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이주원(J. W. Lee),최성수(S. S. Choi),김종우(J. W. Kim),정미영(M. Y. Jung),김대욱(D. W. Kim) 한국진공학회(ASCT) 2000 Applied Science and Convergence Technology Vol.9 No.2
Submicron aperture 제작 기술은 near field optical sensor 또는 liquid metal ion source에 응용될 수 있는 가능성으로 인해 흥미를 모으고 있다. 본 실험에서는 submicron aperture 제작에 대해 기술할 것이다. 먼저, 2 ㎛ 크기의 dot array를 광학 리소그라피 방법으로 패턴화하였다. KOH 비등방성 식각 방법으로 V-groove 형을 만든 후, 1000℃에서 600분 동안 건식 산화 작업을 거쳤다. 이 산화 과정에서 결정 방향에 따라 산화율이 달라지게 되는데 Si(111) 면은 Si(100)면에 비해 산화율이 커서 두꺼운 산화막이 형성되며, 이 막은 연이은 건식식각 과정에서 etch-mask로 활용된다. Reactive ion etching은 ICP (Inductively Coupled Plasma) 장비를 사용하였으며, V-groove의 바닥에 형성된 90 ㎚ 두께의 SiO₂와 그 아래의 Si을 식각하였다. 이 때, 기판에 걸린 negative bias는 Cl₂ RIE의 anisotropic etching 효과를 증대시키는 것 같았으며, SEM 촬영 결과 식각 후에 Si(111)면 위에는 약 130 ㎚ 정도의 산화층이 잔류하고 있었다. 이렇게 형성된 Si aperture는 향후 NSOM sensor 등에 적용될 수 있을 것이다. The fabrication of the submicron size hole has been interesting due to the potential application of the near field optical sensor or liquid metal ion source. The 2 micron size dot array was photolithographically patterned. After formation of the V-groove shape by anisotropic KOH etching, dry oxidation at 1000℃ for 600 minutes was followed. In this procedure, the orientation dependent oxide growth was performed to have an etch-mask for dry etching. The reactive ion etching by the inductively coupled plasma (ICP) system was performed in order to etch ~90 ㎚ SiO₂ layer at the bottom of the V-groove and to etch the Si at the bottom. The negative ion energy would enhance the anisotropic etching by the Cl₂ gas. After etching, the remaining thickness of the oxide on the Si(111) surface was measured to be ~130 ㎚ by scanning electron microscopy. The etched Si aperture can be used for NSOM sensor.
임펄스응답적분법을 이용한 잔향시간의 측정방법이 규준화 바닥충격음레벨에 미치는 영향
이주원(Lee, J.W.),권영필(Kwon, Y.P.) 한국소음진동공학회 2006 한국소음진동공학회 논문집 Vol.16 No.1
For the evaluation of the normalized impact sound pressure level, the reverberation time of the receiving room should be measured. This paper deals with the effect of the time constant of FFT analyzer and the measuring points on reverberation time. It is found that the time constant should be in the range between 10 ms and 35 ms. While the effect of measuring points on the reverberation time is significant when the bandwidth is narrow it is negligible in the evaluation of the normalized impact sound pressure level.
김종규(J.K. Kim),이주원(J.W. Lee),나원배(W.B. Na) 한국해양환경·에너지학회 2007 한국해양환경·에너지학회 학술대회논문집 Vol.2007 No.-
본 연구에서는 여수해만의 자연현상 이해, 해양개발 및 보전에 대한 공학적 문제 해결을 위한 해역통합관리 및 정책결정의 객관적 판단도구를 제공하기 위하여 실시간 물리해양정보를 수집하기 위한 종합해양관측부이시스템 구축 방안을 제시하였다. 종합해양관측부이시스템은 크게 해양지리정보시스템, 부이/계류시스템, 해양자료수집서버, 해양자료DB서버, 인터넷을 통한 자료제공을 위한 웹 GIS서버로 구성하였다. 해양관측부이는 풍향, 풍속, 기온, 습도, 기압 등의 해양기상요소에다, 수온, 염분, 유향, 유속 등 해양환경요소를 첨가하였으며, 여수해만에 설치된 관측부이로부터 실시간 자료전송을 위해 Orbcomm 위성통신시스템 구축하였다. The real-time monitoring system for ocean data buoy system based on the physical oceanographic data in Yeosu Bay and coastal zone is constructed. The system is constituted the marine geographic information system, mooring buoy system, a server for physical oceanographic data collection, a server for archiving data and a database system and a web server for providing oceanographic information using Internet. Water quality sensors of water temperature and salinity (CTD) were added to the system in addition to the marine meteorological sensors of wind speed and direction, air temperature, humidity, air pressure and current speed and direction (RDCP). Orbcomm satellite communication system is used for the real-time data telemetry from the buoy deployed Yeosu Bay.