http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
$BCl_3/Cl_2/Ar$ 고밀도 플라즈마에 의한 $(Ba, Sr)TiO_3$ 박막의 식각 메커니즘 연구
김승범,김창일,Kim, Seung-Bum,Kim, Chang-Il 대한전자공학회 2000 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.37 No.11
(Ba,Sr)$TiO_3$ 박막은 ULSI-DRAM 즉 1-4 Gbit급 DRAM용 셀(cell) 커패시터의 새로운 유전물질로 각광받고 있다. 본 연구에서는 ICP 장비에서 $BCl_3/Cl_2/Ar$ 플라즈마로 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막을 식각하였다. 이때 RF power/dc bias voltage는 600W/-250V, 반응로의 압력은 10mTorr 이었다. $Cl_2/(Cl_2+Ar)$은 0.2로 고정하였고, $BCl_3$ 가스를 첨가하면서 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막을 식각하였다. $BCl_3$ 가스를 10% 첨가하였을 때, $480{\AA}/min$으로 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막은 가장 높은 식각 속도를 나타내었다. $Cl_2/Ar$가스에 $BCl_3$의 첨가 비에 따른 Cl, BCl 및 B의 라디칼 밀도를 optical emission spectroscopy(OES)에 의해 구하였다. $BCl_3$를 10% 첨가하였을 때 Cl의 라디칼 밀도가 가장 높았다. (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막의 표면반응을 규명하기 위하여 XPS 분석을 수행한 결과 이온 bombardment 식각이 Ba-O 결합을 파괴하고 Ba와 Cl의 결합형태인 $BaCl_2$을 제거하기 위하여 필요하다. Sr과 Cl의 결합의 양은 많지 않고, Sr은 주로 물리적인 스퍼터링에 의하여 제거된다. Ti와 Cl은 화학적으로 반응하여 $TiCl_4$ 결합형태로 용이하게 제거된다. 식각후 단면사진을 SEM을 통해 본 결과 식각단면이 약 65~70$^{\circ}$ 정도였다. (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films have attracted great interest as new dielectric materials of capacitors for ultra-large-scale integrated dynamic random access memories (ULSI-DRAMs) such as 1 Gbit or 4 Gbit. In this study, inductively coupled $BCl_3/Cl_2/Ar$ plasmas was used to etch (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films. RF power/dc bias voltage=600 W/-250 V and chamber pressure was 10 mTorr. The $Cl_2/(Cl_2+Ar)$ was fixed at 0.2 the (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films were etched adding $BCl_3$. The highest (Ba,Sr)$TiO_3$ etch rate is $480{\AA}/min$ at 10 % $BCl_3$ to $Cl_2/Ar$. The change of Cl, B radical density measured by optical emission spectroscopy(OES) as a function of $BCl_3$ percentage in $Cl_2/Ar$. The highest Cl radical density was shown at the addition of 10% $BCl_3$ to $Cl_2/Ar$. To study on the surface reaction of (Ba, Sr)$TiO_3$ thin films was investigated by XPS analysis. Ion bombardment etching is necessary to break Ba-O bond and to remove $BaCl_2$. There is a little chemical reaction between Sr and Cl, but Sr is removed by physical sputtering. There is a chemical reaction between Ti and Cl, and $TiCl_4$ is removed with ease. The cross-sectional of (Ba,Sr)$TiO_3$ thin film was investigated by scanning electron microscopy (SEM), the etch slope is about 65~70$^{\circ}$.
김승범(Kim, Seung-Bum) 대한건축학회 2013 대한건축학회논문집 Vol.29 No.10
The purpose of this study was to examine social interaction in the production process of ‘Ground Zero’, rebuilding of World Trade Center site in New York. By tracing the progress of the major selected foci, the actors including human and non-human elements were structurally clarified with network diagrams based on Actor-Network Theory. Social interaction was found generally on the relationships not only among the human actors like ordering organizations, architects, pressure group, and the public but also among non-human actors like political position, economic situation, public opinion, right boundaries for the development, etc. By considering whole production progress not as negotiation between humans but as social interaction between human and non-human elements, relationship which had not been found beforehand could be rediscovered. At the same time, considering the actors as active elements which can be changable leads participants of the project to the new point of view which can change the background and conditions of the project.
실시간 변화관리를 통한 SO와 e-Business 시스템구축을 위한 시험평가방법
김승범(Kim, Seung-Bum),전인오(Jeon, In-Ho),양해술(Yang, Hae-Sool) 한국산학기술학회 2009 한국산학기술학회 학술대회 Vol.- No.-
국방 정보의 실시간 공유와 변화관리를 위해 자원관리분야 정보화사업 초기에 선행 사업으로 모든국방정보화사업의 모체가 되었어야할 조직 및 정원관리체계를 이제야 그 중대함을 인식하여 소요제기전력화 단계에서 분석과 설계, 시험 및 평가를 통해 전략적 변화관리와 SO 및 e-Business에 맞는 시스템 구현 결과를 토대로 게발시험과 운영시험평가 결과를 통해 실시간 변화관리와 비즈니스 통제의 가능성을 증명해 보기로 한다.
위성자료를 응용한 지구관측 분야의 기술분류와 국내 연구동향 파악
김승범 ( Seung Bum Kim ),안명환 ( Myoung Hwan Ahn ),김계현 ( Kye Hyun Kim ),김문규 ( Moon Gyu Kim ),사고호상 ( Ho Sang Sakong ) 大韓遠隔探査學會 2001 大韓遠隔探査學會誌 Vol.17 No.3
본 총론에서는 원격탐사를 사용한 지구관측분야(Level I)의 기술들에 대한 계층적 분류를 수행하였다. Level Ⅱ 기술들을 추출하기 위하여, 방법론 관점과 응용 관점에서 구성한 2차원 표를 사용하였고, 이 결과 수선관제와 대기/해양/육지분야의 자료 응용, 그리고 공동기술과 GIS (Geographical Information System)기술들을 선정하였다. 각 Level Ⅱ 기술들에 대하여 수개의 Level Ⅲ 기술들과 약 20-30개 가량의 Level Ⅳ 기술들을 추출하였다. 각 Level Ⅳ 기술들에 대하여 국내 확보현황, 미확보 기술의 확보 방안. 미확보 기술의 해외 확보 기관, 국내에서의 기술필요시기 등을 정리하였다. 또한 Level Ⅳ 기술들 중 공공성과 경제성에 근거한 우선 확보 기술들을 추출하였다. 기술분류 결과와 국내 연구동향에 관한 자료는 국내 연구진들간의 상호 이해와 협력을 촉진하며, 원격탐사분야를 새로이 시작하는 연구진과 학생들에게 기초자료를 제공하고, 정책수립을 위한 참고자료로서 유용하게 사용될 수 있을 것이다. In this review article, we produce a technology tree in the earth observation by remote sensing, which is the Level I technology in the tree. To define Level Ⅱ technologies, we create a two-dimensional matrix of technologies viewed from methodology and application viewpoints. Consequently the following fields are selected: reception-archiving, atmosphere. ocean, land, GIS, and common technology. For each Level Ⅱ technology. we extract half a dozen Level Ⅲ and about 20-30 Level Ⅳ technologies. For each Level Ⅳ technology. we review the status of domestic research and the approaches for acquiring deficient technology in Korea. Also we survey foreign institutions specializing in the deficient technologies and the time when the deficient technologies are needed. Furthermore we assign priority technologies from the viewpoints of public need and economic benefits. The information given in this article would help understand and collaborate among different disciplines, be a useful guide to a beginner to remote sensing, and assist policy making.
헬리콥터 초기 설계 모델에 대한 민감도 분석 및 매개변수 연구
김승범(Seung Bum Kim),최종수(Jong Soo Choi) 한국항공우주학회 2015 韓國航空宇宙學會誌 Vol.43 No.4
본 논문은 헬리콥터 초기 설계를 위해 수정된 추정식을 적용한 헬리콥터 초기 설계 모델 정립 연구의 응용에 대한 내용으로 헬리콥터 초기 설계의 효율성을 제고하고 개선하고자 하였다. 헬리콥터 설계 시 중량계수 영향성을 확인하고 적정한 중량계수 적용방법을 제시하였으며, 중량계수 및 회전면 하중, 블레이드 개수, 블레이드 종횡비와 같은 주요 매개변수에 대한 민감도 분석과 연관관계에 대해 고찰하였다. 연구 결과, 설계 시 변수에 대한 연관관계 및 민감도의 양을 고려하여 설계 할 헬기 특성을 최적화해야하며, 주요 매개변수들 사이에는 복합적인 연관관계가 존재하므로 설계 시 설계자는 설계 인자들에 대한 신중한 고려가 필요한 것으로 분석되었다. This paper is the study on the establishment of design model to improve design efficiency using modified weight estimation equation on the initial design stage for development of a helicopter. The methodology to extract coefficients of the weight estimation equation was proposed through the influence investigation for the weight of components and the parameter study and sensitivity analysis for design variables such as the rotor disk loading, the number of blade and the aspect ratio of blade were also performed. As a result of study, the relation of parameters and degree of sensitivity of parameters on helicopter design are considerable points for optimization of helicopter characteristics, and it is necessary for designer to consider the complex relation of main parameters.