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사중극 질량 분석기의 이온소스 오염이 이온전류에 미치는 영향
이규찬,박창준,김진태,오은순,홍기성,홍승수,임인태,윤주영,강상우,신용현,Lee, K.C.,Park, C.J.,Kim, J.T.,Oh, E.S.,Hong, K.S.,Hong, S.S.,Lim, I.T.,Yun, J.Y.,Kang, S.W.,Shin, Y.H. 한국진공학회 2009 Applied Science and Convergence Technology Vol.18 No.3
The long term stability of ion current of QMS has been one of key parameters for monitoring gas process in vacuum. The time dependence of ionic current was monitored while the pressure of nitrogen gas was kept at a fixed pressure by introducing the gas into vacuum chamber. The chamber was evacuated to ${\sim}3{\times}10^{-9}\;Torr$ to reduce background signals before the measurement. Two ion sources were tested; one had brownish or black color due to gas contamination and the other one was new, i.e. cleaner. At a nitrogen pressure of $1{\times}10^{-5}\;Torr$, the ionic currents measured by the contaminated ion source decreased faster with time. The decrease rate was respectively ${\sim}46%$ for cleaner one and ${\sim}84%$ for contaminated one after ${\sim}5.5%$ hours. In order to test the effect of filament material on the ion current decrease, we fabricated a tungsten(W) filament which consisted of two parts; one half was made of W and the other was coated with yttria. The similar decrease of ionic currents were shown for the two types of filaments, indicating that slight change of temperature of filament due to material difference i.e. baking effect could not improve the origin of ionic current decrease. Overall the decreasing rate of ionic current is more closely associated with contaminated ion source of QMS rather than its filament materials. 사중극 질량분석기(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS) 이온전류의 안정성은 진공공정 가스를 모니터링 하는데 중요한 요소 중 하나이다. 진공챔버에 질소가스를 주입하여 압력을 일정하게 유지하면서 시간에 따른 이온전류의 변화를 모니터링 하였다. 진공챔버는 측정하기 전에 잡음신호를 줄이기 위해 ${\sim}3{\times}10^{-9}\;Torr$ 까지 배기하였고, 두개의 이온소스를 측정했다; 하나는 오염된 것으로 갈색 또는 검은색을 띄고 있고 다른 하나는 새 것이다. 질소 압력 $1{\times}10^{-5}\;Torr$에서, 오염된 이온소스의 이온 전류는 시간이 지남에 따라 더 빨리 감소했다. 대략 5.5 시간이 지난 후, 감소율은 새 것이 ${\sim}46%$이고 오염된 것은 ${\sim}84%$였다. 필라멘트 재질이 이온 전류감소에 미치는 영향을 관찰하기 위해서 텅스텐 선의 반을 산화이트륨($Y_2O_3$)으로 코팅하여 필라멘트를 제작하였다. 유사한 이온전류 감소현상이 재질이 다른 두 필라멘트에서 나타났는데 이것은 필라멘트 재질에 의한 온도의 변화 즉 baking 효과로는 이온전류 감소의 원인을 개선할 수 없다는 것을 의미한다. 전반적으로 이온전류의 감소율은 필라멘트 재질보다 이온소스의 오염과 더 밀접하게 관계되어 있다.
디지털 제어를 이용한 Interleaving CRM 플라이백 타입 DC-AC 인버터의 구현
김지태(J. T. Kim),이규찬(K. C. Lee),서갑수(G. S. Seo),현병철(B. C. Hyeon),배현수(H. S. Bae),조보형(B. H. Cho) 전력전자학회 2010 전력전자학술대회 논문집 Vol.2010 No.11
본 논문에서는 경계 모드(Critical Mode) 플라이백 타입의 DC-AC 인버터에 인터리빙을 적용한 디지털 제어를 제안한다. 연속모드(CCM)나 불연속모드(DCM)와 달리 경계 모드의 경우 주파수가 가변되기 때문에 인터리빙으로 구현하기는 상당히 까다로운 측면이 있다. 또한 아날로그 제어기로 구현에 한계를 지니기 때문에 보다 간편한 구현을 위해 디지털 제어IC을 이용하여 구현하는 방법에 대해 기술한다. 본문에서 200W급 플라이백 타입의 DC-AC 인버터에 경계모드 인터리빙을 방법을 적용한 후 실험으로 검증한다.
순시 재점등을 위한 소형 HID램프 이그니터 변압기에 대한 연구
김우섭(W.S. Kim),이인규(I.K. Lee),김창균(C.G. Kim),이규찬(G.C. Lee),조보형(B.H. Cho) 전력전자학회 2004 전력전자학술대회 논문집 Vol.- No.-
In this paper, the requirements for the HID lamp igniter transformer capable of hot strike are described. A small size high voltage (HV) transformer composed of a Rod type ferrite core and aluminum foil is designed. The Electro Magnetic characteristics are simulated with Finite Element Methodology (FEM). The design guideline of the HV transformer that produces an output voltage with a peak value of 25㎸ and a pulse width of larger than 100nS for a 35W automotive HID ballast prototype is discussed as an illustrative example.