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리튬 니오베이트(LiNbO₃) 웨이퍼의 CMP에 관한 연구
조한철(Hanchul Cho),정석훈(Sukhoon Jeong),이호준(Hojun Lee),박재홍(Jaehong Park),김형재(Hyoungjae Kim),정해도(Haedo Jeong) 한국기계가공학회 2007 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 Vol.2007 No.-
Lithium niobate (LiNbO₃) crystal is a kind of brittle and high hardness material. Lithium niobate is ferroelectric that has piezoelectric and pyroelectric characteristic. Because of these characteristics, lithium niobate is used in many electron components and parts. However, it is easily damaged during machining, and difficult to obtain high quality surface. In oder to obtain high MRR (material removal rate) and high quality surface roughness, lithium niobate polishing process applied to CMP (chemical mechanical polishing) process which is consisted of chemical and mechanical effects. In these experiments, two type pads closed-cell type pad (IC 1400 K-groove pad) and opened-cell type pad (Suba 800 M2 pad) and slurry of fumed silica type (ILD 1300 slurry) were used in same velocity and pressure conditions. Nano-view was used to measure surface roughness of the wafer.
리튬탄탈레이트(LiTaO₃) 기판의 화학기계적 연마 기술
이현섭(Hyunseop Lee),조한철(Hanchul Cho),정해도(Haedo Jeong) 대한기계학회 2008 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2008 No.5
Recently, lithium tantalate (LiTaO₃, LT) has been widely used for a piezoelectric material for SAW components and optical waveguides because of its piezoelectric, electro-optical, nonlinear optical characteristics, and a wide transparency range from ultraviolet to infrared. LT wafers should be polished to be used for substrates of device and waveguides due to surface scattering. However, few researchers have been reported on the chemical mechanical polishing (CMP) of LT. In this paper, we investigated the characteristics of potassium hydroxide (KOH)-hydrogen peroxide (H₂O₂) based slurry in CMP of LT by using modification of KOH based CMP slurry.
다양한 마찰대전 발전기에 활용 가능한 기계적 파워 앰프
박진형(Jinhyoung Park),조한철(Hanchul Cho),이용석(Yong-Seok Lee) 대한기계학회 2021 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2021 No.4
마찰대전 발전기는 기본적으로는 2 가지 재료에 마찰 대전된 전하를 전기회로에 흐르게 하여 이를 활용하는 발전기이다. 본 연구에서는 에너지 하베스터 자체가 아닌 전극 출력부 부분의 수정을 통해 출력을 높일 수 있는 방법을 제안한다. 이는 간단한 어댑터의 형태로 제작되었으며, 진동 운동에너지를 통해 전기에너지를 얻는 대부분의 마찰대전 발전기에 적용이 가능하다. 첫번째 연구 포인트는 전극의 저항값을 극적으로 감소시키셔 전류값을 증가하는 방법이다. 두번째는 피뢰침 혹은 전자총의 구조를 응용하여 순간적으로 전자를 집중적으로 모아 전달하는 방법이다[1, 2]. 이는 전자의 이동을 가속할 수 있는 방법인 피뢰침 혹은 전자총의 구조와 유사하며 이를 통해 마찰대전 발전기의 출력 전류값을 추가로 높일 수 있다. Basically, a triboelectric generator is a generator that utilizes the triboelectric charge of two materials to flow through the electric circuit. In this study, we propose a method to increase the output by modifying the electrode output part, not the energy harvester itself. It is manufactured in the form of a simple adapter, and can be applied to most triboelectric generators that obtain electrical energy through vibrational kinetic energy. The first research point is how to increase the current value by dramatically reducing the resistance value of the electrode. The second is a method of collecting and transmitting electrons instantaneously by applying the structure of a lightning rod or electron gun [1, 2]. This is similar to the structure of a lightning rod or electron gun, which is a method that can accelerate the movement of electrons, and through this, the output current value of the triboelectric generator can be further increased.