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선박용 4행정 디젤기관의 배기 과급기 엔진 매칭에 관한 해석적 연구
최익수(Ik Soo Choi),김현규(Hyun Kyu Kim),유봉환(Bong Whan Yoo) 한국마린엔지니어링학회 2005 한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집 Vol.2005 No.-
The combustion characteristics of the D.I. diesel engine are largely dependent on the air-fuel ratio and the gas exchange process. The main factors are the shape of combustion chamber, fuel injection system, air flow inside the cylinder, intake air mass flow rate and so forth. Because these factors affect the combustion in a mutual and combined manner, it is very important to clearly understand the correlation of these factors in order to provide the combustion improvement plans. In this paper, we studied the performance and the gas exchange process of marine four-stroke engine using the engine cycle simulation. Also, we predicted briefly turbocharger engine matching.
Cl₂ / CH₄ / H₂ 혼합기체를 이용한 InP 소재의 반응성 이온 에칭에 관한 연구
최익수(Ik-Soo Choi),이병택(Byung-Teak Lee),김동근(Dong-Keun Kim),박종삼(Jong-Sam Park) 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.3
Cl₂ / CH₄ / H₂ 혼합기체를 이용한 InP 소재의 반응성 이온 에칭(RIE; reactive ion etching) 방법에 있어서 기체분율, RF(radio frequency) 전력 및 시료온도를 변화시키며 에칭속도, 측벽 수직도, 표면손상 및 오염 등을 관찰하여 적정 에칭조건을 연구하였다. CH₄ 유령 0-12 sccm, Cl₂ 기체 유량을 3-15 sccm, RF 전력 100-200 W, 시료온도 150-200℃로 각각 변화시켜 실험한 결과 Cl₂ 기체유량 및 RF 전략과 시료온도가 증가함에 따라 에칭속도가 비례하여 증가하였고 RF 전력 150 W, 시편온도 180℃, 10Cl₂/5CH₄/85H₂의 적정 공정조건에서 80˚ 정도의 측벽수직도를 갖는 메사와 미려한 에칭표면이 얻어졌으며 평균 에칭속도는 0.9±0.1 ㎛/min 정도였다. 전자현미경 분석 결과 CH₄/H₂ 혼합기체에 Cl₂를 첨가함에 따라 표면미려도 및 메사측벽 수직도는 다소간 감소 하였으나 에칭공정 중 고분자 물질의 생성이 억제되었다. Reactive ion etching (RIE) characteristics of InP in the Cl₂/CH₄/H₂ discharges was investigated, as a function of the rf power, substrate temperature and gas composition. It was observed that the etch rate increased as the rf power, sample temperature and/or Cl₂ gas concentration increased. Etch rate of about 0.9 ㎛/min was obtained at the optimum condition of 150 W rf power, 180℃ substrate temperature and 10Cl₂/5CH₂/85H₂ gas ratio. Polymer formation was completely suppressed by adding Cl₂ to the CH₄/H₂ discharges.