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수소화처리가 다결정 $\textrm{Si}_{1-x}\textrm{Ge}_{x}$박막의 전기적특성 및 표면거칠기에 미치는 영향
이승호,이규용,소명기,김교선,Lee, Seung-Ho,Lee, Gyu-Yong,So, Myeong-Gi,Kim, Gyo-Seon 한국재료학회 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.1
RTCVD법으로 증착된 다결정 Si$_{1-x}$Ge$_{x}$박막에서 Ge조성 증가에 따른 결정립크기변화가 표면거칠기 및 cluster크기에 미치는 영향에 대해 알아본결과, Ge조성 증가에 따라 결정립크기가 증가했으며 증가된 결정립에 의해 Cluster 크기와 표면거칠기값(RMS)들이 증가함을 알 수 있었다. 또한 증착된 다결정 Si$_{1-x}$Ge$_{x}$박막을 RF power와 온도변화에 따라 Ar/H$_{2}$플라즈마를 이용한 수소화처리를 행하여, 수소화 효과와 표면거칠기값 그리고 비저항값 변화에 대해 조사하였다. 수소화처리 후 cluster크기와 표면거칠기값은 기판온도와 RF power 증가에따라 감소함을 알 수 있었으며 특히 기판온도 30$0^{\circ}C$에서는 비저항값이 상당히 증가하였다.
장석한(Suk-han Jang),유승환(Sung-Hwan Yoo),신명식(Myoung-sik Shin),이규용(Gyu-yong Lee) 대한전기학회 2008 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2008 No.11
Cheju~Haenam HVDC transmission system start it's commercial operation since 1998. JEJU island is supplied with it's about 45% of total electric power from main land with HVDC link. In JEJU island, the demand of electric power is growing every year. With a current power supply, electric power reserve rate will be below the recommended one. For a stable power supply to JEJU island, KEPCO start a construction of #2 HVDC transmission system. This report is for introduction and understanding of #2 HVDC system which will be installed between JEJU island and main land. This report includes a specification of converter station and DC cable. KEPCO expect that this system will solve the power supply problem and maximum wind power plant capacity problem as well.