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Application of Inductively Coupled Plasma to PVD and CVD
Jung-Joong Lee(이정중) 한국표면공학회 2015 한국표면공학회 학술발표회 초록집 Vol.2015 No.11
유도결합 플라즈마(inductively coupled plasma: ICP)를 이용한 물리 및 화학 증착법으로 제작된 박막 재료는 우수한 기계적, 화학적, 물리적 성질 때문에 자동차 부품이나 공구재료의 내마모, 저마찰 경질코팅, 그리고 디스플레이용 코팅 뿐만 아니라 수소 연료전지의 분리막 성능 향상을 위한 코팅, 그리고 기판에 아주 균일한 크기의 나노 분말을 형성 시키는 곳에도 응용을 할 수 있음을 여러 사례를 중심으로 살펴 본다.
인터랙티브 콘텐츠 제작을 위한 직관적인 저작 기술 개발
우정근(Jung Geun Woo),지수미(Su Mi Ji),김성국(Sung Gook Kim),우경덕(Kyeong Deok Woo),최호철(Ho Chul Choi),구재호(Jae ho Goo),이정중(Jeong Joong Lee),이철환(Cheol whan Lee),백성욱(Sung Wook Baik) 한국정보과학회 2009 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.36 No.1
본 논문은 인터렉티브 콘텐츠를 자동으로 제작하는 콘텐츠 저작 기술에 관한 것으로, 본 기술을 활용하여 기존 제작 방식 보다 손쉬운 콘텐츠 제작이 가능하다. 콘텐츠 산업이 급속도로 발전하면서 콘텐츠의 수요가 높아지고 있으며, 콘텐츠 제작자뿐만 아니라 콘텐츠 제작에 대한 일반 사용자의 관심 또한 높아졌다. 따라서 콘텐츠 제작 환경을 보다 쉽게 제공해주기 위하여 인터랙티브 콘텐츠 자동저작시스템을 개발 하였다. 기존 자원 리소스를 활용하여 장면을 손쉽게 구성 할 수 있고, 직관적인 GUI구성으로 편리한 편집이 가능하며, 이렇게 제작된 장면들을 기반으로 각각의 장면 별로 흐름도 기반 구성 및 인터랙션이 가능하도록 설정 및 관리할 수 있다. 따라서 본 개발 시스템을 이용하여 콘텐츠의 중복적인 작업을 제거시킴으로써 제작의 효율성을 증대시키며, 다양한 사용자의 콘텐츠 참여 및 활용의 폭을 높일 수 있다.
김성국(Sung Gook Kim),이정중(Jung Joong Lee),이성균(Sung Kyun Lee),이철환(Cheol Whan Lee),백성욱(Sung Wook Baik) 한국정보기술학회 2010 Proceedings of KIIT Conference Vol.2010 No.-
본 연구는 데이터웨어하우스에 집적되어 있는 OLAB 큐브로 형성된 다차원 데이터 모델을 위한 직관적인 저작 도구의 효율적인 3차원 시각화 기술을 제안한다. 최근 수십년에 걸쳐 상업적 데이터들의 상당 부분이 데이터웨어하우스에 축적되어 왔다. 이러한 복잡한 데이터를 시각적으로 표현하는 것은 인간이 정보를 빠르고 직관적으로 이해하는데 도움을 준다. 따라서 고도로 복잡하고 방대한 다차원 OLAP 데이터의 효율적인 시각적 표현을 제공하는 기술은 충분한 연구 가치가 있다. 본 연구에서는 3차원으로 표현된 OLAP 큐브를 핸들링하는 직관적인 인터페이스의 저작환경을 구현하고, 이를 통해 기존의 평면적 형태의 OLAP 데이터 리포트 및 차트로부터 개선된 3차원으로 표현된 지식/정보를 제공하는 것이 가능해진다. This study presents an efficient 3D visualization technology with an easy-to-use authoring tool for multidimensional aggregated data model, formed as an OLAP cube populated from data warehouse. For the last several decades, large portion of business data has been accumulated in data warehouse. Graphical presentation of complex data provides huge benefits to human to make a fast and intuitive interpretation of information. The effort to provide efficient graphical presentations of vast amount of highly complex multidimensional OLAP data has been an attractive challenging task. We introduce a technology for implementation of an intuitive authoring environment by handling the OLAP cube which is visualized on 3-Dimensions. By this technology, the authoring tool is able to provide an advanced 3-dimensional knowledge/information from existing 2-dimensional presentation of OLAP data report and chart.
유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 플라스틱 기판 상의 Al이 도핑된 ZnO 박막 증착
정승재(Seung-Jae Jung),한영훈(Young-Hun Han),이정중(Jung-Joong Lee) 한국표면공학회 2006 한국표면공학회지 Vol.39 No.3
Al-doped ZnO (AZO) films were deposited on the plastic substrate by inductively coupled plasma (ICP) assisted DC magnetron sputtering. The AZO films were produced by sputtering a metallic target (Zn/Al) in a mixture of argon and oxygen gases. AZO films with an electrical resistivity of ~10³ Ω㎝ and an optical transmittance of 80% were obtained even at a low deposition temperature. In-situ process control methods were used to obtain stable deposition conditions in the transition region without any hysteresis effect. The target voltage was controlled either at a constant DC power. It was found that the ratio of the zinc to oxygen emission intensity, I (O 777)/I (Zn 481) decreased with increasing the target voltage in the transition region. The Ar/O₂ plasma treatment improve the adhesion strength between the polycarbonate substrate and AZO films.
고분자 전해질 연료전지 금속 분리판 적용을 위한 탄소 박막의 증착과 내식성 평가
장동수(Dong-Su Jang),이정중(Jung-Joong Lee) 한국표면공학회 2015 한국표면공학회지 Vol.48 No.3
Carbon thin films were deposited on STS 316L sheets by inductively coupled plasma enhanced magnetron sputtering with or without substrate bias voltage. Typical Raman spectrum for amorphous diamond-like carbon (DLC) was obtained, and the interfacial contact resistance (ICR) was measured to show its conductive nature. The electrochemical impedance spectroscopy (EIS) was used to investigate the corrosion mechanism of the carbon coating under the polymer electrolyte membrane fuel cell (PEMFC) condition. According to the porecorrosion mechanism, the electrolyte penetrates the carbon coating through the pores and reacts with the substrate. As the substrate corrosion proceeds, the pore enlargement occurs and the surface area of the substrate exposed to the electrolyte. Applicability of the carbon coating for the PEMFC bipolar plate was evaluated by potentiodynamic polarization experiments. Finally, an adhesion problem was briefly considered.
순철박막의 증착속도, 미세구조 및 자성에 미치는 스퍼터링조건의 영향
한석희(Suk-Hee Han),김희중(Hi-Jung Kim),강일구(Il Koo Kang),최정옥(Jeong-Og Choi),이정중(Jung Joong Lee) 한국자기학회 1991 韓國磁氣學會誌 Vol.1 No.2
The influences of sputtering conditions on the deposition rate, the micro structure, and the magnetic properties have been studied in the pure iron thin films made by the RF magnetron sputtering. The deposition rate increases remarkably by applying the magnetic field on the substrate, and this effect is discussed with the increase of Ar ion.<br/> With increasing the input power the grain size and the lattice parameter are increased and the (110) plane is strongly developed. With Ar pressure the lattice parameter is decreased while the grain size is not changed.<br/> The smallest coercive force of 3 Oe is shown in the hard direction of Fe film sputtered at 60 W applying the magnetic field to the substrate. The coercive force is largely increased above 5mTorr due to the rough surface and the second phase. The Neel's theoretical relation between the film thickness and the coercive force can be applied to the sputtered Fe film with the thickness range of 50-200㎚.
TiB₂ 코팅의 접착력 향상을 위한 AISI H13 steel의 질화처리
박보환(Bohwan Park),정동하(Dong-Ha Jung),김훈(Hoon Kim),이정중(Jung-Joong Lee) 한국표면공학회 2005 한국표면공학회지 Vol.38 No.2
This study investigated the effect of nitriding on the hardness and adhesion properties of TiB₂ coatings. Inductively coupled plasma (ICP) was used for both nitriding and deposition. By applying ICP, H13 steel was nitrided at a high rate of 50 ㎛/hr. After nitriding, a Fe₄N compound layer or a diffusion layer was formed according to the hydrogen/nitrogen ratio. Both layers could improve the load-bearing capacity of the substrate by increasing the substrate hardness. The adhesion of the TiB₂ coatings increased to ~30 N after nitriding, but the hardness of the coating was lowered to 20-30 ㎬. However, the adhesion of the TiB₂ coatings with a high hardness (>60 ㎬) could not be improved substantially by nitriding due to the large difference in hardness between the coating and the substrate. The grain size of the TiB₂coating was larger on the nitrided substrates, resulting in a decrease in the hardness of the coating.