MEMS 공정을 위한 여러 종류의 산화막의 잔류응력 제거 공정

李相佑,김성운,李尙禹,김종팔,박상준,이상철,조동일 경북대학교 센서기술연구소 1998 센서技術學術大會論文集 Vol.9 No.1

Various oxide films are commonly used as a sacrificial layer or etch mask in the fabrication of microelectromechanical systems (MEMS). Large residual strain of these oxide films cause the wafer to bow, which can have detrimental effects on photolithography and other ensuing processes. This paper investigates the residual strain of tetraethoxysilane (TEOS), low temperature oxide (LTO), 7wt% and lOwt% phosphosilicate glass (PSG). Euler beams and a bent-beam strain sensor are used to measure residual strain. A polysilicon layer is used as a sacrificial layer, which is selectively etched away by XeF_(2). First, the residual strain of as-deposited films is measured, which is quite large. These films are annealed at 500℃, 600℃, 700℃ and 800℃ for 1 hour and residual strain is measured. Then, the residual strain after annealing at the conditions for depositing a 2μm thick polysilicon at 585℃ and 625℃ are also measured. Our results show that the 7wt% PSG is best suited as the sacrificial layer for 2μm thick polysilicon processes.

水平 bow-fin이 船體抵抗 및 運動性能에 미치는 影響 : 수평 bow-fin이 선체저항 및 운동성능에 미치는 영향

이상우 釜山大學校 工科大學 1985 工科大學 硏究 報告 Vol.29 No.-

삽목 조건이 ‘설향’ 딸기의 묘소질 및 과실 수량에 미치는 영향

이상우,이용혁,홍점규,최성환,박수정,이상우 (사) 한국생물환경조절학회 2023 생물환경조절학회지 Vol.32 No.4

딸기 ‘설향’ 품종에 대해 삽목 육묘의 조건을 확립하고자 삽수 채취용 모주 선택, 삽수의 적정 엽수 및 삽목 시기를 구명하였다. 삽수 채취는 육묘장 모주와 과실 수확 후 재배 식물체에서 채취하였고, 삽수의 엽수는 0, 1, 2장 그리고 삽목 시기는 6 월 4일부터 7월 9일까지 1주일 간격으로 하였다. 육묘장 삽수와 재배 식물체 삽수의 최종 생존율은 각각 99.5%, 98.7%로높았으며, 유의적인 차이는 없었다. 근수는 육묘장 삽수에서3.1개 많았고, 관부와 잎의 생육은 차이가 없었다. 과실 수량은 육묘장 삽수와 재배 식물체 삽수에서 각각 419.2g, 428.4g 이었지만 유의적인 차이는 없었다. 삽수의 엽수별 생존율은엽수 1, 2장에서 각각 98.1%, 98.3%로 높았고, 0장은 25.3% 로 현저히 낮았다. 근수는 엽수 1, 2장에서 각각 26.0개, 26.3 개로 엽수 0장의 23.5개에 비해 많았다. 관부와 엽의 생육에서는 엽수에 따른 유의적인 차이가 없었다. 과실 수량은 엽수 1, 2장에서 각각 424.4g, 421.5g으로, 0장 396.7g 보다 많았다. 삽목 시기에 따른 삽목 후 생존율은 97.2% 이상으로 높았으며, 처리 간의 유의적인 차이는 없었다. 묘의 지하부와 지상부그리고 관부의 생육은 6월 4일과 11일 삽목에서 가장 좋았다. 과실 수량은 6월 4일, 6월 11일 삽목에서 각각 433.3g, 426.4g 으로 가장 많았으며, 삽목 시기가 가장 늦었던 7월 9일 삽목에서는 384.5g으로 적었다. 딸기 삽목용 삽수 재료는 육묘장 삽수와 과실 수확을 마친 재배 식물체 삽수 모두 가능하였고, 삽수의 적정 엽수는 최소 1장 이상 그리고 경남 지역의 삽목 시기는 6월 4일-11일이 적합하였다. This study was conducted to investigate optimal conditions for cutting propagation of the strawberry cultivar “Sulhyang” through the collection methods of cuttings (runners tips), leaf number of cuttings, and cutting time. Cuttings were collected from the mother plant in the nursery bed (MP) and plants after fruit harvest (HP); the leaf number of cuttings was 0, 1, and 2, and the cutting time was at one-week intervals from June 4 to July 9. The survival rates for MP and HP cuttings were notably high, reaching 99.5% and 98.7%, respectively, but no significant difference was found. The number of roots were higher in MP cuttings, and there was no significant difference in crown and leaf growth. The fruit yields were 419.2 and 428.4 g, for MP and HP cuttings, respectively. The survival rates according to leaf number of cuttings were 98.1% and 98.3% for 1 and 2 remaining leaves, respectively, and remarkably lower at 25.3% for no remaining leaves. The root numbers were 26.0 and 26.3 for 1 and 2 remaining leaves, respectively, compared with 23.5 for no remaining leaves, with no significant differences in crown and leaf growth. The fruit yields were 424.4 and 421.5 g for 1 and 2 remaining leaves, respectively, and 396.7 g for no remaining leaves. The survival rates according to cutting time was over 97.2% in all cutting time without any difference in each treatment. The root, shoot, and crown of the nursery plant before planting showed the best growth in the cuttings on June 4 and 11, resulting in the highest fruit yields of 433.3 and 426.4 g, respectively, with the lowest yields at 384.5 g for cutting time on July 9. Both MP and HP materials proved suitable for strawberry cuttings. The optimal leaf number for cuttings was at least 1, and the optimal cutting time in Gyeongnam area was evaluated as around June 4-11.

21세기의 동아시아와 한국 그리고 제주도 : "북한관광실태연구" "동북아 해양질서와 국제법" "지방분권화 와 국제화 흐름 속에서 제주도 개발을 다시 생각한다"

김부찬,이상우,허향진 제주대학교 동아시아연구소 1990 東아시아硏究論叢 Vol.1 No.-

호기성환경에서 비소의 지구화학적 거동에 미치는 미생물의 영향 및 오염 복구에의 적용 가능성

이상우,김경웅,이종운,Lee, Sang-U,Kim, Gyeong-Ung,Lee, Jong-Un 대한자원환경지질학회 2001 자원환경지질 Vol.34 No.4

높은 함량의 비소로 오염된 지역으로부터 분리해 낸 토착미생물들이 비소 지구화학에 미치는 영향을 조사하였다. Arsenite는 arsenate에 비하여 더욱 높은 미생물 성장 저해효과를 나타내었다. Arsenate를 함유한 배양액에 분리된 미생물들을 24시간 동안 배양한 결과, arsenate의 함량이 높을수록 미생물들의 성장은 감소하였으며 150mM 이상의 arsenate 조건에서는 성장이 확연히 중단되었다. 그러나, 동일 배양액에서 4일간에 걸쳐 추가 배양한 결과 미생물들의 성장이 다시 관찰되었으며 이는 미생물들이 비소를 해독하고 성장을 유지할 수 있도록 그들의 생화학적 기능을 조절하였음을 의미한다. 분리된 것 중 두 종의 미생물을 arsenate를 함유한 배양액에서 20시간 가량 배양한 결과, arsenate를 arsenite로 환원시켰음이 관찰되었고 이는 해독기제에 의한 것으로 추측된다. 또한 동일조건의 배양액에서 4일간 추가 배양한 결과 총 용존 비소함량의 감소가 관찰되었다. 미생물은 자연조건에서 비소의 화학종 결정에 영향을 미치며 이러한 특성은 비소로 오염된 지역의 복구에 유용하게 사용되어 질 수 있을 것으로 예상된다. The effects on arsenic geochemistry of indigenous microorganisms isolated from an area contaminated with high concentration of arsenic were investigated. Arsenite exerted higher inhibitory effects on the microbes' growth than arsenate. During incubation of the microbes in an arsenate-spiked medium over 24 hours, decrease in microbial growth was observed as arsenate content increased. Arsenate of 150 mM or over apparently inhibited cell growth. However, further incubation for up to 4 days in the high arsenate concentration medium resulted in cell growth, implying that the microorganisms adjusted their biochemical functions to detoxify arsenic and maintain growth. Two types of microbes were observed during 20 hours to reduce arsenate to arsenite in solution through a detoxification mechanism. As well, decrease in the total arsenic content occurred over a 4-day incubation with the same microbes in an arsenate-spiked medium. Therefore it is suggested that microorganisms can influence arsenic speciation in natural settings and this may be applied to efficient bioremediation of arsenic-contaminated sites.

영국, 홍콩 그리고 한국의 기업문화의 비교분석: 차이점에 따른 갈등요인 규명을 중심으로

이상우 한국외국어대학교 국제지역연구센터 2007 국제지역연구 Vol.11 No.2

This paper reveals the business culture of those nations like Britain, Hong Kong and Korea from the view point of their strategical, organizational and employment relationship aspects. The main research method that this paper takes could be defined as a historical approach. Through this method we aims at finding out more detailed background knowledge of why and how any particular business culture emerges and the causes of this. Ultimately, this paper discusses the possibly emerging conflicts deriving from the cultural differences between those firms located in the three nations. The theoretical implication is that the environmental differences existing between the nations have resulted in somewhat different business cultures for each nation. At the same time, the culture similarity bores a similar patter of the business culture. More importantly, a distinctiveness that each nations has makes them maintain their own cultural peculiarity. This is another valuable implication of this paper. Finally, we must remember that economic environment which is far more dynamic than cultural one more decisively functions for the business firms in terms of their business culture. 본고는 영국, 홍콩 그리고 한국의 기업문화를 전략적인 측면, 조직구조적인 측면 그리고 고용관계적인 측면으로 나누어 살펴보았다. 분석형태는 특정시기의 동태적인 형태에 대한 직접비교보다는 역사적인 변화를 살펴봄으로써 각국의 기업문화의 형성 배경, 원인 등에 대한 좀 더 면밀한 답을 찾으려는 노력을 기울였다. 궁극적으로 본고는 이러한 과정을 통해 기업문화의 차이점으로 인해 야기될 수 있는 갈등요인을 소개 하였다. 본 연구의 이론적인 시사점은 다음과 같다. 먼저, 환경적인 요인의 차이는 상이한 형태의 기업문화를 형성하고 환경의 공유는 유사한 기업문화를 낳는다는 것이다. 이것은 결국 환경과 기업문화간의 밀접성을 의미하는 것이다. 우리는 각국 특유의 상황은 자기 나름의 독특성을 유지하면서 다른 두 국가의 기업문화와는 차별성을 보이고 있다는 점도 확인하였다. 이점 또한 본고의 중요한 이론적 시사점이다. 마지막으로 정태적인 문화적인 요인보다는 동태적인 경제환경이 적어도 기업조직에는 강하게 작용하고 있다는 점도 상기할 필요가 있다.

10ㆍ26의 實狀과 정치적 파장

李祥雨 세계평화교수협의회 1989 廣場 Vol.1989 No.194

몰리에르적 육체의 구원과 극예술 : 『상상병 환자』 를 중심으로

이상우 프랑스문화학회 1998 프랑스 문화읽기 Vol.3 No.1

Dans l'univers the´a^tral molie´resque, il existe un contraste permanent emtre nature et anti-nature, lettres et art me´dical, bon sens et folie. La gue´rison molie´resque du $quot;corps malade$quot; s'y trouve dans une harmonie de l'homme et de la nature. Quand l'ars medicalis permet a` l'homme de prolonger sa douleur, l'ars comique lui offrant du repos de l'a^me, lui fait oublier provisoirement de la peine. Ainsi en arrive-t-il a` lui dormer une cure psycophysique. Molie`re connai^t qu'Agran est vraiment malade et se reconnai^t qu'il l'est de me^me. Il exhorte d'abord a` chacun a` accepter sa condition humaine telle qu'elle est, puffs a` surpasser l'angoisse. Ine´vitable d'e´chapper du corps $quot;malade$quot; face a` sa mort! Tout au plus, l'art comique molie´resque n'est qu'une fuite de l'esprit. C'est entre l'harmonie de l'art et de la vie que sa dernie`re come´die se clo^t. C'est l'illusion de l'art, la solitude de l'art et le re^ve du dramaturge solitaire.

면역억제제

이상우 로얄에이알씨 주식회사 2005 로얄동물임상의학 Vol.3 No.2

The Roles of Hand Drawing and Computer Assisted Drawing in Landscape Architecture Professional Practice

이상우,리사 버루우,Lee Sang-Woo,Ballew Lisa H. Korean Institute of Landscape Architecture 2006 韓國造景學會誌 Vol.34 No.3

조경설계의 도구로서 컴퓨터 드로잉 기술은 핸드드로잉이 제공할 수 없었던 많은 이점을 제공하여 주며, 그 중요성은 현 미국 조경설계 실무 및 교육에서 점점 커 가고 있는 실정이다. 하지만 조경교육 측면에서 핸드드로잉과 컴퓨터 드로잉을 어떻게 균형을 맞추어야 하는지 쉽지 않은 논쟁거리를 제공한다. 이러한 미국 조경교육계의 고민은 미국에 국한된 문제가 아니라 한국 조경교육에서도 진지하게 고려되어야 되는 문제로 보인다. 본 연구는 미국 달라스시와 포트워쓰시를 포함한 미 텍사스주 북부에 위치한 설계사무소에 근무하는 조경기술사를 취득한 조경설계가들을 대상으로 실시한 설문을 통하여 조경실무에 있어서 핸드드로잉과 컴퓨터 드로잉의 역할에 대하여 조사하였다. 달라스시와 포트워쓰시는 Carter & Burgess, HOK, Mesa Design Group, SMR, SWA Group, TBG Partners등 미국의 대표적인 조경설계사무소 대부분이 본사 혹은 지역사무소를 두고 있는 미 남부의 대표적인 금융, 건(축)설 분야의 대표적인 쌍둥이 도시로 알려져 있다. 설문조사 결과, 몇몇 개인 특성들이 일상적인 조경설계에 있어서 핸드드로잉과 컴퓨터 드로잉의 중요성에 대한 인지와 관계가 있는 것으로 나타났다. 또한 컴퓨터 드로잉 기술이 일상적인 조경설계 과정에서 빈번하게 사용되고 있음에도 불구하고, 핸드드로잉만이 제공할 수 있는 고유 역할이 있는 것으로 나타났다. 특히 조경디자인 아이디어를 발전시키는 과정에 핸드드로잉 기법이 중요한 역할을 하는 것으로 나타났다.