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최진석,Choe, Jin-Seok 대한석유협회 1989 석유와 에너지 Vol.1989 No.12
이 글은 지난 12월 8일 전경련회관에서 열린 가스연맹주최 간담회에서 필자가 발표한 내용을 정리, 전재한 것이다. <편집자 주>
Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)
최진석,강성건,황유상,백수현,김영남,정재경,문환구,심태언,이종길,Choe, Jin-Seok,Gang, Seong-Geon,Hwang, Yu-Sang,Baek, Su-Hyeon,Kim, Yeong-Nam,Jeong, Jae-Gyeong,Mun, Hwan-Gu,Sim, Tae-Eon,Lee, Jong-Gil 한국재료학회 1991 한국재료학회지 Vol.1 No.3
Ti-Silicides를 single-Si wafer와 그 위에 oxide를 성장시킨 기판위에 composite target($TiSi_{2.6}$)을 sputtering함으로써 증착시켰다. 증착된 비정질 상태의 Ti-silicide는 급속 열처리(RTA)방법으로 $600^{\circ}C$에서 $850^{\circ}C$가지 20초간 처리하였다. RTA온도가 $800^{\circ}C$가 되어서야 비로소 안정한 $TiSi_2$가 형성되었으며, 그 때의 비저항 값은 $27~29{\mu}\Omega-cm$로 Ti-metal reactive방법에 의한 $TiSi_2$보다 약간 높은 값으로 드러났다. X-ray로 상천이를 조사한 결과 역시 $750^{\circ}C$가지 C49 $TiSi_2$가 형성되고, $800^{\circ}C$가 되어서야 안정한 C54 $TiSi_2$로의 상천이가 일어남을 나타내고 있다. 또한 완전히 형성된 Ti-silicide의 조성비는 x-ray photoelectron spectroscopy(XPS)결과에서 Ti : Si이 1 : 2로 드러났으며, 그 동안 reactive 시켰을 때 $TiSi_2$의 단점으로 지적되어 왔던 형성 완료된 $TiSi_2$의 surface roughness는 $17{\pm}1mm$이내로 매우 우수한 값으로 판명되어, device에 대한 응용 가능성을 높이고 있다. Ti-silicide was deposited by sputtering the composite target($TiSi_{2.6}$) on single-Si wafers and oxide on them. The heat treatment temperatures by rapid thermal annealing(RTA) have been varied in the range of $600-850^{\circ}C$ for 20seconds. It was not until RTA temperature was $800^{\circ}C$ that a stable $TiSi_2$ was formed, and the value of resistivity of that phase was $27~29{\mu}{\Omega}-cm$, which seems a little higher than that formed by the reactive method. The result of x-ray diffraction peals showed that till $750^{\circ}C$, C49 $TiSi_2$ phase was dominant, but at $800^{\circ}C$, at last, the phase was transformed into a stable C54 $TiSi_2$ phase. And, the result of x-ray photoeletron spectroscopy(XPS) measurements showed that the composition ratio of Ti and Si was 2 1 in the case of specimens treated at $800^{\circ}C$, The surface roughness of $TiSi_2$, which was condidered a weak point, was improved to a superior value of $17{\pm}1nm$, therefore increasing the possibility of applying $TiSi_2$ to semiconductor devices.
최진석(Choe, Jin-Seok),한상표(HAN, Sang-Pyo) 대한교통학회 2013 대한교통학회 학술대회지 Vol.69 No.-
이 연구는 우리나라가 미래 녹색산업으로 철도산업의 발전을 촉진하고 있고, 그 성과가 일부 나타나고 있음에도 불구하고, 철도산 업을 주도하고 있는 철도공기업인 한국철도공사와 한국철도시설공단의 위기설의 근원을 찾아 대응책을 마련해야 한다는 관점에서 시작되었다. 이를 위해 우선 철도공기업의 재무성과를 분석하였으며, 이를 토대로 이들 기업의 미래를 전망하였다. 미래를 전망하기 위해 공기업의 부실화 가능성을 평가하는 모델인 Altman K-1 모형을 적용하였다. 적용 결과 두 공기업의 부실화 가능성은 매우 높 다는 결론에 이르렀으며, 이런 결과는 수익을 창출하지 못하는 사업구조 때문으로 분석되었다. 외국의 사례에서 볼 때 철도의 수익 성은 시장기능을 활용한 다양화 및 전문화를 통해 달성될 수 있다. 그러므로 우리나라 철도 역시 같은 맥락으로 다양화 및 전문화가 가속화 될 수 있는 여건을 마련해야 할 것이다.