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마이크로 핫플레이트를 갖는 마이크로 가스센서의 열적성능에 관한 연구
朱永哲(Youngcheol Joo),任俊炯(Junhyoung Im),李周憲(Joohun Lee),金昌敎(C.K. Kim) 대한전기학회 2006 전기학회논문지C Vol.55 No.5
A micro hotplate for micro gas sensor was fabricated by MEMS technology. In order to heat up the gas sensing material to a target temperature, a micro hotplate was built on the gas sensor. The sensing material was deposited on the heater and electrodes, and did not contact with the silicon base to minimize the heat loss to the silicon base. The electric power to heat up the gas sensor was measured. The temperature distribution of micro gas sensor was analyzed by a CFD program. The predicted electric power to heat up the sensing material showed a good agreement with the measured data. The design of micro gas sensor could be modified to increase the temperature uniformity and to decrease the electric power consumption by optimizing the lavout of micro hotplate and electrodes.
나노 임프린팅 기술에 의한 원기둥형 나노 패턴의 PMMA 도광판 형성 기술
이병욱(B. W. Lee),이태성(T. S. Lee),이종하(J. H. Lee),이근우(K. W. Lee),정재훈(J. H. Jung),홍진수(C. Hong),김창교(C. K. Kim) 대한전기학회 2007 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2007 No.11
나노임프린팅 기술을 이용하여 원기둥형 나노 패턴을 갖는 도광판을 제작하였다. 나노 임프린트 공정을 이용하기 위해서는 니켈 스탬퍼가 필요하기 때문에 이를 제작하기 위하여 실리콘 웨이퍼 상에 건식식각을 이용하여 실리콘 몰드를 제작하였다. 제작된 실리콘 몰드를 전주도금을 이용하여 니켈 스탬퍼를 제작하였다. 제작된 니켈 스탬퍼를 사용한 나노임프린트 공정을 통해 원기둥 나노패턴을 갖는 도광판을 제작하였다.