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이근원(Keun Won Lee) 한국가스학회 2016 한국가스학회지 Vol.20 No.4
반도체 산업에서 많은 종류의 화학물질 사용으로 인한 독성물질 누출과 화학물질간의 혼화에 따른 화재·폭발 등에 의한 화학사고의 위험성이 증가하고 있다. 화학물질의 혼화에 따른 반응성을 평가하는데 실험적 방법이 가장 신뢰성 있지만, 모든 화학물질을 실험을 통하여 평가하는 것은 시간적, 비용적인 제한이 있다. 본 연구에서는 반도체 산업에서 주로 사용되는 공정가스의 위험성 추정하기 위해 미국 NOAA(National Oceanic and Atmospheric Administration)과 EPA에서 개발한 CRW(Chemical Reactivity Worksheet) 3.0 프로그램을 사용하여 공정가스의 반응성을 고찰하였다. 이들 연구 결과는 반도체산업의 공정가스의 혼화성에 따른 반응성 정보와 저장캐비닛의 가스 실린더 보관에 관한 KOSHA 기술지침 작성에 필요한 기초자료를 제시하고자 하였다. In the semiconductor industry, the risk of chemical accidents due to miscibility between the many types of chemicals and leakage of toxic chemicals has increased. In order to evaluate the reactivity with miscibility of chemicals, experimental method is the most reliable, but there is a time and cost limitations to be evaluated through experiment all the chemicals. In the study, the reactivity of process gases in the semiconductor industry was considered by the CRW (Chemical Reactivity Worksheets) 3.0 program developed by US NOAA (National Oceanic and Atmospheric Administration) and EPA. The reactivity informations with the miscibility of process gases for semiconductor industry provided, and also a KOSHA guide for the storage/separation of gas cylinders in dispensing cabinets in the semiconductor industry was proposed.
이근원(Keun-Won Lee),이정석(Jung-Suk Lee),최이락(Yi-Rac Choi) 한국가스학회 2011 한국가스학회지 Vol.15 No.2
열매체유는 화학공장의 가열시스템, 열교환 시스템, 가스플랜트 공정, 사출성형 시스템 및 펄프제지 공정 등에 사용된다. 열매체유는 고열이나 산화분해에 아주 안정하고 저항성이 있으며, 누출이나 방출의 경우 점화원을 만나면 쉽게 발화한다. 본 논문은 열메체유의 신유와 사용유에 대해 인화성과 열적 안정성을 고찰하였다. 열매체유의 인화성은 인화점과 자연발화점을 측정하여 평가하였고, 열적안정성은 열안정성시험기와 시차주사열량기를 사용하여 평가하였다, 실험결과로부터 열매체유의 적절한 사용과 취급과 관련된 안전대책 수립을 위해 화재위험 특성을 제시하였다. Heat transfer oils are used in applications such as heating systems of chemical plant, refinery heat exchange systems, gas plant process, injection molding systems, and pulp and paper processing. These oils are extremely stable and resistance to thermal and oxidative degradation. In the event of a spill or accidental release of heat transfer oils, it can be ignite easily when there is an ignition source. This paper discusses the flammability and thermal stabilities of new and used oils. The flammability of the oils are assessed by measuring changes in flash point and auto ignition temperature. The thermal stability of oils are evaluated by the thermal screening unit (TSu) and the differential scanning calorimeter (DSC). From the experimental results, it is suggested to give fire hazard characteristics to safe precautions for the proper use and treatment of heat transfer oils.