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반도체 제조 공정 개선을 위한 테스트베드의 설계와 구현에 관한 연구
박원찬 ( Park Won Chan ),류환규 ( Ryu Hwangyu ),류길호 ( Ryu Gilho ),김정호 ( Kim Jungho ),조성의 ( Cho Sunghui ) 한국정보처리학회 2012 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.19 No.1
반도체 산업에서 제조공정상의 웨이퍼 가공시에 여러 가지 화학물질을 사용하고 있으며, 제조공정상 유해가스의 발생 빈도수가 높다. 반도체 제품을 생산하기 위한 공정 모니터링 시스템은 관리실에서만 가스 누출여부, 온습도 변화 및 영상을 모니터링 하고 있으며, 관리자가 자리를 비우게 되면, 반도체 제품 생산공정에 발생하는 긴급 상황에 대응하기 어렵다. 본 논문에서는 반도체 공정 모니터링 테스트 베드에서는 반도체 생산 공정의 온도, 습도 및 가스누출 여부와 같은 주변환경을 모바일에서 모니터링 및 즉각적인 상황 대응이 가능한 공정 모니터링을 연구 하였다.
신헌철(HeonCheol Shin),정유석(YuSeok Jeong),이현철(HyunCheol Lee),류길호(GilHo Ryu) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.10
본 논문에서는 승압형 전동식 조향장치의 송압회로 및 전동기 구동 시스템에 관해 연구하였다. 전압을 승압하는 회로의 해석, 제어기 설계, 모의실험을 수행 하였으며, 승압된 전압을 전동기를 구동하는 전력 변환기의 입력으로 사용하였다. 전동식 조향장치 시스템의 전체 효율을 높이기 위해 승압하는 전압 값을 전동기의 속도에 따라 가변하는 구조로 설계하였다. 모의실험을 통해 시스템의 동특성을 확인하고 실제 양산되고 있는 차량에 장착된 전동식 조향장치용 영구자석 동기기를 구동하는 제어기를 제작하였다.