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에어로졸 데포지션 공정으로 제작된 BaTiO3 필름 성장에 출발 원료가 미치는 영향
조명연,김익수,이동원,구상모,오종민 한국전기전자재료학회 2020 전기전자재료학회논문지 Vol.33 No.3
Four types of BaTiO3 powders are prepared and successfully deposited on glass and Pt/Si substrates using the aerosol deposition process. Particles with sizes of 0.45 μm and 0.3 μm are selected as the starting powder, while those powders are treated using a different milling method. The jet-milled and ball-milled powders not only showed a smaller particle-size distribution, but compared with the non-milled powder, it also had a higher deposition rate using the uniformly generated aerosol. Although the films deposited using particles with size 0.45 μm exhibited some craters on the surface, significantly flat film surfaces were obtained. However, particles with size 0.3 μm create a slightly rough film surface, but the dielectric constant was greater than in the case involving particles with size 0.45 μm. Consequently, a suitably large particle size significantly influences the deposition rate and improvement in the surface roughness, and a uniform particle size distribution appears to contribute to an improved dielectric constant. Therefore, it is believed that the dielectric properties along with the growth characteristics can be enhanced by limiting particle size and shape. 본 연구에서는 에어로졸 데포지션 공정을 이용하여 출발 원료의 입자 및 사이즈가 BaTiO3 코팅층 성막 특성 및 유전 특성에 미치는 영향을 분석하였다. 입자 사이즈(0.45 um, 0.3 um)및 밀링법이 다른 네 가지 타입의 분말을 이용하여 BaTiO3 코팅막을 성공적으로 제조하였으며, 밀링 처리가 된 분말은 고른 입도 분포를 가지며 이에 따라 균일한 에어로졸 및 성막율이 향상되었다. 0.45 um의 입자 사이즈를 가진 코팅막은 더욱 높은 성막율을 보였으며, 표면에 crater가 일부 형성되었지만 평탄한 표면 조도가 얻어졌다. 반면 볼밀 처리된 0.3 um의 입자 사이즈를 통해 증착된 코팅막은 성막율과 표면 조도는 0.45 um에 비해 열세였으나, 상당히 높은 유전율을 나타내었다. 결론적으로 적절히 높은 입자 사이즈가 높은 성막율과 표면조도 개선에 큰 영향을 끼치는 것으로 보이며, 균일한 입도 분포가 유전율 향상에 일부 기여하는 것으로 보아, 입자 사이즈 및 형상 제어를 통해 성막 특성과 전기적 특성을 향상시킬 수 있을 것으로 판단된다.
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조명연 경북대학교 법학연구원 2008 법학논고 Vol.0 No.29
The 3 most crucial task for balance development of the government participation are MACC, Innocity and a business promotion . A special law is made for MACC and Innocity, and for a business promotion there is refer to law being made. The point of a public undertaking is [ law about purchasing land and compensation for public utilities] problem of compensation following purchase land. The biggest problems on deliberation compensation are transfer income tax, holding taxation and so forth tax problems. Delay of deliberation purchase between a landowner and a business proprietor is making serious unexpected problems like property tax, comprehensive real estate holding tax and other taxations occur. For a business proprietor to start working sooner, following city planning execution recognition service region will be changed as green region, residential area, and the business area. Accordingly land that was influenced by separate taxation will be influenced by aggregate taxation, and there for get sudden amount of taxes and also be influenced by comprehensive real estate holding tax. There fore in this case lands late compensation following the issue of taxation in a public undertaking, will give birth to late proprietary rights, in the characteristic of public undertaking land prices will be evaluated by a business recognition a notice date. Even though there is no transfer of ownership if transfer of ownership is certain following expropriation in limited time, the basic for taxation of property tax is proper to use as an exception provision like business recognition a notice date in a public undertaking. When a object separate taxation like agricultural greens region is changed to a residential area by a public undertaking execution recognition, to find out if aggregate taxations application is legitimate one has to compare income tax law, nontaxable exchange in agricultural land, reduction in 8year arable land, and in the agricultural land in an exchange of land, there are rules and compensations that sees agricultural land for 2 to 3 year no matter what service region it is, as before a business recognition a notice data compensates problems in service region there is a need for a local tax law to legislation repletion. 참여정부의 국가균형발전3대 핵심과제로 행정중심복합도시, 혁신도시를 위한 계획에 따라 특별법등이 만들어지고 관련법에 따라 사업추진이 이루어지고 있다. 공공사업의 핵심은 「공익사업을 위한 토지 등의 취득 및 보상에 관한 법률」 따른 토지취득에 따른 보상 문제이다. 협의보상에서 가장 걸림돌이 되는 문제는 양도소득세, 보유과세 등 세금문제이다. 토지소유자들과 사업시행자 사이의 협의매수지연에 따른 예기치 못한 재산세, 종합부동산세 등의 과세에 대한 문제가 심각하게 일어나고 있다. 예컨대, 사업시행자의 조속한 사업착공을 위하여 도시계획실시승인에 따른 용도지역을 자연녹지에서 주거지역, 상업지역등으로 변경하게 된다. 이에 따라 분리과세 되던 토지가 종합합산과세의 적용을 받게 되어 급격한 조세부담을 가질 뿐만 아니라 종합부동산세의 적용을 받기도 한다. 따라서 이 문제 대한 과세문제로 공공사업에 따른 토지의 보상지연으로 소유권이전 등이 늦어지는 경우에, 공공사업의 특성상 사업인정고시일 기준으로 지가를 평가하고 그에 따른 모든 행정적인 기준이 정하게 된다. 소유권이전은 없었지만 일정기한 안에는 토지수용에 의하여 소유권이전이 확실하다면 재산세의 과세기준을 공공사업에 있어서 사업인정고시일로 예외규정을 두는 것이 바람직하다. 분리과세대상인 자연녹지농지가 공공사업실시계획승인으로 주거지역으로 변경된 경우 종합과세적용이 타당한지는 현행 소득세법을 비교하여 보면, 농지교환의 비과세, 8년 경작농지의 감면, 농지대토에 있어서 용도지역에 관계없이 2년에서 3년 동안 농지로 보는 규정이 있고, 보상에 있어서 용도지역변경에 따른 보상의 문제에 있어서도 사업인정고시전의 용도지역으로 보상하고 있듯이 지방세법의 조속한 입법보완이 필요하다.
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에어로졸 데포지션 공정으로 제작된 BaTiO<sub>3</sub> 필름 성장에 출발 원료가 미치는 영향
조명연,김익수,이동원,구상모,오종민,Cho, Myung-Yeon,Kim, Ik-Soo,Lee, Dong-Won,Koo, Sang-Mo,Oh, Jong-Min 한국전기전자재료학회 2020 전기전자재료학회논문지 Vol.33 No.3
Four types of BaTiO<sub>3</sub> powders are prepared and successfully deposited on glass and Pt/Si substrates using the aerosol deposition process. Particles with sizes of 0.45 ㎛ and 0.3 ㎛ are selected as the starting powder, while those powders are treated using a different milling method. The jet-milled and ball-milled powders not only showed a smaller particle-size distribution, but compared with the non-milled powder, it also had a higher deposition rate using the uniformly generated aerosol. Although the films deposited using particles with size 0.45 ㎛ exhibited some craters on the surface, significantly flat film surfaces were obtained. However, particles with size 0.3 ㎛ create a slightly rough film surface, but the dielectric constant was greater than in the case involving particles with size 0.45 ㎛. Consequently, a suitably large particle size significantly influences the deposition rate and improvement in the surface roughness, and a uniform particle size distribution appears to contribute to an improved dielectric constant. Therefore, it is believed that the dielectric properties along with the growth characteristics can be enhanced by limiting particle size and shape.
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