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박상현,박재윤,김영국,심정봉 경남대학교 신소재연구소 1998 論文集 Vol.10 No.-
마이크로파 플라즈마CVD에서 방출되는 656.4[nm]의 Hα와 거의 같은 정도의 감도를 가진 388.4[nm]의 피크를 조사하기 위하여 N2, N2-CH4, H2-CH4 및 Air-CH4 가스의 마이크로파 플라즈마로부터 방출되는 스펙트럼들을 조사하였다. N2-CH4 플라즈마와 Air-CH4 플라즈마로부터 방출되는 388.4[nm]의 피크는 N2로부터 방출되는 337.1, 357.8 및 316.0[nm]의 피크와 공존하기 때문에 CN의 피크로 판단되고, H2-CH4 플라즈마로부터 방출되는 388.4[nm]의 피크는 N2로부터 방출되는 337.1, 357.8 및 316.0[nm]의 피크가 나타나지 않았기 때문에 CH의 피크로 판단된다. The optical spectra of microwave plasma by four kinds of gases(N₂. N₂-CH₃. H₂-CH₄ and Air-CH₄) have been measured for investigating 388.4[nm] peak which has the same intensity as H_{a}(656.4[nm]) peak. A 388.4[nm] peak by N₂-CH₄plasma and Air-CH₄plasma may be CN peak becau se it is with 337.1. 357.8 and 316.0[nm] peaks by N₂. And a 388.4[nm] peak by H₂-CH₄plasma without by N₂337.1. 357.8 and 316.0[nm] peaks may be CH peak.