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- 저자 : 윤재진(J. J. Yoon) (검색결과 3 건)
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윤재진,공태호,김영동,Yoon, J.J.,Ghong, T.H.,Kim, Y.D. 한국진공학회 2007 Applied Science and Convergence Technology Vol.16 No.6
타원편광분석법은 반도체 물질의 광 특성과 전이점 연구에 유용하게 쓰이는 기술이다. 측정된 유전율 함수로부터 전이점을 구하기 위해서 전통적으로 이차 미분스펙트럼을 이용하여 분석하는데, 이 방법은 high frequency 의 잡음을 크게 증폭시키는 단점이 있다. 본 연구에서는 역 공간 푸리에 변환 (Fourier transform)을 이용하여 low-, medium-, high-index 의 푸리에 계수로부터 baseline, 정보, high frequency 잡음을 분리하는 방법을 소개하고자 한다. 이 방법을 이용하여 광전자소자에 폭넓게 사용되는 ZnCdSe 화합물 반도체의 $E_1,\;E_1+{\Delta}_1$ 전이점에 대한 연구를 하여 전통적인 이차 미분법과 비교해 보았다. Spectroscopic ellipsometry is an excellent technique for determining dielectric function. To obtain critical point energy, standard analytic critical point expression is used conventionally for second derivatives of dielectric function which might increase high frequency noise than signal. However, reciprocal-space analysis offers several advantages for determining critical point parameters in optical and other spectra, for example the separation of baseline, information, and high frequency noise in low-, medium-, high-index Fourier coefficient, respectively. We used reciprocal Fourier analysis for removing noise and determining critical point of ZnCdSe alloy.
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황순용,윤재진,정용우,변준석,김영동,정영훈,남산,Hwang, S.Y.,Yoon, J.J.,Jung, Y.W.,Byun, J.S.,Kim, Y.D.,Jeong, Y.H.,Nahm, S. 한국진공학회 2009 Applied Science and Convergence Technology Vol.18 No.1
본 연구에서는 분광타원분석법을 이용하여 최근 주목 받고 있는 microwave dielectric materials 인 $BaSm_2Ti_4O_{12}$ 박막의 광 특성을 $0.92{\sim}8.6\;eV$ 에너지 영역에서 분석하였다. 광역 에너지영역에서 측정이 가능한 Vacuum Ultra Violet spectroscopic ellipsometer를 사용하여 시료의 광 스펙트럼을 측정 하였으며, 측정된 스펙트럼으로부터 $BaSm_2Ti_4O_{12}$ 박막의 광 특성을 얻기 위하여 Tauc-Lorentz 분산 함수를 이용하였고, 고 에너지 영역대의 새로운 피크구조 (structure) 를 최초로 발견하였다. We performed a study on optical properties of $BaSm_2Ti_4O_{12}$ thin films by vacuum ultra violet spectroscopic ellipsometry in the $0.92{\sim}8.6\;eV$ energy range. For the analysis of the measured ellipsometric spectra, a 5-layer model was applied where optical property of the $BaSm_2Ti_4O_{12}$ layer was well represented by a Tauc-Lorentz dispersion function. Our analysis clearly showed new structure in high energy region at about 7.5 eV Consistent changes of refractive index & extinction coefficient of the $BaSm_2Ti_4O_{12}$ thin film by the growth and annealing temperatures were also confirmed.
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Vacuum Ultra Violet Spectroscopic Ellipsometry 를 이용한 BaSm₂Ti₄O<SUB>12</SUB> 의 광 특성 연구
황순용(S. Y. Hwanga),윤재진(J. J. Yoon),정용우(Y. W. Jung),변준석(J. S. Byun),김영동(Y. D. Kim),정영훈(Y. H. Jeong),남산(S. Nahm) 한국진공학회(ASCT) 2009 Applied Science and Convergence Technology Vol.18 No.1
본 연구에서는 분광타원분석법을 이용하여 최근 주목 받고 있는 microwave dielectric materials 인 BaSm₂Ti₄O12 박막의 광특성을 0.92 ~ 8.6 eV 에너지 영역에서 분석하였다. 광역 에너지영역에서 측정이 가능한 Vacuum Ultra Violet spectroscopic ellipsometer 를 사용하여 시료의 광 스펙트럼을 측정 하였으며, 측정된 스펙트럼으로부터 BaSm₂Ti₄O12 박막의 광 특성을 얻기 위하여 Tauc-Lorentz 분산 함수를 이용하였고, 고 에너지 영역대의 새로운 피크구조 (structure) 를 최초로 발견하였다. We performed a study on optical properties of BaSm₂Ti₄O12 thin films by vacuum ultra violet spectroscopic ellipsometry in the 0.92~8.6 eV energy range. For the analysis of the measured ellipsometric spectra, a 5-layer model was applied where optical property of the BaSm₂Ti₄O12 layer was well represented by a Tauc-Lorentz dispersion function. Our analysis clearly showed new structure in high energy region at about 7.5 eV. Consistent changes of refractive index & extinction coefficient of the BaSm₂Ti₄O12 thin film by the growth and annealing temperatures were also confirmed.
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