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폴리머 위에 엑시머 레이저 방법으로 결정화된 다결정 실리콘의 특성
김경보,이종필,김무진,민영실 중소기업융합학회 2019 융합정보논문지 Vol.9 No.3
In this work, we investigated a low temperature polycrystalline silicon (LTPS) thin film transistors fabrication process on polymer layers. Dehydrogenation and activation processes were performed by a furnace annealing at a temperature of 430 ℃ for 2 hr. The crystallization of amorphous silicon films was formed by excimer laser annealing (ELA) method. The p-type device performance, fabricated by polycrystalline silicon (poly-Si) films, shows a very good performance with field effect mobility of 77 cm2/V·s and on/off ratio current ratio > 107. We believe that the poly-Si formed by a LTPS process may be well suited for fabrication of poly-Si TFTs for bendable panel displays such as AMOLED that require circuit integration. 본 논문은 유기물로 이루어진 폴리머 기판상에 저온 다결정 실리콘 박막트랜지스터 제조방법에 대해 연구하였다. 먼저, 폴리머 기판에 화학증착방식으로 비결정 실리콘 박막을 증착하였고, 열처리 장치인 퍼니스로 탈수소 및 활성화 공정을 430도에서 2시간동안 진행하였다. 이후 엑시머 레이저를 이용하여 결정화를 진행하여 다결정 실리콘 반도체 막을 제조하였다. 이 박막은 박막트랜지스터 제작을 위한 활성층으로 사용하였다. 제작된 p형 박막트랜지스터는 이동도 77cm2/V·s, on/off 전류비는 107이상의 동작특성을 보였고, 이는 결정화된 박막내부에 결함 농도가 낮음을 의미한다. 이 결과로 유기물 기판상에 엑시머 레이저로 형성된 다결정 실리콘으로 제작된 전자소자는 플렉서블 AMOLED 디스플레이 회로 형성에 최적의 기술임을 알 수 있다.
장기간 시계열 자료를 활용한 우리나라 참조기(Larimichthys polyactis) 자원의 생태학적특성 변동 분석
김무진,강희중,윤상철 한국수산해양기술학회 2024 수산해양기술연구 Vol.60 No.3
수산자원 관리에 있어서 대상 어종의 생태학적특성치를 연구하고 추정하는 것은 매우 중요하다. 생태학적특성치 추정 결과에 따라 자원평가 또는 금지체장, 금어기 등 수산자원관리 기준점이 크게 변한다. 특히 최근에는 어업활동에 의한 과도어획 및 기후변화, 해양오염 등 주변 환경 변화에 따라 생태학적특성이 변화하므로 지속적으로 수산자원의 생태학적특성치를 추정하고 모니터링하는 것이 중요하다. 따라서 본 논문에서는 2000년부터 2023년까지 23년간 우리나라 연근해 참조기 자원에 대한 정밀측정자료를 활용하여 연도별 체장-체중 관계식과 성숙체장(L50, L95)을 추정함으로써 생태특성 변화를 분석하였다. 또한 연도별 자원량을 추정함으로써 수산자원 고갈에 따른 조기성숙 현상을 수치적으로 해석하였다. 그 결과 수산자원의 영양상태를 나타내는 체장-체중 관계식의 매개변수 b는 연도별로 소폭 증가하는 경향을 보였으며, 대부분의 시기에서 영양상태가 비교적 양호한 것으로 판단 되었다(b>3.0). 성숙체장과 자원량 간의 추세 분석 결과, 자원량이 감소함에 따라 성숙체장도 감소하는 것으로 추정되었다. Researching and estimating the ecological characteristics of target fish species is crucial for fisheries resource management. The results of these estimates significantly influence stock assessments and management reference points such as size limit and closed seasons. Recently, ecological characteristics have been changing due to overfishing, climate change, and marine pollution, making continuous estimation and monitoring essential. This study analyzed the ecological changes in small yellow croaker (Larimichthys polyactis) resources in Korea over 24 years (2000-2023) using biological data (growth and gonad traits). By estimating the annual length-weight relationship and length at maturity (L50 and L95), we interpreted the numerical trends of early maturation due to resource depletion. The parameter b of the length-weight relationship, indicating the nutritional status of the resources, showed a slight increase over the years, suggesting relatively good nutritional status (b > 3.0) during most periods. Trend analysis between length at maturity and biomass indicated that as biomass decreased, maturity length also decreased.
김무진 대한산업경영학회 2022 산업융합연구 Vol.20 No.12
최근 전자소자는 플렉서블 기판상에 제작된 스마트폰이 출시되었으며, 스트레처블 한 전자소자의 연구가 진행되고있다. 본 논문에서는 실리콘 기반의 스트레처블한 소재를 만들어 이것을 기판으로 사용하여 산화물을 이용한 광센서 소자를구현하여 평가하고자 한다. 이를 위해, 실리콘 기반의 용액성 고무를 이용하여 상온에서 잘 늘어나는 기판을 만들어 소재의350% 연신율을 확인하였으며, 반사도, 투과도, 흡수도와 같은 광특성을 측정하였다. 다음으로 이러한 소재는 표면이 소수성을 나타내기 때문에 표면 세정 및 친수성으로 변화시키기 위하여 산소 기반의 플라즈마 표면 처리를 진행하였으며, 진공장비로 AZO(Aluminium Zinc Oxide) 기반의 산화막을 증착한 후 면봉을 이용하거나 메탈 마스트로 Ag 전극을 형성시켜 광센서를 완성하였다. 제작된 광전자소자는 빛을 조사했을 때와 하지 않았을 때의 전압에 따른 전류 변화를 분석하여 광에 의하여생성된 캐리어들에 의한 광전류를 관찰하였으며, 벤딩 장비를 이용하여 폴딩에 따른 광센서소자 영향성을 추가 테스트하였다. 벤딩 테스트 전과 빛에 의해 생성되는 전류값 변화를 추가로 분석하였다. 향후 스트레처블 기판위에 늘어나는 반도체 물질 및 전극을 형성하여 폴딩(벤딩) 및 늘어나는 광소자를 집중적으로 연구할 계획이다.