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저 유전 재료의 에칭 공정을 위한 H2/N2 가스를 이용한 Capacitively Coupled Plasma 시뮬레이션
손채화 대한전기학회 2006 전기학회논문지C Vol.55 No.12C
- The resistance-capacitance (RC) delay of signals through interconnection materials becomes a big hurdle for high speed operation of semiconductors which contain multi-layer interconnections in smaller scales with higher integration density. Low-k materials are applied to the inter-metal dielectric (IMD) materials in order to overcome the RC delay. Relaxation continuum (RCT) model that includes neutral-species transport model have developed to model the etching process in a capacitively coupled plasma (CCP) device. We present the parametric study of the modeling results of a two-frequency capacitively coupled plasma (2f-CCP) with N2/H2 gas mixture that is known as promising one for organic low-k materials etching. For the etching of low-k materials by N2/H2 plasma, N and H atoms have a big influence on the materials. Moreover the distributions of excited neutral species influence the plasma density and profile. We include the neutral transport model as well as plasma one in the calculation. The plasma and neutrals are calculated self-consistently by iterating the simulation of both species till a spatio-temporal steady state profile could be obtained.
데이터 처리를 통한 테라헤르츠 (THz) 파의 2차원 이미지 개선
손채화,진윤식,전석기,김근주,정순신,정원용,Shon, Chae-Hwa,Jin, Yun-Sik,Jeon, Seuk-Gy,Kim, Keun-Ju,Jung, Sun-Shin,Yong, Chong-Won 한국광학회 2005 한국광학회지 Vol.16 No.6
테라헤르츠(terahertz: THz) 파를 이용한 2차원(2D) 투과 이미지의 개선 특성에 대해서 보고한다. THz 파 투과 신호의 진폭과 위상을 이용하여 다양한 시료에 대한 2차원 이미지를 얻었다. THz 파의 진폭과 위상 정보를 조합하는 새로운 방법을 제안하였고, 이 방법을 이용하여 피크 값의 크기 혹은 위상 중 어느 한가지만을 이용한 이미지보다 나은 이미지를 얻을 수 있었다. 또한 호모몰픽 필터링(homomorphic filtering) 디지틸 이미지 처리(digital image processing) 가 노이즈를 저감시키는데 효율적이고 나은 품질의 이미지도 얻을 수 있음을 보인다. 이 결과를 이용하여 향후 실시간 이미징에 응용 가능하다. Two-dimensional (2D) images that are produced by terahertz (THz) irradiation we presented. It is possible to obtain 2D image of various materials by observing the amplitude and the phase of the THz signals which go through them. Better images are produced by combining the amplitude and phase of the signal rather than using only one of these. Homomorphic filtering that is one elf the well-known technique of digital image signal processing is effective to reduce the noise signal and can provide better quality images. The results can be applied to real-time imaging afterwards.