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Finite Element Analysis of the Structure of Capacitive Silicon Micro Pressure Sensors
Roh, Yongrae 경북대학교 센서기술연구소 1994 센서技術學術大會論文集 Vol.5 No.1
Capacitive micro pressure sensors are developed for use as miniature microphones. The sensor consists of a disk type diaphragm and several bridges connected to a rigid frame. Sensor material is silicon single crystals. The effect of geometrical variation is analyzed with finite element methods. Variables in consideration are the thickness and the diameter of the diaphragm as well as the number of bridges. Results of static, dynamic and sensitivity analyses reveal the optimal structure of the sensors.
노용래(Yongrae Roh) 대한기계학회 2002 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2002 No.2
기존 음향센서의 한계를 극복할 수 있는 새로운 형태로서 MEMS 기술을 이용한 마이크로 음향센서인 cMUT의 개념과 그 작동원리를 알아본다. 기존 음향센서 특히 초음파 음향센서로 널리 사용되는 압전형 센서와 비교한 장단점을 알아보고 그에 따라 cMUT의 장점을 살릴 수 있는 응용 분야와 향후 연구 방향을 고찰해본다.