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스퍼터링 방법으로 증착한 CdS박막의 열처리 온도에 따른 표면 및 구조 특성
류승한(Seung-Han Ryu),임채현(Chae-Hyun Lim),박주선(Ju-Sun Park),김남훈(Nam-Hoon Kim),양정태(Jang-Tae Yang),이우선(Woo-Sun Lee) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.7
신재생 에너지 태양광을 활용하기 위한 태양광 발전에 있어서 기존의 고가의 실리콘 기판 대신 저가의 박막형 태양전지 연구가 활발히 진행 되고 있다. 본 연구에서는 박막형 태양전지에 있어서 태양광의 투과층으로 사용되는 CdS 박막의 열처리에 따른 특성을 연구하였다. 실험은 CdS박막을 Sputtering법으로 동일한 조건에서 제조하였고 이 박막을 200℃, 300℃, 400℃, 500℃, 600℃까지 열처리 하였다. 열처리전과 후 Ellipsometer를 이용한 박막의 두께 변화, 표면의 RMS Roughness와 Peak to Valley Roughness의 변화 그리고 결정 구조변화 등을 조사하였다. 박막의 두께는 열처리 전보다 처리 후 두께가 얇아졌으나 거칠기나 결정성은 열처리 온도에 따라 거칠어지고 결정성이 떨어졌다.
대면적 기판에 균일한 CdTe 박막 증착을 위한 스퍼터링 방법 연구
박주선(Ju-Sun Park),임채현(Chae-Hyun Lim),류승한(Seung-Han Ryu),김남훈(Nam-Hoon Kim),양정태(Jang Tae Yang),이우선(Woo-Sun Lee) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.7
Cadmium Telluride (CdTe)를 이용한 박막형 태양전지 제작과 실용화에 있어 가장 큰 이슈는 대면적화에 따른 에너지 변환효율의 저하를 줄임으로써 고효율의 대면적 태양전지를 대량으로 생산하는 것이다. 따라서 본 연구에서는 태양전지 박막의 대면적 증착시 문제점 중에 하나인 불균일한 CdTe 박막의 증착을 방지하기 위한 선행연구를 진행하였다. 실험 방법으로는 Sputtering 법을 적용하여 박막 증착시 출력과 진공도에 따른 박막 두께의 표준편차와 RMS 표면 거칠기(R<SUB>rms</SUB>), 최고-최저점간 표면 거칠기(R<SUB>p-v</SUB>) 등의 거동을 고찰하였다. 이를 통해 Sputtering 공정 변수 중에 박막 두께의 표준 편차에 더 큰 영향을 미치는 변수를 조사하고, 후행 연구로 진행될 Sputtering 법을 이용하여 대면적에 균일하게 증착하는 방법에 적용하고자 한다.