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(InAs)n(AlAs)n 단주기 초결자의 MBE 성장과 X선회절
우덕하(Deok-Ha Woo),우종천(Jong-Chun Woo) 한국진공학회(ASCT) 1992 Applied Science and Convergence Technology Vol.1 No.3
In_(0.5)Al_(0.5)As와 같은 조성을 갖는 합금인 n=1~4인 (InAs)_n(AlAs)_n 형태의 완벽한 층상구조의 단주기 초격자를 MBE 방법으로 성장하였다. 저온 PL 측정을 통하여 광학적 특성을 조사하였으며, Raman 산란실험을 통하여 구조적 특성을 조사하였다. X선회절 실험을 통하여 홀수 번호의 회절을 관측할 수 있었는데 이것은 초격자에 의한 새로운 주기의 형성을 직접적으로 보여 주는 것이다. Perfectly layered crystals of (InAs)_n(AlAs)_n short period superlattice with n=1~4 which have the same alloy composition as In_(0.5)Al_(0.5)As random alloy have been grown by molecular beam epitaxy. Optical properties are investigated by low temperature photoluminescence and structural properties are studied by Raman scattering spectroscopy. Distinct odd numbered satellite peaks are observed in X-ray diffraction measurement, which is a direct verification of new superperioddicity introduced in superlattice formation.