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Virtual Metrology Technique for 100% Wafer-to-Wafer Variation Monitoring in the Semiconductor Manufacturing Processes
Baejin Lee(이배진),Yooseok Jang(장유석),Yusin Yang(양유신),Hankyu Kim(김한규),Sangil Lee(이상일),Kyupil Lee(이규필),Insoo Cho(조인수) 대한산업공학회 2013 대한산업공학회 춘계학술대회논문집 Vol.2013 No.5
Baejin Lee(이배진),Yooseok Jang(장유석),Yusin Yang(양유신),Hankyu Kim(김한규),Sangil Lee(이상일),Kyupil Lee(이규필),Insoo Cho(조인수) 한국경영과학회 2013 한국경영과학회 학술대회논문집 Vol.2013 No.5
Wafer defect analysis and monitoring method using process big data
Younghoon Sohn(손영훈),Mingoo Seo(서민구),Hyun Lee(이현),Yusin Yang(양유신),Chungsam Jun(전충삼),Sangkil Lee(이상길),Kyupil Lee(이규필),Insoo Cho(조인수) 대한산업공학회 2013 대한산업공학회 춘계학술대회논문집 Vol.2013 No.5
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