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Vacuum Ultra Violet Spectroscopic Ellipsometry 를 이용한 BaSm₂Ti₄O<SUB>12</SUB> 의 광 특성 연구
황순용(S. Y. Hwanga),윤재진(J. J. Yoon),정용우(Y. W. Jung),변준석(J. S. Byun),김영동(Y. D. Kim),정영훈(Y. H. Jeong),남산(S. Nahm) 한국진공학회(ASCT) 2009 Applied Science and Convergence Technology Vol.18 No.1
본 연구에서는 분광타원분석법을 이용하여 최근 주목 받고 있는 microwave dielectric materials 인 BaSm₂Ti₄O12 박막의 광특성을 0.92 ~ 8.6 eV 에너지 영역에서 분석하였다. 광역 에너지영역에서 측정이 가능한 Vacuum Ultra Violet spectroscopic ellipsometer 를 사용하여 시료의 광 스펙트럼을 측정 하였으며, 측정된 스펙트럼으로부터 BaSm₂Ti₄O12 박막의 광 특성을 얻기 위하여 Tauc-Lorentz 분산 함수를 이용하였고, 고 에너지 영역대의 새로운 피크구조 (structure) 를 최초로 발견하였다. We performed a study on optical properties of BaSm₂Ti₄O12 thin films by vacuum ultra violet spectroscopic ellipsometry in the 0.92~8.6 eV energy range. For the analysis of the measured ellipsometric spectra, a 5-layer model was applied where optical property of the BaSm₂Ti₄O12 layer was well represented by a Tauc-Lorentz dispersion function. Our analysis clearly showed new structure in high energy region at about 7.5 eV. Consistent changes of refractive index & extinction coefficient of the BaSm₂Ti₄O12 thin film by the growth and annealing temperatures were also confirmed.