http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
단일 이온원을 사용하는 이온빔 스퍼터링법에 의한 Mn-Zn 페라이트 박막의 증착 기구
조해석,하상기,이대형,홍석경,양기덕,김형준,김경용,유병두,Jo, Hae-Seok,Ha, Sang-Gi,Lee, Dae-Hyeong,Hong, Seok-Gyeong,Yang, Gi-Deok,Kim, Hyeong-Jun,Kim, Gyeong-Yong,Yu, Byeong-Du 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.2
단일 이온원을 사용하는 이온빔 스퍼터링법을 이용하여 Mn-Zn페라이트 박막을 증착하였다. 기판은 1000$\AA$의 산화막이 입혀진 실리콘 웨이퍼를 사용하고 타깃은 (110)Mn-Zn 페라이트 단결정위에 Fe 금속선을 부착한 모자이크 타깃을 사용하엿다. 산소의 유입없이 성장된 박막은 금속선으로부터 스퍼터링된 금속이온들에 의해 상대적인 산소결핍을 나타내어 Wustite 구조를 가졌으며, 이를 해결하기 위해 기판주위로 산소를 유입시켜 증착시킨 결과(111) 우선배향성을 가지는 스피넬 페라이트 상의 박막을 얻을 수 있었다.박막의 성장속도는 이온빔 인출전압, 이온빔 입사각이 증가할수록 감소하였고, 기판과 타깃과의 거리가 멀어질수록 감소하였다. 낮은 이온빔 인출전압에서는 인출전압의 증가에 따라서 박막의 결정화가 향상되었지만, 매우 높은 인출전압에서는 이차이온의 에너지가 너무 높아 박막에 손상을 가하게 되므로 인출전압이 증가할수록 박막의 결정화는 오히려 저하되었다. 스피넬 구조를 가지는 페라이트 박막들은 페리자성을 나타내었으며 박막면에 평행한 방향으로 자화용이축을 가졌다. Mn-Zn ferrite thin films were deposited on $SiO_2(1000 \AA)/Si(100)$ by ion beam sputtering using a single ion source. A mosaic target consisting of a single crystal(ll0) Mn-Zn ferrite with a Fe metal strip on it was used. As-deposited films without oxygen gas flow have a wiistite structure due to oxygen deficiencies, which originated from the extra metal atoms sputtered from the metal strips during deposition. The as-deposited films with oxygen gas flow, however, have a spinel structure with (111) preferred orientation. The crystallization of thin films was maximized at the ion beam extraction voltage of 2.lkV, at which the deposited films are bombarded appropriately by the energetic secondary ions reflected from the target. As the extraction voltage increased or decreased from the optimum value, the crystallinity of thin films becomes poor owing to a weak and severe bombardment of the secondary ions, respectively. Crystallization due to the bombardment of the secondary ions was also maximized at the beam incidence angle of $55^{\circ}$. The as-deposited ferrite thin films with a spinel structure showed ferrimagnetism and had an in-plane magnetization easy axis.
김명희 ( Ming-ji Jin ),이순영 ( Soon-young Lee ),원찬희 ( Chan-hee Won ),곽규동 ( Gyu-dong Gwak ),엄진영 ( Jin-young Eom ),양기해 ( Gi-hae Yang ) 한국환경기술학회 2007 한국환경기술학회지 Vol.8 No.1
본 연구는 영세한 소규모 업체에서도 적은 비용부담으로 사용할 수 있는 오 · 폐수처리장치 개발이 필요한 실정에 맞추어 자연포기형 생물막공정을 이용한 난분해성물질을 포함한 고농도 화학산업 폐수의 유기물 용적부하와 수리학적부하에 따른 처리효율 분석을 통하여 자연포기형 생물막공정의 난분해성물질을 포함한 고농도 폐수 처리 효율성을 분석하고자 한다. 유기물 용적부하 0.2kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d, 0.47kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d, 0.78kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d인 저율, 중율, 고율 살수여상의 운전범위에서 실험을 수행한 결과 유기물 용적부하 0.2kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d, 0.47kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d인 저율, 중율 살수여상의 운전범위에서 BOD<sub>5</sub>, COD<sub>Mn</sub>, COD<sub>Cr</sub> 처리효율 모두 살수여상의 설계기준을 만족하며 안정적인 처리를 진행하였으나, 유기물 용적부하 0.78kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d인 고율 살수여상의 운전범위에서 COD<sub>Mn</sub>과 COD<sub>Cr</sub> 처리효율은 설계기준에 다소 못 미치는 결과를 나타냈다. 수리학적부하 6.3㎥/㎡/d, 20.1㎥/㎡/d, 33.4㎥/㎡/d인 중속, 고속, 고속 살수여상의 수리학적부하 운전범위에서 실험을 수행한 결과 모든 운전조건에서 SS와 BOD5는 수리학적부하의 영향을 받지 않았으며, COD<sub>Mn</sub>과 COD<sub>Cr</sub>은 수리학적부하가 증가함에 따라 처리효율도 다소 증가하였으나 큰 영향은 받지 않았다. 따라서 경제적/효율적인 면을 동시에 만족시키기 위한 유기물 용적부하와 수리학적부하로 중율과 중속 살수여상의 운전범위에서 운전하는 것이 적정하다. In this study, natural aeration biofilm process was employed according to the requirement of development low cost-energy treatment equipment for small corporation. The efficiency of this equipment was evaluated at different organic loading rate and hydraulic loading rate to treat chemical wastewater which contains non-biodegradable matters. The chemical wastewater was treated under a trickling filter of organic loading rate at 0.2kgCOD<sub>Mn</sub>/㎥/d, 0.47kgCOD<sub>Mn</sub>/㎥/d and 0.78kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d. when the organic loading rate is at low-rate of 0.2kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d and intermediate-rate of 0.47kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d, the removal efficiency of BOD<sub>5</sub>, COD<sub>Mn</sub> and COD<sub>Cr</sub> can satisfied the design standard of general trickling filter process and the wastewater can be treated stably. However, when the organic loading rate is at high-rate of 0.78kg COD<sub>Mn</sub>/㎥/d, removal efficiency of COD<sub>Mn</sub> and COD<sub>Cr</sub> can not satisfied the design standard of general trickling filter process. When the wastewater was treated at hydraulic loading rate of 6.3㎥/㎡/d, 20.1㎥/㎡/d and 33.4 ㎥/㎡/d, the removal efficiencies of SS and BOD<sub>5</sub> didn`t effected by hydraulic loading rate. While the removal efficiencies of COD<sub>Mn</sub> and COD<sub>Cr</sub> were increased by the increasing of by hydraulic loading rate, but the efficiencies were not distinct. To sum up, at the intermediate-rate of trickling filter, the effect of chemical wastewater treatment can be the economical and effective.