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냉음극 변압기 플라즈마와 액체 소스를 이용한 p-SiO2 박막 증착
노강현,박동균,송효섭,박용호,신주용,이제원 한국진공학회 2011 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.41 No.-
Pulse DC O₂ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
박주홍,노강현,이성현,최경훈,조관식,이제원 한국진공학회 2010 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.39 No.-
냉음극 변압기 플라즈마와 TEOS 소스를 이용한 SiO₂박막 증착
이제원,노강현,송효섭,김성익,이은지,이세희,조관식 한국진공학회 2012 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.2012 No.8
펄스 직류 전원 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
최경훈,김진우,노강현,신주용,박동균,조관식,이제원 한국진공학회 2010 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.39 No.-
저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석
이제원,박동균,노강현,신주용,조관식,손근용,송한정 한국진공학회 2011 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.41 No.-
Pulsed DC BCl<SUB>3</SUB>/SF<SUB>6</SUB> 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 선택적 식각에 관한 연구
최경훈,김진우,노강현,신주용,박동균,송한정,이제원 한국진공학회 2011 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.40 No.0
저진공 펄스 직류 전원 BCl<SUB>3</SUB>/SF<sub>6</sub> 플라즈마를 이용한 GaAs/Al<SUB>0.2</SUB>Ga<SUB>0.8</SUB>As 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
박동균,최경훈,노강현,신주용,송한정,이제원 한국진공학회 2011 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.41 No.-
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