저온 Cu-Cu본딩을 위한 12nm 티타늄 박막 특성 분석

박승민,김윤호,김사라은경,Park, Seungmin,Kim, Yoonho,Kim, Sarah Eunkyung 한국마이크로전자및패키징학회 2021 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.28 No.3

최근 반도체 소자의 소형화는 물리적 한계에 봉착했으며, 이를 극복하기 위한 방법 중 하나로 반도체 소자를 수직으로 쌓는 3D 패키징이 활발하게 개발되었다. 3D 패키징은 TSV, 웨이퍼 연삭, 본딩의 단위공정이 필요하며, 성능향상과 미세피치를 위해서 구리 본딩이 매우 중요하게 대두되고 있다. 본 연구에서는 대기중에서의 구리 표면의 산화방지와 저온 구리 본딩에 티타늄 나노 박막이 미치는 영향을 조사하였다. 상온과 200℃ 사이의 낮은 온도 범위에서 티타늄이 구리로 확산되는 속도가 구리가 티타늄으로 확산되는 속도보다 빠르게 나타났고, 이는 티타늄 나노 박막이 저온 구리 본딩에 효과적임을 보여준다. 12 nm 티타늄 박막은 구리 표면 위에 균일하게 증착되었고, 표면거칠기(R_q)를 4.1 nm에서 3.2 nm로 낮추었다. 티타늄 나노 박막을 이용한 구리 본딩은 200℃에서 1 시간 동안 진행하였고, 이후 동일한 온도와 시간 동안 열처리를 하였다. 본딩 이후 측정된 평균 전단강도는 13.2 MPa이었다. Miniaturization of semiconductor devices has recently faced a physical limitation. To overcome this, 3D packaging in which semiconductor devices are vertically stacked has been actively developed. 3D packaging requires three unit processes of TSV, wafer grinding, and bonding, and among these, copper bonding is becoming very important for high performance and fine-pitch in 3D packaging. In this study, the effects of Ti nanolayer on the antioxidation of copper surface and low-temperature Cu bonding was investigated. The diffusion rate of Ti into Cu is faster than Cu into Ti in the temperature ranging from room temperature to 200℃, which shows that the titanium nanolayer can be effective for low-temperature copper bonding. The 12nm-thick titanium layer was uniformly deposited on the copper surface, and the surface roughness (R_q) was lowered from 4.1 nm to 3.2 nm. Cu bonding using Ti nanolayer was carried out at 200℃ for 1 hour, and then annealing at the same temperature and time. The average shear strength measured after bonding was 13.2 MPa.

자기분화에 대한 국내 연구 동향 분석(1992년-2020년)

박승민 ( Seungmin Park ) 사단법인 아시아문화학술원 2021 인문사회 21 Vol.12 No.6

본 연구의 목적은 자기분화에 대한 최근까지의 연구 동향을 분석하고, 국내 연구의 현황 파악 및 향후 연구에 대한 시사점을 제안하는 데 있다. 1992년부터 2020년까지 출판된 KCI 등재 학술지 논문 96편을 대상으로 연구 추이를 내용분석 하였다. 연구 결과로는 첫째, 연도별 논문 수로 보았을 때, 자기분화에 대한 연구 관심이 크게 증가함을 알 수 있었다. 둘째, 양적연구방법을 통해 대다수의 자기분화 관련 변인 분석이 이루어졌다. 타 연구주제에 비해 척도개발 연구는 상대적으로 저조한 것으로 나타났다. 셋째, 자기분화는 타 변수들과의 관계에 있어 상관, 독립, 종속, 매개, 조절변수 등의 위상으로 검증되었으며, 개인특성, 가족관련 특성, 적응관련 특성 변인들이 자기분화와 관련된 변인으로서 함께 연구되었다. 이들 결과를 토대로, 향후 자기분화 연구에서 척도개발과 질적연구방법론 적용의 활성화가 필요함에 대해 논의하였다. The purpose of this study is to analyze the research trend on self-differentiation and to suggest directions for future research. Content analysis is conducted with 96 KCI journal papers published from 1992 to 2020. The results are as follows. First, the number of papers by year shows that research interest in self-differentiation increased significantly. Second, most of studies are dealt with analysis of self-differentiation related variables using quantitative research methods. Compared to other research topics, it shows that scale development studies are relatively low. Third, self-differentiation is tested as a status of correlated, independent, dependent, mediatior, and moderator. And individual, family, and adjustment factors are related to self-differentiation. Based on these results, it is discussed the need to develop scales and activate the application of qualitative research methods in future research.

몽골 학교 음용수 수질 현황 및 제거방법에 관한 연구

박승민 ( Seungmin Park ),박찬규 ( Chan-gyu Park ) 한국물환경학회 2020 한국물환경학회·대한상하수도학회 공동 춘계학술발표회 Vol.2020 No.-

몽골에는 약 3,800개의 강과 하천, 3,500여 개의 호수 및 186개의 빙하가 존재하며, 총 지표수량은 연 599 km³이며, 그 중 90% 이상은 호수(500 km3)와 빙하(62.9 km³)로 구성되어 있음. 강과 하천의 수자원 보유량은 6%에 해당하는 34.6 km³이며, 지하수량은 10.8 km³로 2%에 불과함. 78% 이상의 수원은 국토의 36%에 해당하는 북부, 서부, 및 북동부 산악지역에 위치해 있으며, 나머지는 남부지역에 위치해 있다. 전체 수자원 중 지하수가 차지하는 부분은 2%임에도 불구하고 지하수에 의한 수자원 공급 비율이 80%에 달하며, 나머지 20%는 지표수와 폐수 재생을 통해 공급되고 있다. 몽골의 용수 공급은 지역에 따라 격차가 큰 특징을 나타내는데 비도시지역의 상수도 연결 인구 비율은 주변국에 비해 매우 낮은 30.8%에 불과하며, 나머지 약 70%는 우물, 하천, 트럭, 키오스크 등을 통해 식수를 공급받고 있다. 몽골의 전체 연평균 1인당 수자원 이용 가능량은 17,300 m³이나, 이는 지역에 따른 편차가 큼. Gobi 지역의 수자원 이용 가능량은 4,500 m³인 반면, 대부분의 수원이 위치한 중북부지역은 46,000 m³이다. 본 연구에서는 몽골 울란바토르 지역의 7개의 학교에서 음용수를 취수하여 총 14항목을 수질분석을 실시하였다. 그 결과 질산성질소(NO3-―N), 아연(Zn), 철(Fe2+)과 세균류(일반세균, 총대장균군)이 우리나라 먹는 물 기준치보다 2∼3배 초과하여 검출되었다. 특히 음용수에서 발견된 총대장균군은 식중독 뿐 만 아니라 급성폐렴을 유발하는 것으로 알려져 있어 이에 대한 대책이 시급히 필요하다.

몽골 학교 음용수 수질 현황 및 제거방법에 관한 연구

박승민 ( Seungmin Park ),박찬규 ( Chan-gyu Park ) 한국물환경학회 2020 한국물환경학회·대한상하수도학회 공동 춘계학술발표회 Vol.2020 No.-

몽골에는 약 3,800개의 강과 하천, 3,500여 개의 호수 및 186개의 빙하가 존재하며, 총 지표수량은 연 599 km³이며, 그 중 90% 이상은 호수(500 km3)와 빙하(62.9 km³)로 구성되어 있음. 강과 하천의 수자원 보유량은 6%에 해당하는 34.6 km³이며, 지하수량은 10.8 km³로 2%에 불과함. 78% 이상의 수원은 국토의 36%에 해당하는 북부, 서부, 및 북동부 산악지역에 위치해 있으며, 나머지는 남부지역에 위치해 있다. 전체 수자원 중 지하수가 차지하는 부분은 2%임에도 불구하고 지하수에 의한 수자원 공급 비율이 80%에 달하며, 나머지 20%는 지표수와 폐수 재생을 통해 공급되고 있다. 몽골의 용수 공급은 지역에 따라 격차가 큰 특징을 나타내는데 비도시지역의 상수도 연결 인구 비율은 주변국에 비해 매우 낮은 30.8%에 불과하며, 나머지 약 70%는 우물, 하천, 트럭, 키오스크 등을 통해 식수를 공급받고 있다. 몽골의 전체 연평균 1인당 수자원 이용 가능량은 17,300 m³이나, 이는 지역에 따른 편차가 큼. Gobi 지역의 수자원 이용 가능량은 4,500 m³인 반면, 대부분의 수원이 위치한 중북부지역은 46,000 m³이다. 본 연구에서는 몽골 울란바토르 지역의 7개의 학교에서 음용수를 취수하여 총 14항목을 수질분석을 실시하였다. 그 결과 질산성질소(NO3-―N), 아연(Zn), 철(Fe2+)과 세균류(일반세균, 총대장균군)이 우리나라 먹는 물 기준치보다 2∼3배 초과하여 검출되었다. 특히 음용수에서 발견된 총대장균군은 식중독 뿐 만 아니라 급성폐렴을 유발하는 것으로 알려져 있어 이에 대한 대책이 시급히 필요하다.

동적 유한요소 모델 업데이팅 소프트웨어 BOMU 개발

박승민(Park, Seungmin),박원석(Park, Wonsuk) 대한토목학회 2021 대한토목학회 학술대회 Vol.2021 No.10

안산에스안과

박승민(Park Seungmin),박희경(Park Heekyung) 현대건축사 2014 (월간)Maru Vol.- No.145

[Grand Prize] Wannabite

Seungmin Park(박승민),Jiwoo Kim(김지우),Sumin Park(박수민),Taewoong Jang(장태웅) 한국디자인학회 2023 한국디자인학회 국제초대전도록 Vol.2023 No.12

몽골 학교 음용수 수질 현황 및 제거방법에 관한 연구

박승민 ( Seungmin Park ),박찬규 ( Chan-gyu Park ) 한국물환경학회 2020 한국물환경학회·대한상하수도학회 공동 춘계학술발표회 Vol.2020 No.-

몽골에는 약 3,800개의 강과 하천, 3,500여 개의 호수 및 186개의 빙하가 존재하며, 총 지표수량은 연 599 km³이며, 그 중 90% 이상은 호수(500 km3)와 빙하(62.9 km³)로 구성되어 있음. 강과 하천의 수자원 보유량은 6%에 해당하는 34.6 km³이며, 지하수량은 10.8 km³로 2%에 불과함. 78% 이상의 수원은 국토의 36%에 해당하는 북부, 서부, 및 북동부 산악지역에 위치해 있으며, 나머지는 남부지역에 위치해 있다. 전체 수자원 중 지하수가 차지하는 부분은 2%임에도 불구하고 지하수에 의한 수자원 공급 비율이 80%에 달하며, 나머지 20%는 지표수와 폐수 재생을 통해 공급되고 있다. 몽골의 용수 공급은 지역에 따라 격차가 큰 특징을 나타내는데 비도시지역의 상수도 연결 인구 비율은 주변국에 비해 매우 낮은 30.8%에 불과하며, 나머지 약 70%는 우물, 하천, 트럭, 키오스크 등을 통해 식수를 공급받고 있다. 몽골의 전체 연평균 1인당 수자원 이용 가능량은 17,300 m³이나, 이는 지역에 따른 편차가 큼. Gobi 지역의 수자원 이용 가능량은 4,500 m³인 반면, 대부분의 수원이 위치한 중북부지역은 46,000 m³이다. 본 연구에서는 몽골 울란바토르 지역의 7개의 학교에서 음용수를 취수하여 총 14항목을 수질분석을 실시하였다. 그 결과 질산성질소(NO3-―N), 아연(Zn), 철(Fe2+)과 세균류(일반세균, 총대장균군)이 우리나라 먹는 물 기준치보다 2∼3배 초과하여 검출되었다. 특히 음용수에서 발견된 총대장균군은 식중독 뿐 만 아니라 급성폐렴을 유발하는 것으로 알려져 있어 이에 대한 대책이 시급히 필요하다.

의류 보관 및 관리를 위한 메타버스 융합가전 시스템 연구

박종서(Jongseo park),나중호(Joongho Na),박세진(Sejin Park),박승민(Seungmin Park) 한국디자인학회 2022 한국디자인학회 학술발표대회 논문집 Vol.2022 No.11

저온 Cu/Ag-Ag/Cu 본딩에서의 Ag 나노막 효과

김윤호,박승민,김사라은경,Kim, Yoonho,Park, Seungmin,Kim, Sarah Eunkyung 한국마이크로전자및패키징학회 2021 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.28 No.2

차세대 반도체 기술은 이종소자 집적화(heterogeneous integration)를 이용한 시스템-인-패키징(system-inpackage, SIP) 기술로 발전하고 있고, 저온 Cu 본딩은 SIP 구조의 성능 향상과 미세 피치 배선을 위해서 매우 중요한 기술이라 하겠다. 본 연구에서는 porous한 Ag 나노막을 이용하여 Cu 표면의 산화 방지 효과와 저온 Cu 본딩의 가능성을 조사하였다. 100℃에서 200℃의 저온 영역에서 Ag가 Cu로 확산되는 것보다 Cu가 Ag로 확산되는 것이 빠르게 관찰되었고, 이는 저온에서 Ag를 이용한 Cu간의 고상 확산 본딩이 가능함을 나타내었다. 따라서 Ag 나노막을 이용한 Cu 본딩을 200℃에서 진행하였고, 본딩 계면의 전단 강도는 23.27 MPa로 측정되었다. System-in-package (SIP) technology using heterogeneous integration is becoming the key of next-generation semiconductor packaging technology, and the development of low temperature Cu bonding is very important for high-performance and fine-pitch SIP interconnects. In this study the low temperature Cu bonding and the anti-oxidation effect of copper using porous Ag nanolayer were investigated. It has been found that Cu diffuses into Ag faster than Ag diffuses into Cu at the temperatures from 100℃ to 200℃, indicating that solid state diffusion bonding of copper is possible at low temperatures. Cu bonding using Ag nanolayer was carried out at 200℃, and the shear strength after bonding was measured to be 23.27 MPa.