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- 저자 : 전동렬(Dong-Ryeol Jeon) (검색결과 2 건)
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이온빔 스퍼터링으로 제작된 다이아몬드성 카본 필름의 전계 방출 특성
안상혁(Sang-Hyuck Ahn),이광렬(Kwang-Ryeol Lee),전동렬(Dong-Ryul Jeon) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.1
이온빔 스퍼터링 방법으로 n-type Si 기판에 코팅된, 수소를 함유하지 않은 다이아몬드성 카본 필름의 전계 방출 특성을 조사하였다. 필름의 구조나 두께에 관계없이 전계 방출 전류는 양극과 시편의 표면사 이에서 발생하는 electrical breakdown에 의해 현저히 증가하였으며, 이때의 effective work function은 약 0.1 eV의 작은 값을 가지고 있었다. 텅스텐 tip을 이용하여 breakdown에 의해 발생한 시편표면의 손상부위 근처를 scanning 하면서 전계 방출 전류를 측정하여, 전계 방출이 일어나는 정확한 위치를 확인하였다. 전계 방출은 breakdown에 의해 발생한 표면 손상 부위의 모든 곳에서 균일하게 일어나는 것이 아니라 특정 부위에서 집중적으로 관찰되었다. Auger electron spectroscopy와 SEM을 이용한 분석을 통해 손상 부위 중 Si과 C의 화합물이 형성된 곳에서만 전계 방출이 일어나고 있음을 알 수 있었으며, 손상부위의 형상변화는 전계 방출의 충분조건이 아니었다. 본 연구의 결과는 breakdown에 의한 전계 방출 전류의 증가는 시편 표면의 형상 변화에 의한 전계증진의 효과보다는 표면에서 발생하는 화학적 결합의 변화에 기인하고 있음을 보여준다. Field emission behaviors from diamond-like carbon films were investigated. The films were deposited on n-type Si wafer by ion beam sputtering method using 3 ㎝ Kaufman type ion source. Regardless of the film thicknesses and atomic bond structure, the emission current was much enhanced by electrical breakdown between anode and the film surface. The effective work function was estimated to be about 0.1 eV. In order to identify the emission site, tungsten tip was scanned the damaged region of the surface measuring the emission current. Emission current was not observed from the whole damaged region but localized to a specific site. Analysis using Auger electron spectroscopy and SEM shows that SiC compound was formed in the emission region and the morphological change in the damaged region was not a sufficient condition for the electron emission. This result showed that the enhanced emission was mainly due to the changes in the chemical bond of the damaged region rather than the enhanced electric field caused by the morphological change.
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이소화(So-Hwa Lee),고동진(Dong-Jin Koh),김나빈(Na-Bin Kim),박은서(Eun-Seo Park),전동렬(Dong-Ryeol Jeon),봉재환(Jae-Hwan Bong) 대한전기학회 2021 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2021 No.11
하천에 대한 수질 오염 사례가 증가하고 있다. 원인은 가정에서 쓰고 무분별하게 버리는 생활 하수부터 농,축산 폐수 까지 다양하다. 수질 오염에 의해 수질의 탁도가 저하되고, 녹조 현상이라 불리는 부영양화 그리고 수중의 산소 농도가 부족해지는 용존 산소 부족 현상등이 발생한다. 수질의 변화를 감시하여 수질 오염에 대처하기 위해 수질측정망의 중요성이 커지고 있다. 수질의 연속적인 실시간 감시를 위해 수질측정망 중에서도 수질자동측정시스템의 개발이 필요하며, 본 연구는 낮은 비용의 이동형 수질자동측정시스템을 개발하기 위한 선행 연구로써 적은 수의 센서를 사용해 수질 오염도를 분류하는 심층인공신경망 기반의 수질 분류 시스템을 개발하였다. 개발한 수질 분류 시스템은 수소이온농도(pH)와 수온 정보를 측정하는 센서로 구성된다. 측정된 수온값은 개발한 선형 회귀 모델을 이용해 용존 산소량(DO)를 추정하는데 사용된다. 센서로 측정한 pH와 수온, 그리고 선형 회귀 모델로 추정한 DO는 심층인공신경망의 입력으로 사용되어 수질 오염도를 세 단계로 분류한다. 선형 회귀 모델과 심층인공신경망을 개발하기 위해 온라인에 공개된 수질 정보를 활용해 훈련 데이터 쌍을 구성하였다. 본 연구에서 개발한 수질 분류기는 pH와 수온 측정 센서만을 이용하여 pH, 수온, DO 측정 센서를 사용하는 수질 분류기와 같은 수준의 분류 정확도를 보였으며, 이를 통해 적은 수의 센서로도 높은 정확도의 수질 오염도 분류가 가능하다는 것을 확인하였다.
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