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박상호,성희경,최태구,Park, S.H.,Sung, H.K.,Choi, T.K. 한국전자통신연구원 1999 전자통신동향분석 Vol.14 No.1
평면형 광소자 제조공정 중 실리카 식각공정 기술은 일반적으로 잘 알려진 반도체 식각공정 기술과 달리 $8\mum$이상을 식각할 수 있는 높은 식각률과 그에 따른 마스크 물질의 높은 선택비를 필요로 하며, 특히 광 손실을 줄이기 위하여 표면 및 측면의 조도를 줄일 수 있는 공정기술을 필요로 한다. 본 고에서는 $8\mum$이상의 실리카 채널 도파로 형성시 요구되는 식각특성 중 식각률과 식각선택비 및 플라즈마 소스에 대하여 알아보고, 유도결합프라즈마(inductively coupled plasma)를 사용한 실리카막의 식각특성과 최근 진행되고 있는 희토류 첨가 실리카막 식각공정에 대하여 소개한다.
2.5 MJ 고온초전도 SMES용 열 전도판의 와전류 손실 해석
이세연(S. Lee),박상호(S.H. Park),이지광(J.K. Lee),이상진(S.J. Lee),김우석(W.S. Kim),배준한(J.H. Bae),성기철(K.C. Seong),최경달(K. Choi),한송엽(S. Hahn) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.4
본 논문에서는 전도냉각형 2.5 MJ 고온 초전도 SMES(Superconducting Magnetic Energy Storage System)용 열 전도판의 와전류 손실 해석결과를 나타내었다. SMES의 운전 상태는 크게 충전, 저장, 방전의 3가지 구간으로 나눌 수 있다. 이 중 에너지의 충전과 방전 시에는 SMES의 초전도 코일에 전류 변화가 발생하기 때문에 코일과 인접하게 설치된 열전도판에 와전류가 발생하게 된다. 이러한 와전류 손실은 냉각장치의 부하로 작용하게 되어 SMES 시스템의 효율과 안정성을 높이기 위해 설계 시 반드시 고려되어야 하는 부분이다. 따라서 본 논문에서는 이러한 방전 조건에서의 열전도판에 발생하는 와전류 손실을 해석하고, 열전도판의 형상변화에 따른 와전류 손실 결과에 대해 검토하였다.
김수열(S.Y Kim),전영수(Y.S Jeon),이재욱(J.W Lee),박상호(S.H Park),이재청(J.C Lee),유현호(H.H Ryu) 전력전자학회 2004 전력전자학술대회 논문집 Vol.- No.-
한국전력공사에서는 전압원 인버터형 FACTS 기기인 UPFC를 전남 강진군 강진변전소에 설치(2003. 5. 23준공) 운전하였다. 강진 UPFC는 한전과 (주)효성이 공동으로 투자하고, 지멘스와의 기술 제휴를 통해 개발하였으며, 40㎹A 병렬인버터, 40㎹A 직렬인버터로 구성되어 총 80㎹A 용량이다. 현재 병렬인버터는 강진 모선전압 제어, 직렬 인버터는 강진-장흥간의 조류제어에 기여하며, 상용운전 중이다. 본 논문에서는 강진 UPFC 준공 1년여를 맞이하여, 그 동안에 발생한 이벤트 및 운전실적을 분석하였다.