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화학증착법에 의한 고온 초전도 Y - Ba - Cu - O 박막의 제조 조건 확립에 관한 연구
박정식,조익준,김춘영,이희균,원동연,신형식 ( Joung Shik Park,Ik Joon Cho,Chun Yeong Kim,Hee Gyoun Lee,Dong Yeon Won,Hyung Shik Shin ) 한국공업화학회 1992 공업화학 Vol.3 No.3
단결정 기판위에 증착된 고온 초전도 박막은 microelectronic 장치의 실제적인 응용을 위한 가능성을 보여주고 있다. 고온 초전도 Y-Ba-Cu-O 박막을 원료물질로서 Y(thd)_3, Ba(thd)_2,와 Cu(thd)_2의 유기금속 킬레이트를 사용하였고 단결정 MgO(100), YSZ(100), SrTiO_3(100)와 다결정 SrTiO_3 기판에 화학증착법을 통해 제조하였다. 박막의 증착두깨는 증착시간이 증가함에 따라 선형적으로 증가하였다. 단결정 MgO(100), YSZ(100), SrTiO_3(100) 기판 위에 증착한 Y-Ba-Cu-O 박막은 액체질소 비등온도(T_(C,onset)=87∼89K, T_(C,zero)=85∼86K) 이상에서 초전도성을 나타내었으나 다결정 SrTiO_3 기판은 액체질소 비등온도 이상에서 제로저항을 갖지 않았다. The superconducting thin films have shown a growing possibility for practical application in microelectronic fields in recent years. In this study, the high Tc superconducting Y-Ba-Cu-O thin films were prepared on various substrates by chemical vapor deposition method using organic metal chelates of Y(thd)_3, Ba(thd)_2, and Cu(thd)_2 as source materials. The deposition reactions were carried out on single crystalline MgO(100), YSZ(100), SrTiO_3(100), and polycrystalline SrTiO_3 substrates. Deposition thickness of thin films was linearly increased with the increase of deposition time. It turned out that the Y-Ba-Cu-O thin films on MgO(100), YSZ(100), and SrTiO_3(100) single crystal substrates showed superconductivities above liquid nitrogen temperature(T_(C,onset)=87∼89K, T_(C,zero)=85∼86K), but the one on polycrystatline SrTiO_3 substrate did not.