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Ryu, Jeong-Tak,Ikuno, T,Honda, S.,Katayama, M.,Oura, K. 한국산업정보학회 2006 한국산업정보학회논문지 Vol.11 No.4
본 논문에서는 DC 플라즈마와 금속유기물을 사용하여 CNF의 저온 합성에 성공하였다. 합성된 CNTs는 기판의 위치에 따라 매우 다른 특성 차이가 보였다. CNT는 일반적으로 직경 100 nm, 길이 $10{\mu}m$의 특성을 가진다. CNT의 형태적 특성들은 전계전자방출특성에 큰 영향을 준다는 사실을 본 연구를 통해 알 수 있었다. 따라서 CNF의 합성에 의한 CNF 구조적 특성은 전자소자응용면에서 매우 중요한 역할을 한다. Carbon nanofibers have synthesized a low temperature using DC Ar plasma and Fe-Phthalocyanine, and a characteristic difference of the synthesized CNF according to the location of the substrate was investigated. The carbon nanofibers had about 100nm diameter and up to $10{\mu}m$ length. These were grown in random orientation. There are two shapes in the CNFs, screw and straight line shapes. Furthermore, we found the selective growth of nanofibers on the scratched substrates. The density of CNFs synthesized on the position (a) were higher than that synthesized on the position (b) [See the Fig. 2]. Also, the length of CNFs was different. In the shape, CNFs with screw and straight line shape were synthesized in the position (a), but. only CNFs with straight line shape were synthesized in the position (b). The difference have an important effect on the field emission characteristics.
RF-PECVD를 이용한 순수메탄 플라즈마에서 성장된 탄소계 박막의 제작 및 특성
조경제,류정탁,백양규,T.IKUNO,S.HONDA,K.OURA,이상윤 한국물리학회 2002 새물리 Vol.44 No.2
Amorphous carbon films were fabricated in a pure methane plasma by using radio frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition. The surface morphology and the roughness of the films were examined as functions of the substrate temperature by using atomic force microscopy (AFM). We found that the roughness of the films improved considerably for substrate temperatures higher than 500 $^\circ$C. From the AFM and Raman spectroscopy results, growth of graphite crystallites was promoted by high substrate temperatures. Furthermore, the surface morphology abruptly changed at substrate temperatures over 600 $^\circ$C. These results can be explained as the characteristics of amorphous carbon films with regard to the surface morphology and the structural features. 비정질 탄소 박막을 RF-PECVD(Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 를 이용한 순수 메탄 플라즈마에서 제작하였다. 기판 온도의 변화에 따른 박막에 대한 표면 형태와 거칠기는 AFM(Atomic Force Microscopy)에 의해서 조사하였다. 본 연구에서 박막의 표면 형태는 기판 온도 600 $^\circ$C 에서 급격하게 변화되었으며 AFM에 의한 표면 거칠기의 정도도 큰 변화가 보였다. AFM 과 Raman spectroscopy 결과로부터 기판 온도가 높을수록 박막은 그라파이트화 되어 갔다. 이러한 결과로부터 비정질 탄소 박막의 표면형태와 구조적 특성에 관하여 설명하였다.