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나동현,김상훈,박미소,이상봉 한국진공학회 2021 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.2021 No.2
현재 포항가속기연구소에서는 반도체 공정의 핵심장비인 극자외선 Extreme Ultra Violet(EUV) 마스크 검사 장비용 가속기(빔라인)를 구축하고 있다. EUV 노광용 스캐너는 네덜란드의 ASML사에서 공급하고 있지만, 마스크를 검사할 수 있는 장비는 아직 상용화되어 있지 않다. 방사광가속기를 사용하면 임의의 파장에서 대여폭이 좋고 결맞음도가 높은 EUV를 만들 수 있다. 저장링 빔에너지 500MeV, 140mA에서 빔 컨디셔닝 기준으로 Gas interaction을 최소화하고 Beam lifetime을 증가시키기 위해서는 진공도가 low E-9mbar이하여야 한다. 여기에서는 현재까지 진행된 EUV 진공설계에 대하여 보고하고자 한다.