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유한요소해석을 통한 CMP 헤드의 압력분포제어 링의 설계
박병준(B. J. Pak),김현진(H. J. Kim),이종우(J. W. Lee),정선호(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.12월
표면거칠기에 따른 마찰신호 분석을 통한 연마종점검출
박병준(B. J. Pak),김현진(H. J. Kim),이종우(J. W. Lee),박인호(I. H. Park),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.5월
CMP 연마패드의 동적 점탄성의 측정과 유한요소해석
박병준(B. J. Pak),이동환(D. H. Lee),김현진(H. J. Kim),이다솔(D. S. Lee),정선호(S. H Jeong),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2018 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2018 No.10월
CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도
박병준(B. J. Pak),정선호(S. H. Jeong),김현진(H. J. Kim),이기훈(K. H. Lee),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2018 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2018 No.5월
CMP 에서 웨이퍼 에지 접촉응력의 해석과 측정
이종우(J. W. Lee),이다솔(D. S. Lee),정선호(S. H. Jeong),박병준(B. J. Pak),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.12월
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
김현진(H. J. Kim),이기훈(K. H. Lee),박병준(B. J. Pak),정선호(S. H. Jeong),이동환(D. H. Lee),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2018 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2018 No.10월
패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링
김현진(H. J. KIM),박병준(B. J. Pak),정선호(S. H. Jeong),이다솔(D. S. Lee),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.5월
산화막 CMP 에서 패드 점탄성이 패턴의 단차 감소에 미치는 영향
김현진(H. J. Kim),박병준(B. J. Pak),이다솔(D. S. Lee),정선호(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.12월
CMP 에서 패드 돌기와 디바이스 패턴의 접촉 모드에 따른 연마율 모델링
김현진(H. J. Kim),박병준(B. J. Pak),이다솔(D. S. Lee),정선호(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2018 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2018 No.5월
마찰력 모니터링을 이용한 볼의 총 가공 시간 단축
정선호(S.H. Jeong),김현진(H.J. Kim),이다솔(D.S. Lee),박병준(B.J. Pak),정해도(H.D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.5월
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