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펨토초 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 드릴링의 공정 최적화 연구
김형원(Hyeongwon Kim),기형선(Hyungson Ki) 대한용접·접합학회 2019 대한용접·접합학회지 Vol.37 No.3
Laser trepanning drilling of 200 μm-diameter through-holes in 300 ㎛ thick silicon wafer was investigated using a 1028 nm femtosecond laser. Emphasis was placed on the optimization of hole shape using process parameters, such as pulse overlap ratio, pulse-to-pulse time interval, beam polarization, and focal position. This study showed that a low pulse overlap ratio (10%) with a moderate scan number decreases the difference between the top and bottom aperture diameters. Furthermore, a large pulse-to-pulse time interval was found to reduce the thermal effect. A circularly-polarized beam that was focused at the bottom wafer surface produced hole apertures that were closest to circles.
임성택(Seongtaek Lim),김중근(Jungkeun Kim),강윤구(YunKoo Kang),김형원(Hyeongwon Kim),김연철(Yeonchul Kim) 한국추진공학회 2008 한국추진공학회 학술대회논문집 Vol.2008 No.11
추력조정이 유연한 차세대 고체추진기관 그리고 위성제어용 차세대 비냉각 액체엔진 소형추력기는 2500℃급의 가혹한 작동조건에서 비삭마, 내열 내산화와 같은 내구성을 가진 내열부품을 요구하고있다. 본 연구에서는 차세대 추진기관의 작동조건을 제시하고 그에 맞는 내열부품의 국내외 기술현황을 조사하였다. 또한 레늄(Re)을 기본으로하는, 고체 및 액체추진기관에 동시 적용이 가능한 2500℃급 초고온 장수명 추력기(thruster) 내열부품의 국내연구 필요성과 방향을 제시하였다. Rocket nozzle components and thrusters for next-generation solid rocket with variable thrust, and small uncooled liquid rocket thrusters are required to withstand ultra-high temperature upto 250 0℃. In this survey, the operationg environments are investigated with the suggeations of proper materials and their fabrication methods. Especially, It is suggested that Rhenium and other competative matrials are exploited to 2500℃ hot components, and thus needed to be developed.