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한승익,김홍배 한국진공학회 2016 Applied Science and Convergence Technology Vol.25 No.6
This paper, Al-doped ZnO(AZO) thin films for application as transparent conducting oxide films were deposited on the Corning glass substrate by using RF magnetron sputtering system. The effects of various Argon gas flow rates on optical and electrical characteristics of AZO films were investigate sputtering method. The Carrier Concentration is enhanced as Ar gas rate increases, and also the oxygen vacancy concentration. The figure of merit obtained in this study means that AZO films which deposited Ar gas rate of 75 sccm have the highest Carrier concentration and Hall mobility, which have the highest photoelectrical performance that it could be used as transparent electrodes.
RF Sputtering으로 증착한 어닐링 온도변화에 따른 Ga-doped ZnO 박막 특성 연구
한승익,김홍배 한국반도체디스플레이기술학회 2016 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.2
This paper, Ga-doped ZnO (GZO) thin films which were deposited on Corning glass substrate using an magnetron sputtering deposition technology and then the post deposition annealing process was conducted for 30 minutes at different temperature of 100, 200, 300, and 400℃, respectively. So as to investigate the properties for the relevant the Concentration and Oxygen Vacancy with Annealing temperature of Ga-doped ZnO thin films by RF Sputtering method. The Carrier concentration is enhanced as annealing temperature decreases, and also the oxygen vacancy concentration is enhanced as annealing temperature decreased. Oxygen vacancy will decrease along with Carrier concentration. This change in Carrier concentration is related to changes in oxygen vacancy concentration. The figure of merit obtained in this study means that Ga-doped ZnO films which annealed at 400℃ have the lowest Carrier concentration and Oxygen vacancy, which have the highest optoelectrical performance that it could be used as a transparent electrode.
나노 소재 기반 변색-전기식 다중 감지 수소 센서 기술
서형탁 ( Hyungtak Seo ),한승익 ( Seungik Han ),야스민루바야 ( Rubaya Yeasmin ),박치완 ( Chiwan Park ),고경훈 ( Kyounghoon Ko ) 한국공업화학회 2023 공업화학전망 Vol.26 No.1
수소 경제 도래에 따라 친환경 에너지원으로서 수소는 power-to-gas (P2G)라고 불리는 재생에너지 활용과 연결되어 친환경 연료전지 기반의 운송, 전력 생산 등에 활용도가 급증하고 있을 뿐만 아니라 기존 수소 활용 분야인 화학공정, 반도체·디스플레이 분야, 열생산 분야에서도 쓰임새가 매우 큰 가스이다. 그러나, 수소는 헬륨(He) 다음으로 가벼운 기체이며 따라서 기체 상태로 에너지원으로 부피당 에너지 밀도 증가시키기 위해 수백 기압(Bar)에 이르는 고압 압축 형태의 저장 및 운송을 필요로 한다. 이러한 수소의 특성으로 인해 수소는 고압용기나 이송 파이프 등에서 누설되기 쉬운 반면 무색·무취하고 공기(혹은 산소 분위기) 중에서는 4~75% 사이에 아주 낮은 점화에너지를 가지기 때문에 심각한 폭발로 이어질 잠재성을 가지고 있는 위험한 가스이기도 하다. 따라서, 수소 에너지에서 수소 누설을 초기뿐만 아니라 갑작스런 사고 상황에서 즉각적으로 감지하는 수소 감지 기술은 매우 중요하다. 또한 수소 활용은 99% 이상의 고순도와 10% 이상의 다양한 농도 레벨에서 이루어지므로 이러한 수소의 농도를 실시간으로 감지하는 기술 또한 필요하다. 본 총설에서는 이러한 수소의 누설과 광범위 농도를 실시간으로 변색과 전기적 신호로 감지할 수 있는 수소 다중 감지 기술에 대하여 소개한다. 나노 입자 및 나노 다층 박막 기술 구현으로 인해 실제 현장에서 적용할 수 있는 실용성이 높은 수소 센서 최신기술을 소개하고 그 기술적 원리와 적용 방안을 논의한다.