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Study on electrochemical mechanical polishing process of copper circuit on PCB
정찬화,Nadiia Kulyk,안창용,Jung Hoon Oh,조성민,Changsup Ryu,Young Kwan Ko 한국화학공학회 2010 Korean Journal of Chemical Engineering Vol.27 No.1
As an alternative to conventional chemical mechanical polishing (CMP) for the planarization of copper layers on electronic circuits, the electrochemical mechanical polishing (ECMP) process in alkali-based solution was investigated in this work. The influence of the polishing pad materials on the polishing process was studied, and the hard polyurethane polishing pad was shown to eliminate the “dishing effect”. The polishing conditions, such as the pad rotating speed, concentration of H2O2, and the amount of BTA additives were optimized to control the planarization performance. As a result, good planarization uniformity was obtained not only in small scale (30 μm) trenches but also in very large scale (a few mm) patterns with a single step ECMP process.
LTCC 를 소재로 하는 마이크로 리포머의 최적 설계에 관한 연구 : 일체형 Reformer/PROX 반응기의 설계 및 성능평가
정찬화(C. H Chung),오정훈(J. H. Oh),장주희(J. H. Jang),정명기(M. K. Jeong) 한국정밀공학회 2006 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2006 No.10월
A micro-fuel processor system integrating steam reformer and partial oxidation reactor was manufactured using low temperature cofired ceramic (LTCC). A CuO/ZnO/Al₂O₃ catalyst and Pt-based catalyst prepared by wet impregnation were used for steam reforming and partial oxidation, respectively. The performance of the LTCC micro-fuel processor was measured at various operating conditions such as the effect of the feed flow rate, the ratio of H₂O/CH₃OH, and the operating temperature on the LTCC reformer and CO clean-up system. The catalyst layer was loaded with "Fill and Dry" coating for small volume. The product gas was composed of 70~75% hydrogen, 20~25% carbon dioxide, and 1~2% carbon monoxide at 250~300℃, respectively.
LTCC를 소재로 하는 마이크로 리포머의 최적 설계에 관한 연구 : 다양한 채널구조에 따른 성능변화 고찰
정찬화(Chan-Hwa Chung),오정훈(Jeong-Hoon Oh) 한국정밀공학회 2006 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2006 No.5월
The miniature fuel cells have emerged as a promising power source for applications such as cellular phones, small digital devices, and autonomous sensors to embedded monitors or to micro-electro mechanical system(MEMS) devices. Several chemicals run candidate at a fuel in those systems, such as hydrogen, methanol, ethanol, acetic acid, and di-methyl ether(DME). Among them, hydrogen shows most efficient fuel performance. However, there are some difficulties in practical application for portable power sources. Therefore, more recently, there have been many efforts for development of micro-reformer to operate highly efficient micro fuel cells with liquid fuels such as methanol, ethanol, and DME In our experiments, we have integrated a micro-fuel processor system using low temperature co-fired ceramics(LTCC) materials. Out integrated micro-fuel processor system is containing embedded heaters, cavities, and 3D structures of micro-channels within LTCC layers for embedding catalysts(cf. Figs. 1 and 2). In the micro-channels of LTCC, we have loaded CuO/ZnO/Al₂O₃ catalysts using several different coating methods such as powder pacing or spraying, dipping, and washing of catalyst slurry.
DME(dimethyl ether)를 이용한 연료전지에 관한 연구
류정한,정찬화,이영관,남재도 한국화학공학회 2007 화학공학의이론과응용 Vol.10 No.1
대체연료로서 DME는 가장 간단한 에테르 형태인 CH3OCH3의 분자 구조로 이루어졌으며, 온화한 조건하에서 액체로 존재하는 화학물질이다(증기압: 20℃에서 5atm). DME는 공기 중에 오랫동안 노출되어도 과산화물 형태로 생성되지 않는 안정한 화합물로서 비활성적이고 부식성이 없다. 휴대용 연료전지를 만들기 위해서는 경량화가 중요한데 DME를 이용할 경우에는 DME에 일정 압력을 가하여 액화를 시킴으로써 전체 부피를 줄일 수 있고 또한 연료공급 펌프가 필요하지 않다는 장점이 있다. DME는 탄소와 탄소의 결합이 없어서 쉽게 이산화탄소가 될 수 있고 독성 또한 메탄올 보다 낮다. 본 연구에서는 메탄올을 이용한 연료전지의 단점을 극복하고자 DME를 이용한 연료전지의 가능성에 대한 사전 작업으로 물과 DME의 혼합 방법과 그로 인하여 물과 DME가 함께 연료로 공급될 때 최대효율을 얻을 수 있는 조건을 찾았다. 연료펌프 없는 휴대용 전원을 만들기 위하여 DME와 물의 혼합물을 만드는데 있어서 가압하는 방법을 이용하였다. 20℃ 1bar에서 물에 대한 DME의 포화농도가 5.7%정도이기 때문에 DME와 물의 반응비인 1:3 으로 반응하기 위한 기본 조건을 충족시키기 위하여 가압을 하여 연료 혼합물의 포화농도를 증가시켰다. 또한 DME를 이용한 연료전지의 성능을 파악하기 위해 기존의 DMFC와 비교, 분석하였다.