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Cu 표면에 물리흡착한 희가스 및 수소의 비행시간법에 의한 전자충격탈리 이온 측정장치
홍승수,신용현,이치로 아라카와,정광화 한국물리학회 2005 새물리 Vol.50 No.4
An electron stimulated desorption (ESD) system using a time-of-ight method was assembled for the study of desorbed ESD ions from hot cathode ionization gauges and hydrogen desorption from vacuum materials. Kr, Xe and H2 were adsorbed on a clean Cu surface, and the ight times and desorption yields of residual particles and hydrogen ions were investigated. The desorption yields of the adsorbed gases were observed to depend the incident electron energy.
SUS304로 실현된 극고진공에서 전리진공게이지와 QMS를 이용한 전압 및 부분압 측정
홍승수,신용현,이치로 아라카와,정광화 한국물리학회 2005 새물리 Vol.50 No.6
An extremely high vacuum system in the range of 10$^{-10}$ Pa was constructed by using ordinary SUS304 chamber material, electro-polished surface processing, turbomolecular pumping, and bake-out techniques. The characteristics of three different types of hot cathode ionization gauges were studied and the partial pressure in the chamber was measured using a quadrupole mass spectrometer. The results showed that the dominant residual gas of the chamber was hydrogen and that little fluorine was present. SUS304재료, 전해연마표면처리, 2단 터보펌프 배기, 그리고 적당한굽기 과정을 통해 도달압력이 10$^{-10}$ Pa인 극고진공장치를제작하였다. 이 장치에 극고진공용 이온게이지 세 개와 질량분석기 한개를 부착하고 이온게이지의 전리 이온과 ESD 이온 분포, 압력특성,그리고 잔류기체 부분압 특성을 조사하였다. 극고진공에서 부분압 실험결과 잘 알려진 대로 용기의 잔류가스의 대부분은 H$_2$임이확인되었으나 잘 알려지지 않은 fluorine도 일부 포함되어 있음을 알수 있었다.
스테인레스 스틸 고진공용기에 부착된 열음극 전리진공게이지의 주변 온도변화에 따른 압력요동
홍승수(S. S. Hong),임인태(I. T. Lim),신용현(Y. H. Shin),정광화(K. H. Chung),이치로 아라카와(Ichiro Arakawa) 한국진공학회(ASCT) 2004 Applied Science and Convergence Technology Vol.13 No.2
스테인레스 스틸로 가공된 진공용기에 제조회사와 사양이 각각 다른 세 개의 열음극 전리진공게이지를 부착하고 실험실 온도변화에 따른 게이지들의 압력요동 특성을 조사하였다. 상온 근방의 최소 20℃와 최대 26 ℃에서의 압력 편차는 각각 IG1은 5.0%, IG2는 5.3 %, 그리고 IG3은 10.3%이었다. 그러나 온도 21.5℃에서 22.5℃ 구간에서의 압력변화는 모두 게이지들의 불확도 보다 작고 안정한 성능을 보였다. 본 연구결과 상온 고진공에서 열음극 전리진공게이지의 압력변화는 게이지 자체의 특성 때문에 아니고 실험실 온도 때문에 변화는 압력변화에 기인한 것임을 알 수 있었다. Three hot cathode ionization gauges (HCIG) were used to study their responses of pressure measurements at the stainlee steel high vacuum (HV) chamber around room temperatures. The pressure variations of HV measured by the three HCIGs between 20 ℃ and 26 ℃ were 5.0 %, 5.3 %, and 10.3 %, respectively. However, pressure differences between 21.5 ℃ and 22.5 ℃ were lower than the gauges uncertainly limits. The pressure variations of the HCIGs at the<br/> HV chamber was not directly affected by gauge characteristics, but pressure changes due to room temperatures.