calculated by using a CFD program, FLUENT. The measured temperature and calculated temperature show similar distributions. A modified coolant circuit distribution for the improving temperature uniformity is suggested based on the numerical analysis results.
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Effect of Alkali Promoter on the CO Adsorption of Silica Supported Transition Metal Catalysts
장세헌,박형석,이조웅,박상윤,신휘철,Selhun Chang,Hyeongseok Park,Jo Woong Lee,Sang Youn Park,Hwee Chul Shin Korean Chemical Society 1984 대한화학회지 Vol.28 No.6
실리카지지 전이금속 촉매에 의한 일산화탄소의 화학흡착에 있어서 알칼리 촉진제의 효과를 조사하기 위하여 실리카지지 니켈을 칼륨으로 입힌 경우와 입히지 않은 경우 니켈에 화학흡착된 일산화탄소의 적외선 스펙트럼을 1800 ∼ 2100cm$^{-1}$영역에 걸쳐 여러가지 니켈농도와 일산화탄소 압력하에서 조사하였다. 칼륨을 입히지 않은 계의 경우에는 적외선 흡수띠의 세기가 니켈 농도에 크게 좌우되지만 띠의 위치는 거의 영향을 받지 않는다. 또한 물리흡착된 Ni(CO)$_4$에 의한 2057cm$^{-1}$띠도 확인되었다. 아울러 일산화탄소의 화학흡착에 대한 온도의 효과도 조사하였다. 칼륨을 입혔을 경우 일산화탄소의 적외선 스펙트럼의 흡수띠가 2 ~ 10cm$^{-1}$정도 장파장 쪽으로 이동하고 Ni(CO)$_4$의 형성이 억제되며 니켈표면 위에서 불균화반응 (2CO${\to}$C+CO$_2)$이 일어날 수 있음을 확인하였다. In order to elucidate the effect of alkali promoter on chemisorption of carbon monoxide on silica supported transition metal catalysts we have investigated the infrared spectra for carbon monoxide chemisorbed on silica supported nickel with and without potassium coating within the frequency range of 1800 ~ 2100cm$^{-1}$ at various nickel concentrations and CO pressures. For the system without potassium coating the IR band intensities are found to greatly depend on the nickel conwgfra concentration although the band positions are scarcely affected. The band positions are nearly coincident with those reported by other people, but we have clarified that the 2057cm$^{-1}$ band arises from Ni(CO)$_4$ molecules physisorbed on silicagel. Besides this, the effect of temperature on CO chemisorption has also been investigated. On coating with potassium we have found that all the bands observed for the system without potassium coating suffer red shifts by 2 ~ 10cm$^{-1}$ and the formation of Ni(CO)$_4$ is inhibited. Furthermore, we have recognized that on the nickel surface with potassium coating a disproportionation may occur to yield carbon dioxide molecules.
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