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실리콘 나노와이어의 압저항 효과를 이용한 마이크로폰 제작에 관한 연구
정석원(Suk-Won Jung),이경일(Kyung-Il Lee),유민상(Min-Sang You),손재기(Jae-Ki Son),이석필(Suk-Pil Lee),성우경(Woo-Kyung Seong) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.7
본 연구에서는 MEMS 공정에 기반을 둔 실리콘 나노와이어 제조공정을 바탕으로 실리콘 나노와이어의 압저항 효과를 이용한 압저항형 마이크로폰 구조를 제안, 소자를 제작하여 그 특성을 평가하였다. 본 마이크로폰은 음압에 따른 diaphragm의 진동에 의한 기계적인 스트레스에 기인한 실리콘 나노와이어의 압저항 효과에 따른 저항 변화가 유도되도록 구조를 설계하였으며, 실리콘 나노와이어 제조공정, 전극형성 공정, Bisbenzocyclobutene(BCB) polymer를 이용한 membrane 형성공정, 기판 본딩 공정, 실리콘 deep RIE(Reactive Ion Etching) 공정을 이용한 diaphragm 형성 공정으로 마이크로폰을 제작하였다. 제작된 마이크로폰은 나노와이어의 굵기, 길이, 위치, 그리고 diaphragm의 크기, BCB membrane의 두께 등 다양한 설계 파라미터를 토대로 각 특성을 평가하였다.
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이승웅 ( Seung-ung Lee ),문두열 ( Du-yeoul Mun ),성우경 ( Woo-kyung Seong ),김재우 ( Jae-woo Kim ) 한국지리정보학회 2018 한국지리정보학회지 Vol.21 No.3
최근 들어 UAV(무인항공기) 및 드론을 이용하여 다양한 활용기술에 대한 연구들이 이루어지고 있다. 특히, 측량분야에서는 UAV에 탑재된 디지털 카메라나 다양한 센서들을 이용하여 취득된 고해상도의 영상자료를 바탕으로 해당 지형을 모니터링하거나, 고해상도의 정사영상 및 DSM, DEM을 생성하기 위한 기술에 관한 연구들이 수행되고 있다. 본 연구에서는 UAV와 VRS-GPS를 이용하여 GCP 정합수에 따른 정확도를 분석하여 보았다. 먼저 VRS-GPS를 이용해 지상기준점을 선점한 후 UAV를 이용하여 기본고도 150m로 촬영을 실시하였으며, 646장의 영상정보를 취득하여 DSM과 정사영상을 제작하기 위해 pix4d mapper버전을 사용하여 RMSE를 분석한 결과 GCP정합수를 5장 이상만 하여도 국가 기본도(축척 : 1/5,000) 제작 작업규정의 오차범위를 준수하고 있어 수치지도 수정 · 갱신 업무까지도 충분이 활용이 가능한 것으로 판단되었다. Recently, UAVs and Drones have been used for various applications. In particular, in the field of surveying, there are studies on the technology for monitoring the terrain based on the high resolution image data obtained by using the UAV-equipped digital camera or various sensors, or for generating high resolution orthoimage, DSM, and DEM . In this study, we analyzed the accuracy of GCP(Ground control point) matching using UAV and VRS-GPS. First, we used VRS-GPS to pre-empt the ground reference point, and then imaged at a base altitude of 150m using UAV. To obtain DSM and orthographic images of 646 images, RMSE was analyzed using pix4d mapper version As a result, even if the number of GCP matches is more than five, the error range of the national basic map(scale : 1/5,000) production work regulations is observed, and it is judged that the digital map revision and gauging work can be utilized sufficiently.
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김유래(Yu-Rae Kim),이국녕(Kook-Nyung Lee),백창욱(Chang-Wook Baek),이경건(Kyounggun Lee),정석원(Suk-Won Jung),이경일(Kyung-Il Lee),성우경(Woo-Kyeong Seong) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.7
In this paper, a novel acoustic chamber structure of a capacitive microphone was presented. Acoustic chamber cavities of the proposed microphone were produced by using tetramethylammoniumhydroxide(TMAH) wet etching. Benefitting from anisotropic etching property of TMAH, we can obtain sufficient volume of acoustic chamber and mechanically stable structure without any critical damping effect. The resonance frequencies of the membranes were measured to be 96, 54, and 37 ㎑ for the 1.5 × 1.5, 2 × 2, and 2.5 × 2.5 ㎟ membranes on average, respectively. The measured resonance frequencies were in good agreement with analytic calculation and FEM simulation results. Assuming the source voltage of 200 V, the sensitivities were calculated to be -52.3 ㏈, -46.3 ㏈ and -41.4 ㏈ at 1 ㎑.
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