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- 저자 : 박종윤(C. Y. Park) (검색결과 6 건)
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적층구조 촉매층(Al/Fe/Al)을 이용한 탄소나노튜브의 합성에서 최상층 알루미늄 층의 역할
송우석,최원철,전철호,류동헌,이승엽,신용숙,박종윤,Song, W.,Choi, W.C.,Jeon, C.,Ryu, D.H.,Lee, S.Y.,Shin, Y.S.,Park, C.Y. 한국진공학회 2007 Applied Science and Convergence Technology Vol.16 No.5
적층구조 촉매층(Al/Fe/Al)을 이용하여 열 화학기상증착(thermal chemical vapor deposition ; TCVD)법을 통해 탄소 나노튜브를(carbon nanotubes ; CNTs)를 합성하였다. Raman spectroscopy, SEM 및 HR-TEM 분석결과, G/D는 22.7이며, 직경이 $1.14\;{\sim}\;1.32\;nm$인 금속성의 단일벽 탄소 나노튜브(single-walled CNTs ; SWCNTs)의 다발(bundle)들이 기판 전체에 network 구조로 형성되어 있는 것을 확인할 수 있었다. 이는 최상층의 Al이 촉매인 Fe의 응집현상(agglomeration)을 막아주는 역할을 하여 작고 균일한 핵 생성 사이트(nucleation site)를 통해 좁은 직경분포를 가진 단일벽 탄소 나노튜브가 합성되었음을 알 수 있다. In this study, we report the synthesis of the single-walled carbon nanotubes(SWCNTs) using laminated catalyst(Al/Fe/Al) layer deposited by sputter on Si(001). SWCNTs are grown by thermal chemical vapor deposition (TCVD) method. As the results of scanning electron microscopy(SEM), high resolution transmission electron microscopy(HR-TEM) and Raman spectroscopy, we confirmed the SWCNTs bundles with narrow diameter distribution of $1.14{\sim}1.32\;nm$ and average G&D ratio of 22.76. Compare to the sample having Fe/Al catalyst layer, it can be proposed that the top-aluminum incorporated with iron catalyst plays an important role in growing process of CNTs as a agglomeration barrier of the Fe catalyst. Thus, we suggest that a proper quantity of aluminium metal incorporated in Fe catalyst induce small and uniform iron catalysts causing SWCNTs with narrow diameter distribution.
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MPCVD를 이용하여 밀리미터 길이로 수직 정렬된 탄소나노튜브의 합성
김유석,송우석,이승엽,최원철,박종윤,Kim, Y.S.,Song, W.S.,Lee, S.Y.,Choi, W.C.,Park, C.Y. 한국진공학회 2009 Applied Science and Convergence Technology Vol.18 No.3
본 연구에서는 철(Fe)을 촉매금속으로 사용하고 마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착법(microwave plasma CVD)을 이용하여 얇은 다중벽 탄소나노튜브를 합성하였다. 촉매금속으로 사용된 철은 직류 마그네트론 스퍼터를 사용하여 증착하였으며, 탄소나노튜브의 합성에는 플라즈마 공급원인 수소($H_2$), 탄소 공급원인 메탄($CH_4$)과 함께 미량의 산소($O_2$) 또는 아르곤(Ar)과 함께 물을 수증기의 형태로 사용하였다. 산소 또는 수증기의 추가에 따른 탄소나노튜브의 성장률의 변화를 주사전자현미경으로 조사하였으며, 결정구조를 투과전자 현미경을 통해 관찰하였다. 또한 라만 분광법을 이용하여 추가 주입 기체의 종류에 따른 탄소나노튜브의 결정성의 변화를 분석하였다. 실험결과, 산소를 추가로 주입하였을 때 성장률이 가장 컸고 결정성도 개선되는 것을 확인하였다. 최종적으로 150 분 동안 합성하여 기판 위에 2.7 mm 이상의 수직 정렬된 얇은 다중벽 탄소나노튜브(thin-multiwalled CNTs)를 합성할 수 있었다. Millimeter-scale aligned arrays of thin-multiwalled carbon nanotube (t-MWCNT) on layered Si substrates have been synthesized by oxygen-assisted microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD). We have succeeded in growth of vertically aligned MWCNTs up to 2.7 mm in height for 150 min. The effect of $O_2$ and water vapour on growth rate was systematically investigated. In the case of $O_2$ gas, the growth rate was ${\sim}22{\mu}m/min$, which is outstanding growth rate comparing with those of conventional thermal CVD (TCVD). Scanning electron microscope (SEM), energy-dispersive spectroscopy (EDS), and Raman spectroscopy were used to analyze the CNT morphology, composition and growth mechanism. The role of $O_2$ gas during the CNT growth was discussed on.
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LEED, SRPES를 이용한 Mg / Si(111)계의 연구
안기석(K. S. An),박래준(R. J. Park),김정선(J. S. Kim),박종윤(C. Y. Park),이순보(S. B. Lee) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.3
Low Energy Electron Diffraction(LEED)와 Synchrotron Radiation Photoelectron Spectroscopy(SRPES)를 이용하여 Si(111)7×7 표면위에 Mg의 흡착에 의한 초기계면과 실리사이드의 형성에 대하여 연구하였다. 기판온도를 상온으로 유지하는 경우, 증착량의 증가에 따라 LEED pattern은 diffuse 7×7, diffuse 1×1, 2/3√3×2/3√3×3 R30℃ 구조로 변화하였다 300℃의 기판온도에서 관측되는 1×1 구조에 대한 surface sensitive Si 2p core level spectrum의 fitting 결과로부터, 이 1×1 구조는 적층성장한 Mg₂Si 박막에 의한 구조임을 알 수 있다. 그러나 이 1×1 구조를 가진 Mg₂Si 박막은 기판과의 큰 격자 비정합에 의하여 계속 적층성장하지 못하고, 또한 이 박막이 Mg의 확산을 막는 장벽 역할을 함에 의하여 Mg₂Si 박막이 성장하지 못함을 예상할 수 있다. 그 결과 Mg의 계속된 증착에도 불구하고 비정질의 Mg박막이 성장하였다. The initial interface and silicide formation induced by Mg adsorption on the Si(111)7×7 surface is studied using low energy electron diffraction(LEED), Synchrotron Radiation Photoelectron Spectroscopy(SRPES). At room temperature, we observed the LEED pattern of diffuse 7×7, diffuse 1×1, and 2/3√3×2/3√3×3 R30℃ with increase of Mg deposition amount, successively. From the fitting results for Si 2p core level. spectrum of the 1×1-Mg phase formed at 300℃, we found that the Mg₂Si film grow up to critical thickness epitaxially and that upon more deposition Mg film grow in disordered phase.
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The Effects of Defect Sites on the Dissociation of NO on Pt(111) Surface
부진효(J. H. Boo),강용철(Y. C. Kang),송명철(M. C. Song),박종윤(C. Y. Park),곽현태(H. T. Kwak),이순보(S. B. Lee) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.4
열탈착 분광법과 Auger 전자분광법을 이용하여 Ar-이온에 스퍼터링된 Pt(111) 표면에 NO의 흡착이 연구되었다. Pt(111) 표면에 Ar-이온에 의해서 생성된 결함자리들은 NO의 해리를 촉진시켰으며 이러한 해리는 결함자리에 흡착되는 NO(β-상태)의 선구상태를 거쳐서 일어났다. 그리고 이들 상태에 흡착된 NO는 이전에 보고된 굽힘진동을 하는 화학종이라고 규정하였다. NO의 낮은 덮힘율에서는 흡착되는 NO의 대부분이 해리되며, 덮힘율이 증가함에 따라 해리되는 분율은 약 80%로 일정하였다. Adsorption of nitric oxide on the Pt(Ⅲ) surface sputtered by Ar-ion has been studied using thermal desorption spectroscopy and Auger electron spectroscopy. Ar-ion sputtering creates defect sites on the Pt(111) surface to promote dissociation of NO. Dissociation of NO occurs through a precursor state of NO (β state) adsorbed at defect sites. The precursor state is characterized by the terminal bent species. At low coverage most of adsorbed NO dissociates. And as increasing the coverage, the fraction of dissociation remains about 80%.
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AES-LEED 장치의 설계 및 제작과 Ni / Pt(111)계에 관한 연구
이순보(S. B. Lee),부진효(J. H. Boo),이성용(S. Y. Lee),박종윤(C. Y. Park),곽현태(H. T. Kwak) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.2
본 연구에서는 표면 분석 장비에 필요한 초고진공 용기를 설계 제작하였으며, LEED optics를 이용한 AES와 LEED 제어 장비를 설계하여 제작하였다. 제작된 일련의 장비들을 이용하여 LEED optics의 전자에너지 분해능을 측정하고, Pt(111) 표면에 증착된 Ni의 성장양식을 단분자층과 단분자층의 형성모델을 가정하여 증착된 Ni의 두께를 Auger signal의 비로부터 구하였다. Ultra High Vacuum chamber for surface analysis and a series of AES-LEED controllers for LEED optics was designed and constructed. Electron energy resolution of LEED optics was tested. On the basis of the layer by layer mode, thickness of evaporated Ni on Pt(111) was calculated from the Auger signal ratio.
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김정선(J. S. Kim),여환욱(H. W. Yeo),박종윤(C. Y. Park) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.4
초고진공영역에서 배기특성 개선을 위하여 재질 및 구조가 다른 세 가지 형태의 60(l/s)형 이온펌프를 제작하여 그 배기특성을 측정하였다. 그 결과 음극판에 Ta선을 전기용접한 펌프와 양극 cell의 구조에 변화를 준 펌프의 배기속도가 상용으로 이용되고 있는 펌프에 비해 약 50% 이상 개선되었다. For the improvement in pumping characteristics, we constructed the sputter ion pumps of new three types made of a different materials and structures, with 60(l/s). The pumping speed of pumps which were consisted of the Ta-welded cathode plate and the anode cells of a modified structure improved in pumping speed by ~50% more than that of the conventional sputter ion pump.
DBpia
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